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厚灵敏层金硅面垒探测器
1
作者
王柱生
李存璠
+1 位作者
赵荣璞
谭继廉
《核电子学与探测技术》
CAS
CSCD
北大核心
1990年第3期146-149,共4页
本文介绍了最大耗尽厚度达5mm,最大有效面积为80—153mm^2的厚灵敏层金硅面垒探测器研制工艺,主要用途和测试结果。
关键词
面垒
灵敏层
探测器
半导体
单晶硅
下载PDF
职称材料
较大面积厚灵敏层金硅面垒探测器及其应用
2
作者
王柱生
李存藩
赵荣璞
《核物理动态》
CSCD
1991年第2期45-47,共3页
本文介绍了135mm^2(5mm 厚)-700mm^2(3mm 厚)较大面积厚灵敏层金硅面垒探测器的制造工艺,性能及在核物理实验中的应用。
关键词
探测器
金硅面垒
大面积
原文传递
题名
厚灵敏层金硅面垒探测器
1
作者
王柱生
李存璠
赵荣璞
谭继廉
机构
中国科学院近代物理研究所
出处
《核电子学与探测技术》
CAS
CSCD
北大核心
1990年第3期146-149,共4页
文摘
本文介绍了最大耗尽厚度达5mm,最大有效面积为80—153mm^2的厚灵敏层金硅面垒探测器研制工艺,主要用途和测试结果。
关键词
面垒
灵敏层
探测器
半导体
单晶硅
Keywords
Surface barrier, Thick sensitive layer, Oxidize,Energy resolution
分类号
TL814 [核科学技术—核技术及应用]
下载PDF
职称材料
题名
较大面积厚灵敏层金硅面垒探测器及其应用
2
作者
王柱生
李存藩
赵荣璞
机构
中国科学院近代物理研究所
出处
《核物理动态》
CSCD
1991年第2期45-47,共3页
文摘
本文介绍了135mm^2(5mm 厚)-700mm^2(3mm 厚)较大面积厚灵敏层金硅面垒探测器的制造工艺,性能及在核物理实验中的应用。
关键词
探测器
金硅面垒
大面积
分类号
O572.212 [理学—粒子物理与原子核物理]
原文传递
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
厚灵敏层金硅面垒探测器
王柱生
李存璠
赵荣璞
谭继廉
《核电子学与探测技术》
CAS
CSCD
北大核心
1990
0
下载PDF
职称材料
2
较大面积厚灵敏层金硅面垒探测器及其应用
王柱生
李存藩
赵荣璞
《核物理动态》
CSCD
1991
0
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