中红外腔衰荡光谱技术的研究进展及应用

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作者 孙乐 貊泽强 +2 位作者 胡誉元 唐吉龙 魏志鹏 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2024年第3期323-335,共13页

中红外基频指纹吸收谱具有吸收强、谱线宽且密集的特点。通常吸收红外光谱的气体分子在3000cm^(-1)附近的中红外基频吸收强度比近红外吸收高约2个数量级,因此逐渐成为腔衰荡光谱(CRDS)技术的研究热点。简述了CRDS技术的工作原理及技术优... 中红外基频指纹吸收谱具有吸收强、谱线宽且密集的特点。通常吸收红外光谱的气体分子在3000cm^(-1)附近的中红外基频吸收强度比近红外吸收高约2个数量级,因此逐渐成为腔衰荡光谱(CRDS)技术的研究热点。简述了CRDS技术的工作原理及技术优势,介绍了中波红外CRDS技术特点并分析对比了近红外与中红外波段的CRDS技术差异,论述了基于中红外波段的CRDS技术研究现状,最后基于应用研究进展对其前景进行了展望。 展开更多

关键词 光谱学 中红外 腔衰荡光谱技术 气体检测

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高功率板条激光介质的纵向强制对流换热技术 被引量：4

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作者 何建国 李明 +7 位作者 貊泽强 王金舵 余锦 代守军 陈艳中 葛文琦 刘洋 凡炼文 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2020年第9期223-230,共8页

液体强制对流换热因具有较高的可靠性和性能稳定性而被广泛使用于高功率板条激光介质介质的制冷,但沿流场方向产生的温度梯度会显著改变激光介质的热应力状态而带来不良影响。提出了基于冷却流场与目标温度匹配控制思路的双大面侧泵激... 液体强制对流换热因具有较高的可靠性和性能稳定性而被广泛使用于高功率板条激光介质介质的制冷,但沿流场方向产生的温度梯度会显著改变激光介质的热应力状态而带来不良影响。提出了基于冷却流场与目标温度匹配控制思路的双大面侧泵激光介质纵向强制对流冷却方案(Longitudinal forced convection),利用非定常边界条件的流-固耦合有限元仿真方法对比了全腔浸泡对流冷却(Cavity forced convection)、微通道传导冷却技术方案(Micro-channel conduction),针对入口流量、流场状态、流道壁面条件等因素进行了详细研究。在30 L/min入口流量下,该方案热交换区域固液界面平均对流换热系数达104 W·m^-2·K^-1量级,且均匀分布。此外,通过改变壁面粗糙程度能够获得更高的对流换热系数。根据设计结果研制了一套板条激光放大器,实验监测点的温度结果与模拟仿真预测结果相吻合,冷却性能达到预期。 展开更多

关键词 热管理 板条晶体 计算流体力学 强制对流换热 温度分布

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高精度激光加工设备隔振系统的设计 被引量：3

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作者 貊泽强 余锦 +6 位作者 聂树贞 刘洋 葛文琦 张雪 郭广妍 王治昊 王昊成 《科学技术与工程》 北大核心 2013年第21期6082-6087,共6页

随着激光加工精度要求的不断提高,加工设备系统的稳定性问题受到越来越多的重视。利用有限元方法对高精度激光加工设备的固有频率和谐响应进行了分析,并采用空气弹簧对整个系统进行减振处理。研究结果表明该激光加工设备具有较高的固有... 随着激光加工精度要求的不断提高,加工设备系统的稳定性问题受到越来越多的重视。利用有限元方法对高精度激光加工设备的固有频率和谐响应进行了分析,并采用空气弹簧对整个系统进行减振处理。研究结果表明该激光加工设备具有较高的固有频率,当外部激励频率明显小于一阶固有频率时系统较稳定,并且不同振动频率下空气弹簧的减振效果均较高,满足设备的减振要求。 展开更多

关键词 激光微加工 结构设计 振动分析 空气弹簧

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基于PC平台的高精度激光微加工系统的研制

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作者 貊泽强 余锦 +7 位作者 樊仲维 刘洋 葛文琦 张雪 聂树真 郭广妍 王治昊 王昊成 《科学技术与工程》 北大核心 2013年第21期6229-6234,共6页

