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AlGaN基深紫外LED光源灭活柯萨奇病毒研究
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作者 吴郁 蓝习瑜 +6 位作者 张梓睿 吴章鑫 刘忠宇 杨玲佳 张山丽 徐可 贲建伟 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第8期1391-1397,共7页
为探究在高温热处理AlN模板上制备的不同发光波长AlGaN基LED器件对病毒的灭活效率,本工作在发光波长257~294 nm范围内制备了7组不同发光波长AlGaN基深紫外LED器件,并探究其对柯萨奇病毒灭活效率。实验结果表明,高温热处理AlN模板可以将... 为探究在高温热处理AlN模板上制备的不同发光波长AlGaN基LED器件对病毒的灭活效率,本工作在发光波长257~294 nm范围内制备了7组不同发光波长AlGaN基深紫外LED器件,并探究其对柯萨奇病毒灭活效率。实验结果表明,高温热处理AlN模板可以将AlN模板位错密度降低至1.33×10^(7)cm^(-2),为制备高效率AlGaN基LED器件奠定了良好基础;基于高温热处理AlN模板制备的AlGaN基LED器件,在灭活距离2 cm、紫外辐照时间30 s实验条件下,发光中心波长在257~278 nm之间的AlGaN基LED器件对柯萨奇病毒灭活率≥99.90%,而发光中心波长为288 nm、294 nm的LED对柯萨奇病毒灭活率仅为99.47%及96.15%。根据以上研究结果,波长在257~278 nm之间的AlGaN基LED器件适合在病毒消杀领域应用;在本工作实验条件下,波长大于288 nm的AlGaN基深紫外LED器件对病毒灭活效果较差。 展开更多
关键词 高温热处理 AlN模板 ALGAN LED 病毒灭活
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台阶聚束AlN高温热退火形貌演化研究 被引量:1
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作者 聂子凯 贲建伟 +7 位作者 张恩韬 马晓宝 张山丽 石芝铭 吕顺鹏 蒋科 孙晓娟 黎大兵 《人工晶体学报》 CAS 北大核心 2023年第6期1016-1024,共9页
本文在具有0.2°至1.0°斜切角的c面蓝宝石衬底上通过金属有机化合物化学气相沉积(MOCVD)生长了台阶聚束表面形貌AlN外延层,并系统研究了高温退火过程中其表面形貌演化规律,且基于第一性原理计算揭示了表面形貌演化背后的物理... 本文在具有0.2°至1.0°斜切角的c面蓝宝石衬底上通过金属有机化合物化学气相沉积(MOCVD)生长了台阶聚束表面形貌AlN外延层,并系统研究了高温退火过程中其表面形貌演化规律,且基于第一性原理计算揭示了表面形貌演化背后的物理机制。研究发现,随退火温度逐步升高,AlN外延层台阶边缘首先出现具有六方结构特征的热刻蚀凹坑,随后在台面上形成边缘规则的多边形凹坑,其主要原因是AlN表面台阶边缘处Al-N原子对脱附能量(10.72 eV)小于台面处Al-N原子对脱附能量(12.12 eV)。此外,由于台阶宽度随斜切角增大而变窄,台面处凹坑在扩张过程中易与台阶边缘处凹坑发生合并形成V形边缘,斜切角越大台面上凹坑数量越少。本文阐明了不同斜切角蓝宝石衬底上生长的AlN在高温热退火过程中台阶聚束形貌演变机制,为面内组分调制的AlGaN基高效深紫外LED提供基础。 展开更多
关键词 氮化铝 表面形貌 高温热退火 台阶聚束 斜切衬底 热刻蚀
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A self-driven photodetector based on a SnS_(2)/WS_(2) van der Waals heterojunction with an Al_(2)O_(3) capping layer
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作者 王祥骏 林钰恒 +5 位作者 刘潇 邓煊华 贲建伟 俞文杰 朱德亮 刘新科 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2023年第1期585-591,共7页
Photodetectors based on two-dimensional(2D) materials have attracted considerable attention because of their unique properties. To further improve the performance of self-driven photodetectors based on van der Waals h... Photodetectors based on two-dimensional(2D) materials have attracted considerable attention because of their unique properties. To further improve the performance of self-driven photodetectors based on van der Waals heterojunctions, a conductive band minimum(CBM) matched self-driven SnS_(2)/WS_(2) van der Waals heterojunction photodetector based on a SiO2/Si substrate has been designed. The device exhibits a positive current at zero voltage under 365 nm laser illumination.This is attributed to the built-in electric field at the interface of the SnS_(2) and WS_(2) layer, which will separate and transport the photogenerated carriers, even at zero bias voltage. In addition, the Al_(2)O_(3) layer is covered by the surface of the SnS_(2)/WS_(2) photodetector to further improve the performance, because the Al_(2)O_(3) layer will introduce tensile stress on the surface of the 2D materials leading to a higher electron concentration and smaller effective mass of electrons in the films. This work provides an idea for the research of self-driven photodetectors based on a van der Waals heterogeneous junction. 展开更多
