不同年龄患者早期复极综合征的动态心电图特征比较

1

作者 陈思维 郭玲 +3 位作者 刘娟 谷建峰 赖小娣 杨艳敏 《中国当代医药》 CAS 2024年第5期52-54,59,共4页

目的探究不同年龄患者早期复极综合征的动态心电图特征。方法选取2020年1月至2022年1月萍乡市人民医院收治的100例早期复极综合征(ERS)患者为研究对象,根据不同年龄分为A组(<18岁,n=30)、B组(18~45岁,n=38)和C组(>45岁,n=32)。三... 目的探究不同年龄患者早期复极综合征的动态心电图特征。方法选取2020年1月至2022年1月萍乡市人民医院收治的100例早期复极综合征(ERS)患者为研究对象,根据不同年龄分为A组(<18岁,n=30)、B组(18~45岁,n=38)和C组(>45岁,n=32)。三组患者均行动态心电图检查,并行心率变异性(HRV)分析。比较三组各项参数包括HRV指标、J波出现的导联情况、ST改变程度及参数之间的差异。结果B组和C组的标准差(SDNN)、均值标准差(SDANN)、差值的均方根(rMSSD)和差值>50 ms的百分比(PNN50)、极低频(VLF)、低频(LF)、高频(HF)、LF/HF均低于A组,差异有统计学意义(P<0.05);B组和C组V2~V3高于A组,V4~V5低于A组,B组的Ⅱ、Ⅲ、aVF低于A组,C组的Ⅱ、Ⅲ、aVF高于A组,差异有统计学意义(P<0.05);B组和C组ST段抬高距离高于A组,且Q-T离散度高于A组,差异有统计学意义(P<0.05)。结论不同年龄段ERS患者的动态心电图特征存在一定差异,且监测动态心电图对判断ERS患者的预后及评估病情严重程度有重要意义,从不同角度为ERS的临床监测提供新的理论依据,正确评估疾病的进展及预后,对指导临床治疗具有重要意义。 展开更多

关键词 早期复极综合征 动态心电图 年龄

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心电图心率变异性参数对急性心肌梗死患者预后的预测价值

2

作者 陈思维 谷建峰 +2 位作者 罗勤 赖小娣 闫博宇 《临床医药实践》 2024年第4期267-270,共4页

目的:探讨心电图心率变异性(HRV)参数对急性心肌梗死(AMI)患者预后的预测价值。方法:回顾性收集2021年10月—2022年12月收治的79例AMI患者的临床资料,根据患者预后情况分为存活组(65例)和病死组(14例),全部患者均接受心电图HRV检测,且... 目的:探讨心电图心率变异性(HRV)参数对急性心肌梗死(AMI)患者预后的预测价值。方法:回顾性收集2021年10月—2022年12月收治的79例AMI患者的临床资料,根据患者预后情况分为存活组(65例)和病死组(14例),全部患者均接受心电图HRV检测,且病例资料、检查资料完整;对比两组心电图HRV相关参数[RR间期平均值标准差(SDANN)、相邻RR间期差值均方根(RMSSD)、窦性心搏RR间期标准差(SDNN)、0~0.40 Hz总频谱成分(TF)、0.14~0.30 Hz低频成分(LF)/0.15~0.40 Hz高频成分(HF)比值],分析心电图HRV参数预测AMI患者预后不良的风险价值。结果:病死组SDANN,RMSSD,SDNN,TF较存活组低,LF/HF较存活组高,差异有统计学意义(P<0.05)。绘制受试者工作特征曲线(ROC)发现,心电图HRV的SDANN,RMSSD,SDNN,TF,LF/HF参数单独及联合检测预测AMI患者预后不良的曲线下面积(AUC)均>0.70,均有一定价值,其中联合检测预测价值最高。结论:心电图HRV参数对AMI患者预后有较高的预测价值,可作为患者预后的重要评估指标。 展开更多