介绍了自主设计高精度皮秒激光微加工系统及其控制单元。首先在加工系统整体方案的设计上充分考虑了激光器的选择、光束质量、控制方式等对加工精度的影响。将高斯光束转化为平顶光束引入激光微加工。其次使用了一种位置比较脉冲的光机... 介绍了自主设计高精度皮秒激光微加工系统及其控制单元。首先在加工系统整体方案的设计上充分考虑了激光器的选择、光束质量、控制方式等对加工精度的影响。将高斯光束转化为平顶光束引入激光微加工。其次使用了一种位置比较脉冲的光机同步技术,使得激光脉冲在空间上均匀分布,改善了加工效果。最后在系统中加入了路径规划、实时监测及同步显示等功能,实现系统加工线宽达到3.64μm,绝对定位精度小于1μm的激光微加工。 展开更多

关键词 激光微细加工 控制系统 光束整形 光机同步

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全固态被动调Q皮秒激光技术研究进展 被引量：3

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作者 王治昊 余锦 +5 位作者 樊仲维 葛文琦 涂龙 貊泽强 郭广妍 王昊成 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第7期900-910,共11页

全固态被动调Q激光技术在产生皮秒脉冲方面有较快发展。与锁模激光器相比,被动调Q皮秒激光器成本低、结构简单、易于校准光路,避免了锁模激光器结构复杂、机械敏感度高、光路校准困难等缺点,并且同样能够输出单脉冲能量可观、重频合适... 全固态被动调Q激光技术在产生皮秒脉冲方面有较快发展。与锁模激光器相比,被动调Q皮秒激光器成本低、结构简单、易于校准光路,避免了锁模激光器结构复杂、机械敏感度高、光路校准困难等缺点,并且同样能够输出单脉冲能量可观、重频合适的皮秒量级短脉冲,因此拥有较高的实用价值。本文讨论了全固态被动调Q皮秒激光技术领域的两种典型技术路线以及对调Q皮秒脉冲输出的后续处理技术,包括非线性技术和激光放大技术等,并介绍了国内外相关研究团队在该领域所做的工作及其突破性进展。 展开更多

关键词 全固态 被动调Q 皮秒激光技术 微片激光技术 非线性技术

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光腔衰荡光谱技术应用于痕量气体检测的研究进展 被引量：5

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作者 王晓华 王凯迪 +6 位作者 余锦 贾慧民 貊泽强 王金舵 唐吉龙 方铉 魏志鹏 《科学技术与工程》 北大核心 2017年第14期120-130,共11页

光腔衰荡光谱(CRDS)技术在对痕量气体的检测技术中占有重要的地位。对基于光腔衰荡光谱技术的痕量气体检测相关研究进行了综述,分析了光腔衰荡光谱技术的相关工作原理及技术特点。介绍了CRDS痕量气体检测在大气环境、生物医学、燃烧化... 光腔衰荡光谱(CRDS)技术在对痕量气体的检测技术中占有重要的地位。对基于光腔衰荡光谱技术的痕量气体检测相关研究进行了综述,分析了光腔衰荡光谱技术的相关工作原理及技术特点。介绍了CRDS痕量气体检测在大气环境、生物医学、燃烧化学等方面的研究进展以及存在的问题;总结了CRDS痕量气体检测的发展趋势。 展开更多

关键词 腔衰荡光谱 痕量气体检测 研究进展 激光技术

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基于Shark-Hartmann理论的波前探测技术研究 被引量：1

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作者 郭广妍 樊仲维 +6 位作者 余锦 葛文琦 康治军 唐熊忻 貊泽强 王昊成 石朝辉 《应用光学》 CAS CSCD 北大核心 2014年第5期823-829,共7页

