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TOPCon电池中的EL卡点印缺陷分析
1
作者
李国庆
居瑞智
+2 位作者
谢路华
李香伟
谢致任
《集成电路应用》
2024年第6期30-33,共4页
阐述PE-Poly是N型TOPCon太阳电池工艺中的难点与关键,电致发光(EL)卡点印是PE-Poly路线TOPCon电池主要缺陷之一。基于PE-poly路线TOPCon电池量产设备和工艺,通过电性能测试、椭偏仪测试、QE测试以及对比实验,针对此类电池EL缺陷问题进...
阐述PE-Poly是N型TOPCon太阳电池工艺中的难点与关键,电致发光(EL)卡点印是PE-Poly路线TOPCon电池主要缺陷之一。基于PE-poly路线TOPCon电池量产设备和工艺,通过电性能测试、椭偏仪测试、QE测试以及对比实验,针对此类电池EL缺陷问题进行分类研究,为电池片制程良率提升提供改善方向。
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关键词
TOPCon电池
PE-Poly
隧穿氧化层
原位掺杂
界面
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职称材料
题名
TOPCon电池中的EL卡点印缺陷分析
1
作者
李国庆
居瑞智
谢路华
李香伟
谢致任
机构
深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司
出处
《集成电路应用》
2024年第6期30-33,共4页
文摘
阐述PE-Poly是N型TOPCon太阳电池工艺中的难点与关键,电致发光(EL)卡点印是PE-Poly路线TOPCon电池主要缺陷之一。基于PE-poly路线TOPCon电池量产设备和工艺,通过电性能测试、椭偏仪测试、QE测试以及对比实验,针对此类电池EL缺陷问题进行分类研究,为电池片制程良率提升提供改善方向。
关键词
TOPCon电池
PE-Poly
隧穿氧化层
原位掺杂
界面
Keywords
TOPCon battery
PE Poly
tunneling oxide layer
in-situ doping
interface
分类号
TN86 [电子电信—信息与通信工程]
TM914 [电气工程—电力电子与电力传动]
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题名
作者
出处
发文年
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操作
1
TOPCon电池中的EL卡点印缺陷分析
李国庆
居瑞智
谢路华
李香伟
谢致任
《集成电路应用》
2024
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