关键词 急性心肌梗死 心电图 心率变异性 预后 预测价值

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多发性骨髓瘤合并肺动脉高压患者临床特征及预后分析

3

作者 杨艳敏 彭丽萍 +1 位作者 谷建峰 易彬 《癌症进展》 2024年第14期1562-1566,共5页

目的分析多发性骨髓瘤(MM)合并肺动脉高压(PH)患者的临床特征及预后。方法选取36例MM合并PH患者作为合并PH组,36例单纯MM患者作为MM组。比较两组患者的临床特征、血清指标[脑钠肽(BNP)、肿瘤坏死因子-α(TNF-α)、白细胞介素-6(IL-6)]... 目的分析多发性骨髓瘤(MM)合并肺动脉高压(PH)患者的临床特征及预后。方法选取36例MM合并PH患者作为合并PH组,36例单纯MM患者作为MM组。比较两组患者的临床特征、血清指标[脑钠肽(BNP)、肿瘤坏死因子-α(TNF-α)、白细胞介素-6(IL-6)]、血气指标[动脉血二氧化碳分压(PaCO_(2))、动脉血氧分压(PaO_(2))]和生存情况。采用受试者工作特征(ROC)曲线分析各指标检测对MM合并PH患者预后的预测价值。采用Cox风险比例回归模型分析MM合并PH患者预后的影响因素。结果MM组贫血、肾功能不全、心脏舒张功能不全患者比例均低于合并PH组,差异均有统计学意义(P﹤0.05)。MM组患者BNP、TNF-α、IL-6、PaCO_(2)水平均明显低于合并PH组,PaO_(2)水平明显高于合并PH组,差异均有统计学意义(P﹤0.01)。MM组患者12个月总生存率和无进展生存率分别高于合并PH组,差异均有统计学意义(P﹤0.05)。ROC曲线分析结果显示,BNP[曲线下面积(AUC)=0.822]、TNF-α(AUC=0.701)和IL-6(AUC=0.745)对MM合并PH患者预后的预测价值良好(P﹤0.05)。Cox风险比例回归分析结果显示,贫血、BNP≥4190.770 pg/ml、TNF-α≥251.031 ng/L和IL-6≥25.211 ng/L均为MM合并PH患者预后的独立危险因素(P﹤0.01)。结论合并PH的MM患者与单纯MM患者的临床特征差异较大,预后较差,且贫血、BNP、TNF-α和IL-6水平能够影响MM合并PH患者的预后。 展开更多