精确的波前探测是反射镜面型检测及光束波前畸变测量的重要依据,论文根据SharkHartmann理论对波前探测技术进行了模拟和实验研究。将平行光经过球面透镜/柱面透镜后形成的球面波/柱面波作为探测波前。实验采用商用的微透镜阵列和CCD搭建... 精确的波前探测是反射镜面型检测及光束波前畸变测量的重要依据,论文根据SharkHartmann理论对波前探测技术进行了模拟和实验研究。将平行光经过球面透镜/柱面透镜后形成的球面波/柱面波作为探测波前。实验采用商用的微透镜阵列和CCD搭建Shark-Hartmann传感器,利用实际光束作为参考光,避免了参考光的不准直性对实验的影响。模拟计算结果表明平均曲率误差为13.423mm,实验结果实现了对球面/柱面/倾斜波的探测及复原。 展开更多

关键词 自适应光学 SHARK Hartmann传感器 波前重构 ZERNIKE多项式

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连续波腔衰荡光谱技术中模式筛选的数值方法 被引量：5

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作者 王金舵 余锦 +5 位作者 貊泽强 何建国 代守军 孟晶晶 王晓东 刘洋 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2019年第24期153-163,共11页

连续波腔衰荡光谱(CW-CRDS)测量中多模衰荡的产生是严重影响痕量气体测量灵敏度的重要因素.本文针对衰荡腔内无光阑或光阑滤模不彻底的CRDS装置,通过分析腔误调时的能量耦合规律以及受关断时间影响的衰荡过程,提出阈值选择和拟合度判定... 连续波腔衰荡光谱(CW-CRDS)测量中多模衰荡的产生是严重影响痕量气体测量灵敏度的重要因素.本文针对衰荡腔内无光阑或光阑滤模不彻底的CRDS装置,通过分析腔误调时的能量耦合规律以及受关断时间影响的衰荡过程,提出阈值选择和拟合度判定两种非光阑模式筛选方法,利用数值方法达到抑制多模衰荡及筛选基模衰荡(优衰荡)的目的.首先对CW-CRDS实验中平均采样和单次采样模式下出现的多种衰荡类型进行了归纳分析,发现可以通过单次采样数据预测多次采样的测量结果,实验结果与预期一致.解决了CRDS实验"平均"和"拟合"的先后顺序问题.在此基础上,利用优衰荡出现概率满足二项分布模型的特性,建立了优衰荡出现频率随触发阈值变化的概率模型,用于选择合适的触发阈值.实验表明提升触发阈值可以有效地抑制多模衰荡,使测量灵敏度提升约一个数量级.随着触发阈值的提升,通过优衰荡得到的Allan方差将趋于一个定值,但是衰荡过程获取时间将逐渐延长.因此,在CW-CRDS检测中触发阈值应设置在保证全部衰荡过程均为优衰荡的最小阈值处.之后,采用拟合度判定法对实验数据进行了筛选.最后给出了两种方法的适用范围,拟合度判定法虽然简单但局限性较大,阈值选择法可适用于腔误调程度不严重的情况. 展开更多

关键词 腔衰荡光谱技术 腔误调 多模衰荡 测量灵敏度

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差动对焦系统光电信号探测电路的设计 被引量：4

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作者 刘茵 余锦 貊泽强 《科学技术与工程》 北大核心 2016年第7期199-203,共5页

依据差动对焦系统的要求,给出了差动光电信号探测电路的实现方法。以高性能仪用放大器AD620BN、低噪声运放AD795JRZ和运放OP07EP为核心,设计了光电转换前置电路、信号调理及差分电路、二阶低通滤波器及伪零点消除电路,实现将差动光信号... 依据差动对焦系统的要求,给出了差动光电信号探测电路的实现方法。以高性能仪用放大器AD620BN、低噪声运放AD795JRZ和运放OP07EP为核心,设计了光电转换前置电路、信号调理及差分电路、二阶低通滤波器及伪零点消除电路,实现将差动光信号转换为电信号。经后续MSP430F149单片机系统电路处理后,产生调焦控制信号实现系统的自动对焦。实验测试结果验证了所设计电路的可行性和正确性,符合差动对焦系统的设计要求。 展开更多

关键词 差动对焦 光电检测 差分放大器AD620BN 滤波器

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单光束多组分温室气体的腔衰荡光谱同步检测 被引量：2

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作者 王金舵 余锦 +5 位作者 貊泽强 何建国 代守军 陈炫坤 孟晶晶 于鸿瑞 《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2019年第7期2046-2052,共7页

