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纳米晶体化学太阳电池的研究 被引量:44
1
作者 戴松元 王孔嘉 +1 位作者 邬钦崇 王瑜 《太阳能学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1997年第2期228-232,共5页
纳米晶体化学太阳电池在太阳光下的光电转换效率目前已约达10%,对其发展、结构和工作原理进行了综述。
关键词 纳米晶体 太阳能电池 化学太阳能电池
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铜上采用镍过渡层化学气相沉积金刚石薄膜的研究 被引量:10
2
作者 马志斌 邬钦崇 +2 位作者 汪建华 王传新 黎向锋 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2000年第5期943-946,共4页
采用镍过渡层研究了铜基片上金刚石薄膜的化学气相沉积.镍过渡层与铜基底间在高温退火条件下形成的铜镍共晶体明显地增强了金刚石薄膜与铜基片之间的结合力.用扫描电子显微镜和激光Raman谱研究了薄膜的形貌和质量;采用高温氢等... 采用镍过渡层研究了铜基片上金刚石薄膜的化学气相沉积.镍过渡层与铜基底间在高温退火条件下形成的铜镍共晶体明显地增强了金刚石薄膜与铜基片之间的结合力.用扫描电子显微镜和激光Raman谱研究了薄膜的形貌和质量;采用高温氢等离子体退火工艺在基片表面形成的铜镍碳氢共晶体上抑制了无定形碳和石墨的形成,有利于金刚石薄膜的生长.金刚石薄膜的均匀性受到共晶体的均匀性的影响. 展开更多
关键词 金刚石薄膜 化学气相沉积 镍过渡层
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NPC电池高光电转换效率原因探讨 被引量:14
3
作者 戴松元 王孔嘉 +1 位作者 邬钦崇 王瑜 《太阳能学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1996年第3期220-225,共6页
纳米晶体太阳电池(简称NPC电池)以其优良的性能和低成本获得人们的关注,并在短短的几年内得到迅速发展。对其光电转换效率高的原因和影响因素进行了讨论,同时指出今后发展中的主要障碍。
关键词 太阳能电池 NPC电池 光电转换 效率
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纳米晶体TiO_2多孔膜的制备、性能及其在太阳能电池中的应用 被引量:16
4
作者 程黎放 王瑜 +2 位作者 戴松元 邬钦崇 王孔嘉 《材料研究学报》 EI CAS CSCD 1996年第4期404-408,共5页
采用溶胶-凝胶法制备出TiO2纳米晶胶体,通过丝网印刷技术直接在导电玻璃基底上制成胶体膜,经烧结处理得到海绵状的厚约10μm纳米晶TiO2膜.由于该膜的纳米结构和多孔性使其表面积比密实平整的膜高1000倍左右.基于纳... 采用溶胶-凝胶法制备出TiO2纳米晶胶体,通过丝网印刷技术直接在导电玻璃基底上制成胶体膜,经烧结处理得到海绵状的厚约10μm纳米晶TiO2膜.由于该膜的纳米结构和多孔性使其表面积比密实平整的膜高1000倍左右.基于纳米晶体TiO2半导体多孔膜和具有卓越光性能的有机染料光敏化剂,一种低成本。 展开更多
关键词 纳米晶体 溶胶-凝胶法 太阳能电池
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WC-Co 硬质合金表面 MW-PCVD 制备金刚石薄膜去钴预处理的研究 被引量:7
5
作者 俞世吉 邬钦崇 +2 位作者 张志明 周永成 汪建华 《高技术通讯》 EI CAS CSCD 1998年第4期35-38,共4页
研究了WC-Co硬质合金刀具表面微波等离子体化学气相沉积(MW-PCVD)制备金刚石薄膜时不同的去钴预处理方式的影响。扫描电子显微镜形貌观察和喇曼谱分析表明,利用氢-氧等离子体处理方式有显著的去钴效果,相应沉积获得的... 研究了WC-Co硬质合金刀具表面微波等离子体化学气相沉积(MW-PCVD)制备金刚石薄膜时不同的去钴预处理方式的影响。扫描电子显微镜形貌观察和喇曼谱分析表明,利用氢-氧等离子体处理方式有显著的去钴效果,相应沉积获得的金刚石薄膜质量相对较高。与酸腐蚀处理相比,微波等离子体化学气相沉积装置中实现氢-氧等离子体处理方式具有独特的优越性。 展开更多
关键词 硬质合金 MW-PCVD 金刚石薄膜 去钴预处理
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环形波导狭缝天线产生的氩等离子体特性研究 被引量:6
6
作者 苏小保 邬钦崇 +2 位作者 万元熙 梁荣庆 隋毅峰 《核聚变与等离子体物理》 CAS CSCD 北大核心 1999年第1期16-20,共5页