关键词 多发性骨髓瘤 肺动脉高压 临床特征 预后

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沙库巴曲缬沙坦联合美托洛尔片对慢性心力衰竭患者临床疗效

4

作者 杨艳敏 谷建峰 易彬 《天津药学》 2024年第3期25-28,共4页

目的:探讨慢性心力衰竭患者应用沙库巴曲缬沙坦联合酒石酸美托洛尔片治疗疗效。方法:选择本院2021年6月—2023年6月收治的慢性心力衰竭患者82例,依据随机表法分为对照组与治疗组,各41例。对照组口服酒石酸美托洛尔片6.25 mg/次,2次/d;... 目的:探讨慢性心力衰竭患者应用沙库巴曲缬沙坦联合酒石酸美托洛尔片治疗疗效。方法:选择本院2021年6月—2023年6月收治的慢性心力衰竭患者82例,依据随机表法分为对照组与治疗组,各41例。对照组口服酒石酸美托洛尔片6.25 mg/次,2次/d;治疗组在对照组基础上口服沙库巴曲缬沙坦100 mg/次,2次/d。两组治疗疗程4周。统计两组治疗疗效;比较两组治疗前后心功能[左室射血分数(LVEF)、心输出量(CO)和每搏输出量(SV)],6 min步行距离(6MWT),B型氨基端利钠肽原(NT-proBNP)、细胞间黏附分子-1(ICAM-1)和白介素-6(IL-6)水平,及心力衰竭自我护理行为量表(SCHFI)评分、Lee氏心衰评分和心功能不全生命质量量表(MLHFQ)评分变化。结果:治疗组总有效率高于对照组(P<0.05)。两组治疗前LVEF、CO和SV比较差异无统计学意义(P>0.05);两组治疗后LVEF、CO和SV高于治疗前(P<0.05);治疗组治疗后LVEF、CO和SV高于对照组(P<0.05)。两组治疗前6MWT比较差异无统计学意义(P>0.05);两组治疗后6MWT高于治疗前(P<0.05);治疗组治疗后6MWT高于对照组(P<0.05)。两组治疗前血清NTproBNP、ICAM-1和IL-6水平比较差异无统计学意义(P>0.05);两组治疗后血清NT-proBNP、ICAM-1和IL-6水平低于治疗前(P<0.05);治疗组治疗后血清NT-proBNP、ICAM-1和IL-6水平低于对照组(P<0.05)。两组治疗前SCHFI评分、Lee氏心衰评分和MLHFQ评分比较差异无统计学意义(P>0.05);两组治疗后SCHFI评分高于治疗前,而Lee氏心衰评分和MLHFQ评分低于治疗前(P<0.05);治疗组治疗后SCHFI评分高于对照组,而Lee氏心衰评分和MLHFQ评分低于对照组(P<0.05)。结论:慢性心力衰竭患者应用沙库巴曲缬沙坦联合酒石酸美托洛尔片治疗疗效显著,心功能显著改善,运动耐力显著提高,可降低NT-proBNP、ICAM-1和IL-6水平,提高患者生活质量。 展开更多

关键词 沙库巴曲缬沙坦 酒石酸美托洛尔片 慢性心力衰竭 治疗疗效

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偏压对磁控溅射ZnO薄膜的成核机制及表面形貌演化动力学的影响 被引量：4

5

作者 付伟佳 刘志文 +2 位作者 谷建峰 刘明 张庆瑜 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2009年第3期602-606,共5页

利用反应射频磁控溅射技术,通过对基体施加负偏压溅射ZnO薄膜,探讨了固定偏压下ZnO薄膜的表面形貌随沉积时间的演化以及不同偏压对ZnO薄膜表面形貌的影响.研究结果表明,在-100V的偏压下,随着沉积时间的增加,ZnO薄膜的表面岛尺寸不断减小... 利用反应射频磁控溅射技术,通过对基体施加负偏压溅射ZnO薄膜,探讨了固定偏压下ZnO薄膜的表面形貌随沉积时间的演化以及不同偏压对ZnO薄膜表面形貌的影响.研究结果表明,在-100V的偏压下,随着沉积时间的增加,ZnO薄膜的表面岛尺寸不断减小,密度逐渐变大.ZnO在基片表面成核过程中的本征缺陷成核阶段和轰击缺陷成核阶段的生长指数分别为(0.45±0.03)和(0.22±0.04),低速率成核过程基本消失;随着偏压增大,表面岛的尺寸变大,表面起伏增加.偏压不但可以改变ZnO薄膜的成核和生长过程,而且影响薄膜的晶体取向. 展开更多

关键词 ZNO薄膜 反应射频磁控溅射 偏压 形貌分析

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氧分压对磁控溅射ZnO薄膜生长行为和光学特性的影响 被引量：3

6

作者 刘明 魏玮 +3 位作者 曲盛薇 谷建峰 马春雨 张庆瑜 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2008年第6期1096-1100,共5页

采用反应射频磁控溅射方法,在Si(001)基片上制备了具有高c轴择优取向的ZnO薄膜.利用原子力显微镜、X射线衍射、透射光谱和室温光致荧光光谱等分析技术,研究了氧分压对薄膜的表面形貌和光学特性的影响.研究结果显示,0.04～0.23Pa的氧分... 采用反应射频磁控溅射方法,在Si(001)基片上制备了具有高c轴择优取向的ZnO薄膜.利用原子力显微镜、X射线衍射、透射光谱和室温光致荧光光谱等分析技术,研究了氧分压对薄膜的表面形貌和光学特性的影响.研究结果显示,0.04～0.23Pa的氧分压范围内,ZnO薄膜存在三个不同的生长模式,薄膜生长模式转变的临界氧分压分别位于0.04～0.08Pa和0.16～0.19Pa之间;在0.16Pa以下时,ZnO薄膜的表面岛呈+c取向的竹笋状生长;当氧分压>0.19Pa时,薄膜的表面岛以-c取向生长为主;ZnO薄膜的折射率、光学带隙宽度以及PL光谱强度均随着氧分压的增大而增大,氧分压为0.19Pa时,薄膜的发光峰最窄,其半峰宽为88meV. 展开更多