腔衰荡光谱技术(CRDS)作为一种具有高灵敏度高光谱分辨率的检测方法已被广泛用于痕量气体检测。而目前基于CRDS痕量气体检测多针对单一气体进行测量或通过多个激光器产生的多光束进行多种组分气体浓度测量。利用DFB激光器波长可调谐特性... 腔衰荡光谱技术(CRDS)作为一种具有高灵敏度高光谱分辨率的检测方法已被广泛用于痕量气体检测。而目前基于CRDS痕量气体检测多针对单一气体进行测量或通过多个激光器产生的多光束进行多种组分气体浓度测量。利用DFB激光器波长可调谐特性,通过强弱吸收峰结合,使用单光束实现了多种温室气体的腔衰荡光谱技术同步检测。由于大气中水汽和二氧化碳浓度较高,为实现同一衰荡系统对三种温室气体的同步测量,在平衡吸收损耗的基础上,选取1653~1654nm内甲烷的强吸收峰与水汽、二氧化碳的弱吸收峰进行测量。通过光谱叠加反演矩阵,分别得到甲烷、水汽、二氧化碳的浓度。在计算测量灵敏度过程中发现,通过去除衰荡过程初期的部分数据点(过滤区间),会对噪声等效吸收系数产生影响。多数情况下,在测量灵敏度计算方面,列文伯格-马夸尔特算法(L-M)会优于离散傅里叶变换法(DFT);但当衰荡曲线的单指数性下降时,上述结论不一定成立。搭建了一个低精细度(F≈6×10^3)衰荡腔对上述结论进行了实验验证。相较于用于测量温室气体浓度的高精细度衰荡腔(F≈1×10^5),低精细度衰荡腔的衰荡速率较快,衰荡曲线的单指数性明显低于高精细度衰荡腔。实验表明,在过滤区间长度较短时,采用DFT算法计算得到的噪声等效吸收系数会小于L-M算法得到的结果。当过滤区间长度增加时,L-M算法得到的结果优于DFT算法。在受过滤区间长度影响方面,DFT算法的波动性要明显小于L-M算法。根据Allan方差分析,在512次采样平均(约8s)下的最小噪声等效吸收系数进行计算,该CRDS装置测量灵敏度为2.4×10^-10cm^-1。在25℃标准大气压下,对应甲烷、水汽、二氧化碳的测量灵敏度分别为0.64ppbv,3.5ppmv和4.0ppmv。基于该CRDS装置,通过单光束多波长测量方法,利用光谱叠加反演矩阵,测得大气中甲烷、水汽、二氧化碳浓度分别为2.018,3654和526ppmv;而采用经典CRDS单波长测量得到的甲烷、水汽、二氧化碳浓度分别为2.037,3898和630ppmv。通过与温控调节波长,逐点扫描得到的光谱吸收曲线进行对比,采用多波长测量得到气体浓度进行复合拟合的光谱曲线残差小于单波长测量得到气体浓度进行简单拟合的光谱曲线残差。 展开更多

关键词 腔衰荡光谱技术 温室气体 痕气检测 拟合算法

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激光衰荡测量中腔内能量动态过程分析研究

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作者 朱媛 余锦 +2 位作者 貊泽强 唐吉龙 魏志鹏 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2022年第10期1543-1550,共8页

从激光衰荡中衰荡腔内能量的动态变化出发,考察了电流调制腔衰荡的频率匹配过程,分析了激光波长扫描速率对光强注入变化的影响,进而解释了光关断后衰荡曲线出现过充畸变的原因,研究了不同充光时间下检测精度的变化规律。实验考察了不同... 从激光衰荡中衰荡腔内能量的动态变化出发,考察了电流调制腔衰荡的频率匹配过程,分析了激光波长扫描速率对光强注入变化的影响,进而解释了光关断后衰荡曲线出现过充畸变的原因,研究了不同充光时间下检测精度的变化规律。实验考察了不同触发阈值和延迟时间等参数设置下激光衰荡过程,发现随着触发阈值的增加,测量精度和灵敏度提升,但衰荡检测频率明显下降,因此触发阈值的设置应同时兼顾测量精度和测量频率要求。此外,延迟时间的增加会影响测量幅值的稳定,但可获得较高的测量精度和衰荡时间。实验中当延迟时间为400 ns时,测量幅值与测量精度达到平衡,此时衰荡时间为39.1403μs,测量精度为0.0162。 展开更多

