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可剥离超薄铜箔沉铜工艺研究现状
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作者 黄崛起 赖远藤 《世界有色金属》 2012年第1期30-32,共3页
载体支撑的可剥离超薄铜箔的三种常用沉铜方法是:氰化物电沉铜法、焦磷酸盐电沉铜法、硫酸盐电沉铜法。本文对这三种方法进行了总结,并逐一分析了三种沉铜方法的优缺点,分析得出硫酸盐电积铜作为最普及的沉铜方法的原因,并对载体支撑的... 载体支撑的可剥离超薄铜箔的三种常用沉铜方法是:氰化物电沉铜法、焦磷酸盐电沉铜法、硫酸盐电沉铜法。本文对这三种方法进行了总结,并逐一分析了三种沉铜方法的优缺点,分析得出硫酸盐电积铜作为最普及的沉铜方法的原因,并对载体支撑的可剥离超薄铜箔的沉铜方式的发展作了展望。 展开更多
关键词 超薄铜箔 铜工艺 焦磷酸盐 可剥离 硫酸盐 氰化物 电积铜 支撑
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