关键词 ZNO薄膜 反应磁控溅射 形貌分析 光学特性

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磁控溅射ZnO薄膜的退火热力学行为研究 被引量：3

7

作者 刘志文 付伟佳 +3 位作者 刘明 谷建峰 马春雨 张庆瑜 《电子显微学报》 CAS CSCD 2007年第6期541-547,共7页

本文利用原子力显微镜、透射电子显微镜、X射线衍射等分析手段研究了反应射频磁控溅射截然不同的阶段,其临界转变温度在790℃附近。进一步分析表明,决定低温退火的晶粒长大机制为Zn填隙原子扩散机制,而决定高温退火时的晶粒长大机制为O... 本文利用原子力显微镜、透射电子显微镜、X射线衍射等分析手段研究了反应射频磁控溅射截然不同的阶段,其临界转变温度在790℃附近。进一步分析表明,决定低温退火的晶粒长大机制为Zn填隙原子扩散机制,而决定高温退火时的晶粒长大机制为O空位扩散机制。界面分析结果显示:在临界转变温度以下,ZnO薄膜与基体Si之间基本不发生界面反应;在高温退火过程中,ZnO薄膜与基体Si之间的界面反应主要以氧化后的Si表面层向ZnO扩散的方式进行,并导致了薄膜应力的迅速增加,而界面反应开始之前的薄膜应力的变化,则是由于晶粒合并所引起的。 展开更多

关键词 ZNO薄膜 退火行为 界面 扩散机制

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自持金刚石厚膜上沉积生长ZnO薄膜及发光特性 被引量：2

8

作者 孙剑 白亦真 +3 位作者 谷建峰 刘明 张庆瑜 姜辛 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第3期455-459,共5页

采用磁控溅射在自持CVD金刚石厚膜的成核面上制备了ZnO薄膜,并实验研究了其生长特性和发光特性随O2和Ar流量的变化。利用X射线衍射(XRD)、光致发光(PL)光谱、电子探针(EPMA)和霍尔测量对样品进行了检测。结果表明,在O2/Ar比值约为1时沉... 采用磁控溅射在自持CVD金刚石厚膜的成核面上制备了ZnO薄膜,并实验研究了其生长特性和发光特性随O2和Ar流量的变化。利用X射线衍射(XRD)、光致发光(PL)光谱、电子探针(EPMA)和霍尔测量对样品进行了检测。结果表明,在O2/Ar比值约为1时沉积得到的ZnO薄膜取向较一致,呈现高阻的状态并且发光性能最好。 展开更多

关键词 声表面波滤波器 金刚石 ZNO薄膜 磁控溅射

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港口库场计算机图形格式化管理系统的开发与应用 被引量：1

9

作者 谷建峰 李宏 《交通与计算机》 2002年第2期44-47,共4页

库场管理是港口货物流动流程中的重要环节 ,天津港第五港埠公司与天津港信息中心合作开发的港口库场计算机图形格式化管理系统的投入使用 ,为港口企业科学的管理库场提供了科学依据 ,提高了库场的利用率和周转率 ,明显提升了企业效益 ,... 库场管理是港口货物流动流程中的重要环节 ,天津港第五港埠公司与天津港信息中心合作开发的港口库场计算机图形格式化管理系统的投入使用 ,为港口企业科学的管理库场提供了科学依据 ,提高了库场的利用率和周转率 ,明显提升了企业效益 ,加快了企业向国际现代化港口企业发展的步伐。文章讲述了该系统的设计思路及实现管理功能 。 展开更多