关键词 腔衰荡光谱 电流调制 频率匹配 阈值调节 关断延迟

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基于CW-CRDS的大气甲烷浓度直接测量方法研究

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作者 王金舵 徐文斌 +2 位作者 貊泽强 何建国 刘洋 《科技创新导报》 2022年第19期23-27,100,共6页

腔衰荡光谱技术(CRDS)具有高灵敏度、高精度、高光谱分辨率,适合痕量气体检测。但是,其在被用于测量大气甲烷浓度时,需要对大气样本进行预处理,否则会受到其他气体吸收特性和气溶胶消光特性干扰,影响测量精度。本文针对这个问题,提出了... 腔衰荡光谱技术(CRDS)具有高灵敏度、高精度、高光谱分辨率,适合痕量气体检测。但是,其在被用于测量大气甲烷浓度时,需要对大气样本进行预处理,否则会受到其他气体吸收特性和气溶胶消光特性干扰,影响测量精度。本文针对这个问题,提出了一种基于CW-CRDS的直接测量大气甲烷浓度的方法,利用可调谐激光器进行光谱扫描,在同时测量大气中水汽、二氧化碳吸收系数和多种粒径气溶胶颗粒消光系数的基础上,结合波长校正法,提高了在环境大气中无预处理条件下的大气甲烷测量准确性。 展开更多

关键词 腔衰荡光谱技术 大气甲烷 多组分气体吸收 气溶胶消光

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锁频技术在腔衰荡光谱检测中的研究进展及典型应用

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作者 胡誉元 貊泽强 +3 位作者 唐吉龙 朱媛 余锦 魏志鹏 《激光与光电子学进展》 CSCD 北大核心 2023年第9期89-100,共12页

锁频技术极大地促进了腔衰荡光谱技术在光谱吸收领域的发展,使腔衰荡光谱技术具有更高精度、更好灵敏度以及更稳定等优势。本文基于经典腔衰荡光谱技术和锁频技术基本原理,对锁频技术在吸收光谱领域的研究现状以及在大气痕量气体等不同... 锁频技术极大地促进了腔衰荡光谱技术在光谱吸收领域的发展,使腔衰荡光谱技术具有更高精度、更好灵敏度以及更稳定等优势。本文基于经典腔衰荡光谱技术和锁频技术基本原理,对锁频技术在吸收光谱领域的研究现状以及在大气痕量气体等不同领域的应用进行综述,列举了几种现阶段腔衰荡光谱领域使用较多的锁频技术并对其进行了分析。最后结合现阶段锁频技术和腔衰荡光谱技术的发展趋势对锁频技术的应用前景进行了展望。 展开更多

关键词 光谱学 腔衰荡吸收光谱 锁频技术 气体检测

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大气激光通信强度调制技术差错性能研究 被引量：7

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作者 王宝鹏 余锦 +6 位作者 王云哲 孟晶晶 貊泽强 王金舵 代守军 何建国 王晓东 《激光与光电子学进展》 CSCD 北大核心 2020年第23期127-139,共13页

介绍19种典型强度调制方式的符号结构,推导它们在高斯信道、弱湍流信道、中强湍流信道中的误时隙率(SER)模型,并进行了数值仿真。仿真结果表明:随着信噪比不断增大,各调制方式的SER持续减小并逐渐趋于一致,当SER趋于一致时,对信噪比的... 介绍19种典型强度调制方式的符号结构,推导它们在高斯信道、弱湍流信道、中强湍流信道中的误时隙率(SER)模型,并进行了数值仿真。仿真结果表明:随着信噪比不断增大,各调制方式的SER持续减小并逐渐趋于一致,当SER趋于一致时,对信噪比的要求随湍流强度的增大而增高。脉冲位置调制(PPM)在三种信道中的SER均为最小;调制阶数较小时,差分幅度PPM的SER最大,调制阶数较大时,开关键控(OOK)的SER最大。其余调制方式的SER介于OOK、PPM与差分幅度PPM之间,并随着调制阶数的增大出现分层现象。研究结果对实际激光通信系统的设计具有一定参考价值。 展开更多