关键词 SnS_(2)/WS_(2)heterogeneous junction Al_(2)O_(3)layer self-driven PHOTODETECTOR
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AlGaN基宽禁带半导体光电材料与器件 被引量:3
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作者 贲建伟 孙晓娟 +6 位作者 蒋科 陈洋 石芝铭 臧行 张山丽 黎大兵 吕威 《人工晶体学报》 EI CAS 北大核心 2020年第11期2046-2067,共22页
AlGaN基材料是带隙可调的直接带隙宽禁带半导体材料,是制备紫外(UV)光电子器件的理想材料。经过数十年的研究,目前已经在异质衬底外延生长AlGaN基材料、高效掺杂等方面取得了巨大进展。以此为基础,AlGaN基紫外光电器件制备领域也得到长... AlGaN基材料是带隙可调的直接带隙宽禁带半导体材料,是制备紫外(UV)光电子器件的理想材料。经过数十年的研究,目前已经在异质衬底外延生长AlGaN基材料、高效掺杂等方面取得了巨大进展。以此为基础,AlGaN基紫外光电器件制备领域也得到长足发展。在本综述中,主要介绍了高质量AlGaN基材料的MOCVD外延生长方法、掺杂方法以及近年来在紫外发光、紫外探测器件方面取得的进展。 展开更多
关键词 AlGaN基材料 外延生长 掺杂 紫外发光器件 紫外探测
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高温热处理a面AlN表面形貌演变机理 被引量:1
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作者 隋佳恩 贲建伟 +8 位作者 臧行 蒋科 张山丽 郭冰亮 陈洋 石芝铭 贾玉萍 黎大兵 孙晓娟 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2021年第6期810-817,共8页
非极性a面AlN(a-AlN)能够从根本上解决极性AlN引起的量子限制斯塔克效应问题,是提升AlGaN发光器件效率的有效途径。但是,非极性AlN生长面临更大的挑战,目前难以实现低缺陷密度、高平整表面的非极性a-AlN。高温热处理是一种提高AlN质量... 非极性a面AlN(a-AlN)能够从根本上解决极性AlN引起的量子限制斯塔克效应问题,是提升AlGaN发光器件效率的有效途径。但是,非极性AlN生长面临更大的挑战,目前难以实现低缺陷密度、高平整表面的非极性a-AlN。高温热处理是一种提高AlN质量的有效方法,但在热处理过程中,非极性a-AlN的表面形貌演变的物理机理尚不明确,直接影响了a-AlN表面改善与质量提升。本研究通过对a-AlN薄膜在不同条件下进行高温热处理,对样品的表面形貌演变过程进行了表征与分析,并结合第一性原理计算,揭示了高温热处理对非极性a-AlN表面的影响及其物理机理。结果表明,在高温热处理过程中Al、N原子更趋向于从a面与m面分解,而在c面吸附,使得a-AlN样品表面在高温热处理过程中出现了沿c轴方向的高取向性条纹原子台阶形貌,进而提高a-AlN材料质量。本研究为实现高质量非极性a-AlN材料及紫外发光器件提供了重要基础。 展开更多
关键词 a-AlN 高温热处理 表面形貌演变 结合能
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Introducing voids around the interlayer of AlN by high temperature annealing 被引量:1
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作者 Jianwei Ben Jiangliu Luo +3 位作者 Zhichen Lin Xiaojuan Sun Xinke Liu Xiaohua Li 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2022年第7期448-453,共6页
Introducing voids into AlN layer at a certain height using a simple method is meaningful but challenging.In this work,the AlN/sapphire template with AlN interlayer structure was designed and grown by metal-organic che... Introducing voids into AlN layer at a certain height using a simple method is meaningful but challenging.In this work,the AlN/sapphire template with AlN interlayer structure was designed and grown by metal-organic chemical vapor deposition.Then,the AlN template was annealed at 1700℃for an hour to introduce the voids.It was found that voids were formed in the AlN layer after high-temperature annealing and they were mainly distributed around the AlN interlayer.Meanwhile,the dislocation density of the AlN template decreased from 5.26×10^(9)cm^(-2)to 5.10×10^(8)cm^(-2).This work provides a possible method to introduce voids into AlN layer at a designated height,which will benefit the design of AlN-based devices. 展开更多
关键词 AlN template AlN interlayer voids high-temperature annealing
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