关键词 物流 港口 库场 港口企业 货物流动 数字化管理 计算机图形格式化 管理系统

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基片温度对金刚石上沉积ZnO薄膜特性的影响

10

作者 孙剑 白亦真 +2 位作者 谷建峰 刘明 张庆瑜 《半导体光电》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第6期884-887,892,共5页

采用磁控溅射在自持CVD金刚石厚膜的成核面上制备了ZnO薄膜,并实验研究了其生长特性和发光特性随温度的变化情况。利用X射线衍射(XRD)仪,光致发光(PL)谱,电子探针(EPMA)和霍尔测量系统对样品进行了检测。SEM结果表明,基片温度为600℃时... 采用磁控溅射在自持CVD金刚石厚膜的成核面上制备了ZnO薄膜,并实验研究了其生长特性和发光特性随温度的变化情况。利用X射线衍射(XRD)仪,光致发光(PL)谱,电子探针(EPMA)和霍尔测量系统对样品进行了检测。SEM结果表明,基片温度为600℃时ZnO薄膜表面粗糙度最低。而PL谱表明基片温度为750℃时ZnO薄膜具有最优的光学性能,此时由EPMA测得的薄膜中Zn/O成分比接近ZnO的化学计量比。霍尔测量表明,样品均呈现出高阻状态,满足声表面波滤波器的制备条件。 展开更多

关键词 声表面波滤波器 金刚石 ZNO薄膜 磁控溅射

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形状记忆聚合物在4D打印技术下的研究及应用 被引量：3

11

作者 郝天泽 肖华平 +1 位作者 刘书海 谷建峰 《浙江大学学报（工学版）》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第1期1-16,共16页

为了打破传统3D打印的静止约束,增加打印结构的可变形性和可设计性,4D打印的相关研究逐渐兴起.综述了4D打印技术的发展和原理,总结了熔融沉积技术、立体光固化成型技术、聚合物喷射技术和直写技术这4种常见的打印方式的工作方式以及它... 为了打破传统3D打印的静止约束,增加打印结构的可变形性和可设计性,4D打印的相关研究逐渐兴起.综述了4D打印技术的发展和原理,总结了熔融沉积技术、立体光固化成型技术、聚合物喷射技术和直写技术这4种常见的打印方式的工作方式以及它们对材料的不同需求.从外界不同激励的角度,对形状记忆聚合物的变形方式、机理及回复程度等进行分析与总结,对形状记忆聚合物目前存在的关键科学难点和未来的发展方向进行总结.使用形状记忆聚合物的4D打印形状记忆智能结构在微创生物医学、机器人、柔性电子制造等研究领域已经有了应用,并表现出良好前景. 展开更多

关键词 4D打印 形状记忆聚合物 驱动方式 智能结构

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电化学沉积高c轴取向ZnO薄膜及其光学性能分析 被引量：7

12

作者 谷建峰 付伟佳 +3 位作者 刘明 刘志文 马春雨 张庆瑜 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2007年第10期5979-5985,共7页

采用阴极还原方法,在透明导电玻璃(ITO)上制备了高c轴择优取向的ZnO薄膜.通过X射线衍射、扫描电子显微镜等表征技术,研究了沉积电流对ZnO薄膜的结构、应力状态及表面形貌的影响;利用光致荧光光谱及透射光谱等分析方法,探讨了沉积电流变... 采用阴极还原方法,在透明导电玻璃(ITO)上制备了高c轴择优取向的ZnO薄膜.通过X射线衍射、扫描电子显微镜等表征技术,研究了沉积电流对ZnO薄膜的结构、应力状态及表面形貌的影响;利用光致荧光光谱及透射光谱等分析方法,探讨了沉积电流变化对ZnO薄膜的光学性能的影响.研究结果显示:各沉积电流下均可制得高c轴取向的ZnO薄膜;薄膜表面形貌受电流的影响较大;从透射谱可以看出,薄膜在可见光波段有较高透射率,且薄膜厚度随沉积电流的增大而增大.光致荧光测量表明,电化学沉积的ZnO薄膜具有明显的带隙展宽.而且,随着沉积电流的增加,带隙发光强度逐渐减弱,缺陷发光逐渐增强. 展开更多