关键词 光通信 强度调制 自由空间光通信 直接检测 误时隙率 大气信道模型

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固体激光器波前畸变自适应校正技术及研究进展 被引量：8

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作者 郭广妍 樊仲维 +6 位作者 余锦 葛文琦 康治军 唐熊忻 貊泽强 王昊成 王治昊 《激光与光电子学进展》 CSCD 北大核心 2014年第3期1-12,共12页

自适应光学(AO)作为一种主动光学补偿技术,由于具有结构简单、校正效果好、可闭环运行等优势,被大量用于校正激光波前畸变,并于近年逐渐应用于高能激光器系统中。综述了AO系统工作的基本原理,系统论述了近年来国内外在AO系统校正固体激... 自适应光学(AO)作为一种主动光学补偿技术,由于具有结构简单、校正效果好、可闭环运行等优势,被大量用于校正激光波前畸变,并于近年逐渐应用于高能激光器系统中。综述了AO系统工作的基本原理,系统论述了近年来国内外在AO系统校正固体激光畸变方面的研究进展。按照校正固体激光器波前畸变的AO系统中有无采用波前传感器,将其分为无波前探测和有波前探测的AO校正技术进行介绍,分析了各个研究工作的关键性技术。最后总结了目前存在的技术难题,并对AO技术在固体激光器中的应用前景进行了展望。 展开更多

关键词 激光器 固体激光器 自适应光学 波前畸变 光束质量

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并行共焦显微检测技术及其研究进展 被引量：7

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作者 涂龙 余锦 +8 位作者 樊仲维 边强 葛文琦 刘洋 张雪 黄科 聂树真 李晗 貊泽强 《激光与光电子学进展》 CSCD 北大核心 2012年第8期44-52,共9页

共焦显微术是一种重要的微小物体成像技术,由于具有高精度、高分辨率及容易实现三维重构图像的优势而被广泛应用于微纳三维形貌测量。近年来,并行共焦显微检测技术引起各国专家的广泛关注,该技术将单点扫描变为多路同时并行探测,大大提... 共焦显微术是一种重要的微小物体成像技术,由于具有高精度、高分辨率及容易实现三维重构图像的优势而被广泛应用于微纳三维形貌测量。近年来,并行共焦显微检测技术引起各国专家的广泛关注,该技术将单点扫描变为多路同时并行探测,大大提高了三维检测速度。综述了并行共焦显微检测技术的基本原理,系统论述了近年来国内外在并行共焦显微检测技术方面的研究进展以及作者在这方面的研究。按照实现并行检测的方法对7种并行共焦显微检测技术进行了分类介绍,并指出了各种方法的优缺点。最后总结了目前存在的技术难题,分析了未来的发展趋势,为我国进一步开展此项研究提供技术参考。 展开更多

关键词 显微术 并行共焦显微术 微纳检测 数字微镜 静态扫描

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基于阈值调节的腔衰荡光谱检测量程扩展方法研究 被引量：3

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作者 貊泽强 余锦 +6 位作者 何建国 王金舵 刘洋 代守军 王晓东 孟晶晶 徐毓阳 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第8期140-146,共7页

当待测气体浓度较高时,腔内吸收损耗较大,限制了腔衰荡光谱检测技术的检测量程。针对这一问题,分析了采样阈值与气体浓度检测之间的相关性,模拟了阈值调节对检测精度的影响,建立了描述阈值与气体浓度的动态响应范围的模型,提出了通过调... 当待测气体浓度较高时,腔内吸收损耗较大,限制了腔衰荡光谱检测技术的检测量程。针对这一问题,分析了采样阈值与气体浓度检测之间的相关性,模拟了阈值调节对检测精度的影响,建立了描述阈值与气体浓度的动态响应范围的模型,提出了通过调节阈值实现检测量程扩展的方法。在实验中,利用腔衰荡光谱检测装置对不同浓度的甲烷标准气体进行测量,测量结果与理论模拟结果一致。通过调节检测阈值,将量程扩展到1×10^-4(体积分数),动态响应范围为2.72×10^4,最大引用误差为0.78%。该方法解决了腔衰荡光谱技术中低检出限和大量程不能同时满足的问题,为阈值参数的设置提供了分析方法。 展开更多