研制了一种由环形波导腔环绕直径30cm、高50cm耐热玻璃圆筒真空室构成的新的大面积微波等离子体源。环形波导内侧开有多个用来激励产生等离子体的狭缝,相邻狭缝间的距离为半个波导波长。利用该装置研究了微波功率、工作气体对... 研制了一种由环形波导腔环绕直径30cm、高50cm耐热玻璃圆筒真空室构成的新的大面积微波等离子体源。环形波导内侧开有多个用来激励产生等离子体的狭缝,相邻狭缝间的距离为半个波导波长。利用该装置研究了微波功率、工作气体对氩等离子体特性的影响。静电双探针测量结果表明,当气压在40-600Pa,功率在200-600W范围内时,电子温度可达0.8-3.0eV,离子密度最高达4.3×1010cm-3。 展开更多
关键词 微波 等离子体 环形波导 静电双探针 狭缝天线
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阳极氧化水解法制备TIO_2纳米膜 被引量:5
7
作者 戴松元 王瑜 +2 位作者 邬钦崇 王孔嘉 霍裕平 《物理化学学报》 SCIE CAS CSCD 北大核心 1996年第8期758-760,共3页
Ti(IV) oxide has been an important semi-conductor material in photoelectrochemical cell, especially in the area of developing photochemical nanocrystalline solar cell.The TiO2 films were deposited on SnO2 (F-doped) gl... Ti(IV) oxide has been an important semi-conductor material in photoelectrochemical cell, especially in the area of developing photochemical nanocrystalline solar cell.The TiO2 films were deposited on SnO2 (F-doped) glass electrodes by anodic oxidative hydrolysis of acidic aqueous TiCl3 solutions. The films are uniform in thickness, have an average size of approximately 20nm, and have the anatase structure after annealing at 450℃. The method of anodic oxidative hydrolysis, the method of electrodepositing high pure TiO2 (anatase) on transparent conducting oxide (TCO) glass, condition of producing TiO2 film, and some character of the film have also bcen investigated. 展开更多
关键词 阳极氧化 水解 纳米晶体 太阳能电池 氧化钛
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氧气对MWPCVD制备金刚石膜的影响 被引量:8
8
作者 舒兴胜 邬钦崇 梁荣庆 《真空科学与技术》 EI CSCD 北大核心 2001年第4期281-284,290,共5页
在水冷反应室式微波等离子体化学气相沉积装置中以混合的CH4 H2 O2 为反应气体 ,研究了O2 浓度对制备金刚石膜的影响。实验发现 ,很低浓度的O2 会显著促进金刚石的沉积 ,并稍稍抑制非晶C的沉积 ,因而沉积膜中非晶C的含量急剧下降 ;较... 在水冷反应室式微波等离子体化学气相沉积装置中以混合的CH4 H2 O2 为反应气体 ,研究了O2 浓度对制备金刚石膜的影响。实验发现 ,很低浓度的O2 会显著促进金刚石的沉积 ,并稍稍抑制非晶C的沉积 ,因而沉积膜中非晶C的含量急剧下降 ;较高浓度的O2 会同时抑制金刚石和非晶C的沉积 ,但由于抑制金刚石的作用更强烈 ,沉积膜中非晶C的含量反而有所升高。另外 ,O2 的存在 。 展开更多
关键词 微波等离子体化学气相沉积 金刚石膜 氧气 制备 浓度 抑制作用 非晶碳
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微波等离子体化学气相沉积金刚石薄膜研究 被引量:3
9
作者 王建军 吕反修 +3 位作者 于文秀 佟玉梅 邬钦崇 王守国 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 1996年第2期137-142,共6页
