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题名轮廓仪在柱面镜检测中的应用
被引量：4
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作者
程子清
袁顺山
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机构
华中光电技术研究所
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出处
《光学与光电技术》
2008年第3期67-71,共5页
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文摘
目前柱面镜检测的主要方法是样板比较法和干涉法。样板法对球面、柱面样板均有较高要求,而干涉法也需合适的高要求的辅助镜,并且对环境要求较严格。提出了用轮廓仪配用合适工装检测柱面镜的方法,该方法简洁、直观、快速,对环境要求较低。分析了该方法的检测误差,实验验证了分析的正确性,指出高精度轮廓仪在一定范围内能保证柱面镜的检测精度。这种方法不仅适用于零件的最终检测,也适用于加工过程中的检测。
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关键词
柱面镜
轮廓仪
检测
检测误差
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Keywords
cylindrical mirror
profilometer
measurement
test error
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分类号
TN741.3
[电子电信—电路与系统]
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题名微晶玻璃超光滑抛光过程中抛光剂选型实验研究
被引量：2
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作者
袁顺山
程子清
陈光
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机构
华中光电技术研究所-武汉光电国家实验室
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出处
《光学与光电技术》
2015年第4期87-90,共4页
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文摘
从传统光学冷加工的原理出发,分析了传统接触式加工方法中抛光剂与材料去除深度的理论关系,设计了微晶玻璃超光滑抛光过程中的抛光剂选型试验。通过比较基片的表面质量,摸索出适合微晶玻璃超光滑抛光的最佳抛光剂为金刚石微粉,成功加工出了超光滑微晶光学元件,其表面粗糙度达到0.2nm。
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关键词
微晶玻璃
超光滑表面
抛光
表面粗糙度
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Keywords
glass-ceramic
super-smooth surface
polishing
surface roughness
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分类号
TQ171.684
[化学工程—玻璃工业]
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题名微晶玻璃试片的化学抛光研究
被引量：3
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作者
汤英童
袁顺山
熊长新
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机构
华中光电技术研究所-武汉光电国家实验室
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出处
《光学与光电技术》
2014年第3期48-52,共5页
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文摘
光学零件的凹槽、孔道等复杂结构无法进行机械抛光，只能采用化学抛光。分析了化学抛光的机理和微晶玻璃的组成，设计了化学抛光技术方案、工艺流程和操作方法。对微晶玻璃化学抛光前后的光学表面进行了测试、分析。结果表明：化学抛光去除量主要由化学抛光液的温度和抛光时间控制。采用氟化氢铵、氢氟酸与添加剂组成的化学抛光液和合适的化学抛光工艺，可以能够得到光滑、透明的表面，表面粗糙度可降低到100nm；可见光透过率81％～83％。
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关键词
微晶玻璃
化学抛光
光学加工
控制
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Keywords
glass ceramics
chemical polishing
optical proeessing
control
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分类号
O786
[理学—晶体学]
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