关键词 测量 激光光谱 腔衰荡光谱 阈值调节 量程扩展

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三波长同轴输出皮秒激光精细加工系统的研制及其应用 被引量：3

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作者 刘洋 余锦 +5 位作者 张雪 貊泽强 聂树真 黄玉涛 樊仲维 陈波 《激光与光电子学进展》 CSCD 北大核心 2013年第5期153-159,共7页

为了满足不同材料的精细加工需求,采用三波长皮秒激光器作为光源,配合自行设计的光学系统和控制系统,研制了三波长同轴输出皮秒激光精细加工系统。该系统可使用任意一种、两种或三种激光波长进行同工作距加工,通过轴向色差补偿设计,实... 为了满足不同材料的精细加工需求,采用三波长皮秒激光器作为光源,配合自行设计的光学系统和控制系统,研制了三波长同轴输出皮秒激光精细加工系统。该系统可使用任意一种、两种或三种激光波长进行同工作距加工,通过轴向色差补偿设计,实现轴向焦点补偿最大距离0.4mm,最小焦斑直径为3μm。初步探讨了该系统在微电子行业的应用,进行了铜电极板、手机屏的切割实验以及位置敏感阳极探测器图形的制作,实验证明该系统可满足多种材料的精细加工要求。 展开更多

关键词 激光技术 三波长激光器 皮秒激光 精细加工

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皮秒激光加工系统设计及实验研究 被引量：1

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作者 刘洋 余锦 +3 位作者 张雪 黄玉涛 樊仲维 貊泽强 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第B12期48-54,共7页

设计了皮秒激光加工系统，该系统可输出355、532、1064nm皮秒脉冲激光，单脉冲能量最大1．5mJ，脉冲宽度9．12ps。进行了轴向色差补偿设计，轴向焦点补偿最大距离0．4mm，最小焦斑直径为3μm，峰值功率密度达0．6×10μW／cm2。。... 设计了皮秒激光加工系统，该系统可输出355、532、1064nm皮秒脉冲激光，单脉冲能量最大1．5mJ，脉冲宽度9．12ps。进行了轴向色差补偿设计，轴向焦点补偿最大距离0．4mm，最小焦斑直径为3μm，峰值功率密度达0．6×10μW／cm2。。应用该系统，开展了不同波长与不同材料作用的加工实验研究。研究表明，1064nm皮秒脉冲激光可用于手机屏幕切割，532nm皮秒脉冲激光可用于光电探测器制作，355nm皮秒脉冲可用于精细度要求较高的金属类材料加工。 展开更多

关键词 激光技术 皮秒激光 精细加工 色差补偿

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激光脱漆技术的研究进展 被引量：15

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作者 王晓东 余锦 +3 位作者 貊泽强 何建国 代守军 孟晶晶 《激光与光电子学进展》 CSCD 北大核心 2020年第5期51-62,共12页

激光脱漆作为一种绿色、高效的新型脱漆技术,在制造和维修领域具有广泛的应用前景,正在逐步取代传统的脱漆工艺而发展成为最先进的物理脱漆方式。介绍了激光脱漆技术的原理,综述了基于不同激光器的激光脱漆技术的国内外研究进展,并对激... 激光脱漆作为一种绿色、高效的新型脱漆技术,在制造和维修领域具有广泛的应用前景,正在逐步取代传统的脱漆工艺而发展成为最先进的物理脱漆方式。介绍了激光脱漆技术的原理,综述了基于不同激光器的激光脱漆技术的国内外研究进展,并对激光脱漆技术的发展前景进行了展望。 展开更多

关键词 激光脱漆技术 脱漆方法 激光器类型 设备维修

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