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多弧离子渗金属——利用金属弧光等离子体进行表面合金化的新技术
1
作者 王福贞 唐希源 +2 位作者 周友苏 万春萍 裴显英 《中国表面工程》 EI CAS CSCD 1991年第4期12-17,共6页
本文作者将多弧离子镀技术发展为多弧离子渗金属技术。充分发挥了阴极电弧源产生的金属弧光等离子体的作用。获得了各种渗金属层、渗镀结合层。本文介绍了多弧离子渗金属原理和各种渗金属层的特征。
关键词 离子渗金属 多弧离子镀 表面 结合层 电弧 等离子体 阴极 弧光
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多弧离子渗金属技术 被引量：7
2
作者 王福贞 周友苏 +2 位作者 唐希源 万春萍 裴显英 《真空》 CAS 北大核心 1990年第1期20-24,61,共6页
本文用阴极电弧源做离子渗金属源。源极的靶材用Ｔｉ、Ａｌ、不锈钢制做。弧源因 产生冷阴极弧光放电而产生金属等离子体，形成高密度的金属离子流。基板由钢材制 成，施加适当的负偏压．在基板负偏压作用下，金属离子轰击并加热基板至... 本文用阴极电弧源做离子渗金属源。源极的靶材用Ｔｉ、Ａｌ、不锈钢制做。弧源因 产生冷阴极弧光放电而产生金属等离子体，形成高密度的金属离子流。基板由钢材制 成，施加适当的负偏压．在基板负偏压作用下，金属离子轰击并加热基板至 ９００℃或 １１００℃。金属原子渗入钢中形成高渗速渗金属层．文中测试了渗金属层的组织形貌和 Ｔｉ、 Ａｌ、 Ｃｒ、 Ｎｉ在渗层中的分布。结果表明阴极电弧源离子渗金属技术是新的金属等离子 体表面合金化技术，是对多弧离子镀的发展。 展开更多
关键词 金属 阴极电弧 表面合金化 多弧离子渗金属技术 金属等离子体
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