关键词 ZNO薄膜 电沉积 表面形貌 光学性能

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Si(001)基片上反应射频磁控溅射ZnO薄膜的两步生长方法 被引量：4

13

作者 谷建峰 刘志文 +3 位作者 刘明 付伟佳 马春雨 张庆瑜 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2007年第4期2369-2376,共8页

利用反应射频磁控溅射技术,采用两步生长方法制备了ZnO薄膜,探讨了基片刻蚀时间和低温过渡层沉积时间对ZnO薄膜生长行为的影响.研究结果表明,低温ZnO过渡层的沉积时间所导致的薄膜表面形貌的变化与过渡层在Si(001)表面的覆盖度有关.当... 利用反应射频磁控溅射技术,采用两步生长方法制备了ZnO薄膜,探讨了基片刻蚀时间和低温过渡层沉积时间对ZnO薄膜生长行为的影响.研究结果表明,低温ZnO过渡层的沉积时间所导致的薄膜表面形貌的变化与过渡层在Si(001)表面的覆盖度有关.当低温过渡层尚未完全覆盖基片表面时,ZnO薄膜的表面岛尺度较小、表面粗糙度较大,薄膜应力较大;当低温过渡层完全覆盖Si(001)基片后,ZnO薄膜的表面岛尺度较大、表面粗糙度较小,薄膜应力较小.基片刻蚀时间对薄膜表面形貌的影响与低温过渡层的成核密度有关.随着刻蚀时间的增加,ZnO薄膜的表面粗糙度逐渐下降,表面形貌自仿射结构的关联长度逐渐减小. 展开更多

关键词 ZNO薄膜 反应射频磁控溅射 两步生长 形貌分析

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工作气压对磁控溅射ZnO薄膜结晶特性及生长行为的影响 被引量：22

14

作者 刘志文 谷建峰 +3 位作者 付伟佳 孙成伟 李勇 张庆瑜 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2006年第10期5479-5486,共8页

采用射频反应磁控溅射方法,在Si(001)基片上制备了具有高c轴择优取向的ZnO薄膜.利用原子力显微镜、X射线衍射、透射电子显微镜和透射光谱分析技术,对不同工作气压下合成的ZnO薄膜的表面形貌、微观结构和光学性能进行表征,研究了工作气压... 采用射频反应磁控溅射方法,在Si(001)基片上制备了具有高c轴择优取向的ZnO薄膜.利用原子力显微镜、X射线衍射、透射电子显微镜和透射光谱分析技术,对不同工作气压下合成的ZnO薄膜的表面形貌、微观结构和光学性能进行表征,研究了工作气压对ZnO薄膜的结晶性能以及生长行为的影响.研究结果显示:对于Ar/O2流量比例接近1∶1的固定比值下,ZnO薄膜的生长行为主要取决于成膜空间中氧的密度,临界工作气压介于0·5—1·0Pa之间.当工作气压小于临界值时,ZnO薄膜的成核密度较高,且随工作气压的变化明显,ZnO的生长行为受控于氧的密度,属于氧支配的薄膜生长;当工作气压大于临界值以后,ZnO薄膜的成核密度基本保持不变,Zn原子的数量决定薄膜的生长速率;在0·1—5·0Pa的工作气压范围内,均可获得高度c轴取向的ZnO薄膜,但工作气压的变化改变着ZnO晶粒之间的界面特征和取向关系.随着工作气压的增加,ZnO晶粒之间的界面失配缺陷减少,但平面织构特征逐渐消失,三叉晶界的空洞逐渐扩大,薄膜的密度下降,折射率减小. 展开更多