本文系统研究了石英钟罩式微波等离子体辅助化学气相沉积装置对沉积金刚石薄膜的影响。与石英管式微波等离子体沉积装置相比,该装置能使用较高的沉积气压、较大的气体流量和较高的微波功率。本文着重研究了沉积气压、气体流量和甲烷浓... 本文系统研究了石英钟罩式微波等离子体辅助化学气相沉积装置对沉积金刚石薄膜的影响。与石英管式微波等离子体沉积装置相比,该装置能使用较高的沉积气压、较大的气体流量和较高的微波功率。本文着重研究了沉积气压、气体流量和甲烷浓度对金刚石薄膜形貌和生长速度的影响。发现生长速度随着沉积气压和甲烷浓度的增大而增大,晶体形态随着甲烷浓度的增大而变差。并使用该装置成功地在400℃低温沉积了60mm的金刚石薄膜。 展开更多
关键词 金刚石薄膜 微波等离子体 化学气相沉积
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用发射天线式微波等离子体CVD装置沉积大面积金刚石薄膜 被引量:2
10
作者 王建军 吕反修 +2 位作者 邬钦崇 隋毅峰 周永成 《高技术通讯》 CAS CSCD 1994年第11期14-16,共3页
在国内首次研制成功了高气压发射天线式微波等离子体辅助化学气相沉积金刚石薄膜装置,用该装置成功地在3英寸的单晶硅衬底上沉积了Φ70mm的金刚石薄膜。这一成果填补了国内空白,对我国金刚石薄膜研究领域的设备更新换代和开发应... 在国内首次研制成功了高气压发射天线式微波等离子体辅助化学气相沉积金刚石薄膜装置,用该装置成功地在3英寸的单晶硅衬底上沉积了Φ70mm的金刚石薄膜。这一成果填补了国内空白,对我国金刚石薄膜研究领域的设备更新换代和开发应用具有重要意义。 展开更多
关键词 金刚石薄膜 气相沉积 微波 等离子体 沉积
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采用磁控管方式溅射的电子回旋共振等离子体沉积技术的研究 被引量:2
11
作者 汪建华 袁润章 +2 位作者 邬钦崇 任兆杏 喻宪辉 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 1999年第2期16-19,共4页
将磁控管方式溅射用于微波ECR等离子体沉积技术。在低气压和低温下沉积了高度C轴取向的ZnO薄膜,其膜的沉积速率比普通ECR溅射中所得到的速率大得多,并且在Φ12cm的膜区域内显示出良好的均匀性。
关键词 磁控管方式 溅射 ECR等离子体 氧化锌薄膜
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臭氧发生器应用技术现状 被引量:8
12
作者 刘明海 邬钦崇 俞国扬 《上海环境科学》 CAS CSCD 1999年第10期461-462,共2页
概述了臭氧在环境保护中的重要作用,介绍了臭氧发生器应用现状及其处理技术的进展,强调了高效臭氧发生器在废水处理中的现实意义。
关键词 臭氧 高效 臭氧发生器 废水处理 应用技术
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纳米碳管对MWPCVD过程增强金刚石形核的影响 被引量:3
13
作者 俞世吉 丁振峰 +1 位作者 马腾才 邬钦崇 《新技术新工艺》 北大核心 2000年第6期33-34,共2页
利用石英钟罩式微波等离子体化学气相沉积 ( MWPCVD)实验装置 ,研究了硅基体表面沉积金刚石薄膜时纳米碳管对金刚石形核过程的影响。扫描电子显微镜 ( SEM)形貌分析结果显示 ,纳米碳管处理能够促进金刚石形核。对非研磨基体而言 ,这是... 利用石英钟罩式微波等离子体化学气相沉积 ( MWPCVD)实验装置 ,研究了硅基体表面沉积金刚石薄膜时纳米碳管对金刚石形核过程的影响。扫描电子显微镜 ( SEM)形貌分析结果显示 ,纳米碳管处理能够促进金刚石形核。对非研磨基体而言 ,这是一种有效的增强金刚石形核的表面预处理方式。 展开更多
关键词 MWPVCD 纳米碳管 金钢石形核 金刚石薄膜
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新型微波等离子体化学气相沉积金刚石薄膜装置 被引量:9
14
作者 吕庆敖 邬钦崇 +4 位作者 隋毅峰 匡靖安 周永成 俞世吉 王守国 《真空与低温》 1998年第1期35-37,共3页
微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)是制备金刚石薄膜的一种重要方法。为了获得金刚石薄膜的高速率大面积沉积,在国内首次研制成功了5kW带有石英真空窗的天线耦合水冷却不锈钢反应室式MPCVD装置。初步用该装置成功在硅基... 微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)是制备金刚石薄膜的一种重要方法。为了获得金刚石薄膜的高速率大面积沉积,在国内首次研制成功了5kW带有石英真空窗的天线耦合水冷却不锈钢反应室式MPCVD装置。初步用该装置成功在硅基片上沉积得到了金刚石薄膜。 展开更多
