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微结构传感器的激光制造技术研究进展
被引量:
4
1
作者
陈锐
王锦成
+5 位作者
章文卓
计东生
朱鑫宁
罗涛
王菁
周伟
《光电工程》
CAS
CSCD
北大核心
2023年第3期100-115,共16页
微结构传感器是具有以微尺度结构作为敏感单元,能将外界物理、化学、生物信号转化为电信号的传感器,已广泛应用于智能机器人、健康监控、虚拟电子等领域。目前,微结构传感器的制造方法主要有激光制造技术、MEMS技术和3D打印技术等。激...
微结构传感器是具有以微尺度结构作为敏感单元,能将外界物理、化学、生物信号转化为电信号的传感器,已广泛应用于智能机器人、健康监控、虚拟电子等领域。目前,微结构传感器的制造方法主要有激光制造技术、MEMS技术和3D打印技术等。激光制造技术是将高能光子束聚焦到被加工物上,使激光与物质相互作用的一种绿色加工方法,主要包括激光烧蚀、激光直写、激光诱导和激光-倒模复合加工等,具有非接触式加工、无掩膜版、可定制化制造等优势,通过优化激光加工工艺参数,可以实现不同尺寸和形状微结构的高效低成本制造。本文对微结构的类型、功能及制造技术进行了概述,同时对激光制造技术制备的微结构传感器进行了归纳分类,详细分析了生物电传感器、温度传感器以及压力传感器的制造技术及应用,最后对微结构传感器激光制造技术的发展趋势进行了总结与展望。
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关键词
激光制造
微结构
生物电传感器
温度传感器
压力传感器
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职称材料
激光熔覆含氮双相不锈钢涂层试验研究
被引量:
1
2
作者
计东生
彭如恕
《机械研究与应用》
2020年第6期88-90,共3页
针对316 L不锈钢表面硬度低和耐磨性能较差的不足,提出了采用激光熔覆技术在316 L不锈钢表面熔覆含氮双相不锈钢涂层。利用X射线仪、金相显微镜分析观察涂层表面微观组织结构;显微硬度计测量涂层硬度分布,摩擦磨损试验机分析耐磨性能。...
针对316 L不锈钢表面硬度低和耐磨性能较差的不足,提出了采用激光熔覆技术在316 L不锈钢表面熔覆含氮双相不锈钢涂层。利用X射线仪、金相显微镜分析观察涂层表面微观组织结构;显微硬度计测量涂层硬度分布,摩擦磨损试验机分析耐磨性能。得到涂层由铁素体和奥氏体双相组织组成,硬度(290 HV0.2)比基体高115 HV0.2;耐磨性能提高2.23倍。涂层的力学性优于基体,有效提高了316 L不锈钢的表面硬度和耐磨性能。
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关键词
激光熔覆
双相不锈钢
显微组织
涂层性能
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职称材料
同里的河与桥
3
作者
计东生
《苏州杂志》
2004年第6期69-70,共2页
陈从周教授说:"同里以水名,无水无同里"。同里镇区属太湖系河网地带,镇外五湖环抱,镇内市河如网,呈两个"川"字形纵横交叉,因此同里古名亦称"同川"。两个"川"字形河及其支流又把镇区分割成十九...
陈从周教授说:"同里以水名,无水无同里"。同里镇区属太湖系河网地带,镇外五湖环抱,镇内市河如网,呈两个"川"字形纵横交叉,因此同里古名亦称"同川"。两个"川"字形河及其支流又把镇区分割成十九个圩头,与四周水面交叉错落地构成了水外有水。
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关键词
同里
字形
民居
水面
太湖
鲤鱼
交叉
河网
分割
教授
原文传递
题名
微结构传感器的激光制造技术研究进展
被引量:
4
1
作者
陈锐
王锦成
章文卓
计东生
朱鑫宁
罗涛
王菁
周伟
机构
厦门大学机电工程系
流体动力与机电系统国家重点实验室
出处
《光电工程》
CAS
CSCD
北大核心
2023年第3期100-115,共16页
基金
国家自然科学基金区域创新发展联合基金资助项目(U21A20136)
国家自然科学基金优秀青年科学基金资助项目(51922092)
+1 种基金
中央高校基本科研业务费专项资金资助项目(20720200068)
流体动力与机电系统国家重点实验室开放基金课题资助项目(GZKF-202103)。
文摘
微结构传感器是具有以微尺度结构作为敏感单元,能将外界物理、化学、生物信号转化为电信号的传感器,已广泛应用于智能机器人、健康监控、虚拟电子等领域。目前,微结构传感器的制造方法主要有激光制造技术、MEMS技术和3D打印技术等。激光制造技术是将高能光子束聚焦到被加工物上,使激光与物质相互作用的一种绿色加工方法,主要包括激光烧蚀、激光直写、激光诱导和激光-倒模复合加工等,具有非接触式加工、无掩膜版、可定制化制造等优势,通过优化激光加工工艺参数,可以实现不同尺寸和形状微结构的高效低成本制造。本文对微结构的类型、功能及制造技术进行了概述,同时对激光制造技术制备的微结构传感器进行了归纳分类,详细分析了生物电传感器、温度传感器以及压力传感器的制造技术及应用,最后对微结构传感器激光制造技术的发展趋势进行了总结与展望。
关键词
激光制造
微结构
生物电传感器
温度传感器
压力传感器
Keywords
laser manufacturing
microstructure
bioelectric sensors
temperature sensors
pressure sensors
分类号
TN249 [电子电信—物理电子学]
TN304.12 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
激光熔覆含氮双相不锈钢涂层试验研究
被引量:
1
2
作者
计东生
彭如恕
机构
南华大学机械工程学院
出处
《机械研究与应用》
2020年第6期88-90,共3页
文摘
针对316 L不锈钢表面硬度低和耐磨性能较差的不足,提出了采用激光熔覆技术在316 L不锈钢表面熔覆含氮双相不锈钢涂层。利用X射线仪、金相显微镜分析观察涂层表面微观组织结构;显微硬度计测量涂层硬度分布,摩擦磨损试验机分析耐磨性能。得到涂层由铁素体和奥氏体双相组织组成,硬度(290 HV0.2)比基体高115 HV0.2;耐磨性能提高2.23倍。涂层的力学性优于基体,有效提高了316 L不锈钢的表面硬度和耐磨性能。
关键词
激光熔覆
双相不锈钢
显微组织
涂层性能
Keywords
laser cladding
duplex stainless steel
microstructures
coating performance
分类号
TG142.1 [金属学及工艺—金属材料]
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职称材料
题名
同里的河与桥
3
作者
计东生
出处
《苏州杂志》
2004年第6期69-70,共2页
文摘
陈从周教授说:"同里以水名,无水无同里"。同里镇区属太湖系河网地带,镇外五湖环抱,镇内市河如网,呈两个"川"字形纵横交叉,因此同里古名亦称"同川"。两个"川"字形河及其支流又把镇区分割成十九个圩头,与四周水面交叉错落地构成了水外有水。
关键词
同里
字形
民居
水面
太湖
鲤鱼
交叉
河网
分割
教授
分类号
I267 [文学—中国文学]
原文传递
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
微结构传感器的激光制造技术研究进展
陈锐
王锦成
章文卓
计东生
朱鑫宁
罗涛
王菁
周伟
《光电工程》
CAS
CSCD
北大核心
2023
4
下载PDF
职称材料
2
激光熔覆含氮双相不锈钢涂层试验研究
计东生
彭如恕
《机械研究与应用》
2020
1
下载PDF
职称材料
3
同里的河与桥
计东生
《苏州杂志》
2004
0
原文传递
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