关键词 ZNO薄膜 磁控溅射 表面形貌 微观结构 光学性能

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磁控溅射ZnO薄膜的成核机制及表面形貌演化动力学研究 被引量：21

15

作者 刘志文 谷建峰 +1 位作者 孙成伟 张庆瑜 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2006年第4期1965-1973,共9页

利用原子力显微镜分析了ZnO薄膜在具有本征氧化层的Si(100)和Si(111)基片上的表面形貌随沉积时间的演化.通过对薄膜生长形貌的动力学标度表征,研究了射频反应磁控溅射条件下,ZnO薄膜的成核过程及生长动力学行为.研究发现,ZnO在基片表面... 利用原子力显微镜分析了ZnO薄膜在具有本征氧化层的Si(100)和Si(111)基片上的表面形貌随沉积时间的演化.通过对薄膜生长形貌的动力学标度表征,研究了射频反应磁控溅射条件下,ZnO薄膜的成核过程及生长动力学行为.研究发现,ZnO在基片表面的成核过程可分为初期成核阶段、低速率成核阶段和二次成核阶段.对于Si(100)基片,三个成核阶段的生长指数分别为β1=1·04,β2=0·25±0·01,β3=0·74;对于Si(111)基片,β1=0·51,β2=0·08±0·02,β3=0·63.在初期成核阶段,ZnO薄膜的成核密度可能与Si基片表面的本征缺陷有关,薄膜的生长过程除扩散效应影响以外,还可能存在着比较强的晶粒择优生长和晶格错配应力粗化机制.在低速率成核阶段,薄膜的生长行为主要受沉积速率所支配,而扩散效应的影响相对弱化,错配应力得以进一步释放.在二次成核阶段,载能粒子对基片表面的轰击是导致ZnO薄膜再次成核的重要原因,同时阴影效应也可能对薄膜的生长有一定的影响.在薄膜生长后期的稳定生长阶段,薄膜的表面粗糙度明显降低,具有典型的柱状晶生长特征. 展开更多

关键词 ZNO薄膜 磁控溅射 生长动力学 成核机制

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蓝宝石基片的处理方法对ZnO薄膜生长行为的影响 被引量：6

16

作者 刘明 刘志文 +3 位作者 谷建峰 秦福文 马春雨 张庆瑜 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2008年第2期1133-1140,共8页

采用反应射频磁控溅射方法,在经过不同方法处理的蓝宝石基片上,在同一条件下沉积了ZnO薄膜.利用原子力显微镜、X射线衍射、反射式高能电子衍射等分析技术,对基片和薄膜的结构、表面形貌进行了系统表征.研究结果显示,不同退火条件下的蓝... 采用反应射频磁控溅射方法,在经过不同方法处理的蓝宝石基片上,在同一条件下沉积了ZnO薄膜.利用原子力显微镜、X射线衍射、反射式高能电子衍射等分析技术,对基片和薄膜的结构、表面形貌进行了系统表征.研究结果显示,不同退火条件下的蓝宝石基片表面结构之间没有本质的差异,均为α-Al2O3(001)晶面,但基片表面形貌的变化较大.在不同方法处理的蓝宝石基片上生长的ZnO薄膜均具有高c轴取向的织构特征,但薄膜的表面形貌差异较大.基片经真空退火处理后,ZnO薄膜的生长形貌与基片未处理时十分类似,具有+c取向和-c取向两种外延岛特征;基片经氮气环境退火后,ZnO薄膜的生长形貌具有单一的-c取向外延岛特征,晶粒尺寸较大,但薄膜表面粗糙度没有明显改善;基片经氧气环境退火后,ZnO薄膜的生长形貌仍为-c取向外延岛特征,薄膜表面粗糙度显著降低.对于未处理、真空退火、氮气退火和氧气退火等方法处理的蓝宝石基片ZnO薄膜表面形貌的自仿射关联长度分别为619,840,882和500nm. 展开更多

关键词 ZNO薄膜 反应磁控溅射 基片处理 形貌分析

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