关键词 微波等离子体 化学气相沉积 金刚石 薄膜
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一种保持真空室真空度稳定的控制系统 被引量:6
15
作者 程健 邬钦崇 《真空》 CAS 北大核心 1999年第5期19-22,共4页
本项工作是配套“863”项目金刚石镀膜装置而进行的。由于沉积金刚石膜的时间长达几十个小时,而真空室真空度的稳定性对成膜质量的好坏有很大的影响,所以保持真空度的稳定将成为一个关键性的技术问题。本文简要地介绍了利用单片机... 本项工作是配套“863”项目金刚石镀膜装置而进行的。由于沉积金刚石膜的时间长达几十个小时,而真空室真空度的稳定性对成膜质量的好坏有很大的影响,所以保持真空度的稳定将成为一个关键性的技术问题。本文简要地介绍了利用单片机实现真空度稳定控制的工作原理,阐述了软、硬件的具体实现方法。该控制系统可按需要进行真空度的调节和设置。 展开更多
关键词 金刚石膜 单片机 真空度稳定 控制技术 等离子体
原文传递
基片位置对MWPCVD制备金刚石薄膜的影响 被引量:2
16
作者 俞世吉 丁振峰 +1 位作者 马腾才 邬钦崇 《真空科学与技术》 CSCD 北大核心 2000年第2期131-133,共3页
在石英钟罩式微波等离子体化学气相沉积实验装置中研究了基片位置对金刚石薄膜沉积质量的影响。扫描电子显微镜显微形貌观察和激光喇曼谱分析表明 ,对微波等离子体化学气相沉积制备金刚石薄膜而言 ,基片位置处于近等离子体球下游区域将... 在石英钟罩式微波等离子体化学气相沉积实验装置中研究了基片位置对金刚石薄膜沉积质量的影响。扫描电子显微镜显微形貌观察和激光喇曼谱分析表明 ,对微波等离子体化学气相沉积制备金刚石薄膜而言 ,基片位置处于近等离子体球下游区域将有利于改善金刚石薄膜沉积质量。 展开更多
关键词 等离子体 化学气相沉积 金刚石薄膜 基片位置
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微波等离子体源在钢表面氮化中的应用 被引量:3
17
作者 胡海天 邬钦崇 《材料保护》 CAS CSCD 北大核心 1996年第2期28-30,共3页
对微波等离子体源和常规等离子体源进行了对比,分析了微波等离子体源应用于离子氮化的优越性,报道了微波等离子体在钢表面氮化中的应用。
关键词 等离子体 渗氮 离子氮化 微波等离子体源
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微波等离子体渗氮装置 被引量:2
18
作者 胡海天 陈强 邬钦崇 《金属热处理》 CAS CSCD 北大核心 1995年第10期34-35,共2页
关键词 微波致电 等离子体 渗氮装置
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反应气压对MWPCVD金刚石膜中非金刚石相碳含量的影响 被引量:2
19
作者 舒兴胜 邬钦崇 梁荣庆 《真空科学与技术》 CSCD 北大核心 2001年第2期162-165,共4页
在水冷反应室式MWPCVD装置中以CH4 和H2 为反应气体进行了金刚石膜的沉积实验 ,研究了反应气体的压强对金刚石膜中非金刚石碳相含量的影响。实验发现 ,当微波输入功率较小时 ,随着反应气压的上升 ,沉积膜中非金刚石相碳的含量单调下降 ... 在水冷反应室式MWPCVD装置中以CH4 和H2 为反应气体进行了金刚石膜的沉积实验 ,研究了反应气体的压强对金刚石膜中非金刚石碳相含量的影响。实验发现 ,当微波输入功率较小时 ,随着反应气压的上升 ,沉积膜中非金刚石相碳的含量单调下降 ;当微波输入功率较大时 ,沉积膜中非金刚石相碳的含量先随着反应气压的上升而降低 。 展开更多
关键词 微波等离子体化学气相沉积 金刚石膜 气压 非金刚石相 碳含量 制备
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基片预处理对MWPCVD金刚石薄膜的影响 被引量:2
20
作者 俞世吉 邬钦崇 隋毅峰 《真空科学与技术》 CSCD 北大核心 1998年第4期313-316,共4页
利用自行研制的石英钟罩式微波等离子体化学气相沉积金刚石薄膜装置,研究了硅基片的不同预处理方式对沉积结果的影响。通过扫描电子显微镜形貌观察和喇曼谱分析表明,基片预处理能提高形核密度;用于预处理的金刚石研磨膏的粒度不同,... 利用自行研制的石英钟罩式微波等离子体化学气相沉积金刚石薄膜装置,研究了硅基片的不同预处理方式对沉积结果的影响。通过扫描电子显微镜形貌观察和喇曼谱分析表明,基片预处理能提高形核密度;用于预处理的金刚石研磨膏的粒度不同,影响金刚石薄膜沉积时的形核密度、晶形和薄膜的质量;表面划痕对沉积金刚石薄膜的影响具有双重性。 展开更多
关键词 预处理 化学气相沉积 金刚石 薄膜 MWP CVD
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