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面内传播方向对SAW滤波器性能的影响研究
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作者 朱建宇 魏子杰 +7 位作者 范维 李沛然 钱一聪 帅垚 吴传贵 罗文博 潘忻强 张万里 《压电与声光》 CAS 北大核心 2024年第4期435-438,共4页
为了满足窄带声表面波滤波器对品质因数Q值和带外抑制日益增长的需求,提出了一种窄带滤波器设计方法。在基于新型POI结构谐振器的基础上,通过旋转谐振器达到改变波传播角度的目的,并利用二维全模型得到准确的实验数据,与原结构谐振器分... 为了满足窄带声表面波滤波器对品质因数Q值和带外抑制日益增长的需求,提出了一种窄带滤波器设计方法。在基于新型POI结构谐振器的基础上,通过旋转谐振器达到改变波传播角度的目的,并利用二维全模型得到准确的实验数据,与原结构谐振器分别代入滤波器设计中进行比较。实验结果表明,该方法在一定程度上能够有效地增加带外抑制,对过渡带抑制能力有2~4 dB的提升,且具有设计简便,占用空间小等优点。 展开更多
关键词 声表面波(SAW) 窄带 谐振器 带外抑制 压电材料
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I.H.P.SAW谐振器孔径对性能的影响 被引量:1
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作者 钱一聪 帅垚 +3 位作者 吴传贵 罗文博 潘忻强 张万里 《压电与声光》 CAS 北大核心 2023年第3期350-354,共5页
该文研究了在超高性能声表面波(I.H.P.SAW)衬底上,孔径总长对叉指末端具有能够抑制横向模态的小锤结构的谐振器性能。在衬底结构为Y 42°-钽酸锂(Y42°-LT)/SiO_(2)/多晶硅(Poly-Si)/Si上,通过建立对应的有限元三维仿真模型,初... 该文研究了在超高性能声表面波(I.H.P.SAW)衬底上,孔径总长对叉指末端具有能够抑制横向模态的小锤结构的谐振器性能。在衬底结构为Y 42°-钽酸锂(Y42°-LT)/SiO_(2)/多晶硅(Poly-Si)/Si上,通过建立对应的有限元三维仿真模型,初步得出在小锤结构下孔径总长的增大能够抑制横向模态杂散的结论。绘制了周期T为1.44μm、2μm、2.56μm下,孔径总长为7.5T、10T、15T、20T、25T、32.5T、40T的单端口谐振器版图并进行流片。通过实测结果表明,在不同周期下,随着孔径总长的不断增加,对谐振器横向模态的抑制会不断增强,机电耦合系数也不断增加,在孔径总长约为20T时阻抗比最高。仿真和实测结果体现了孔径总长对I.H.P.SAW谐振器的性能影响较大,为应用于I.H.P.SAW滤波器中的高性能谐振器提供了设计指导。 展开更多
关键词 I.H.P.SAW 谐振器 孔径长度 机电耦合系数 阻抗比
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基于晶圆减薄工艺的LT减薄片制备
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作者 刘贻兵 钱一聪 +3 位作者 帅垚 吴传贵 罗文博 张万里 《压电与声光》 CAS 北大核心 2023年第4期570-573,578,共5页
声表面波(SAW)滤波器因其小型化、低插损及高品质因数(Q)值等性能,已广泛应用于移动通信系统中。钽酸锂(LT)/SiO2/Si结构克服了传统温度补偿型声表面波(TC-SAW)器件制备工艺难的问题,但需减薄该结构上的LT厚度,而减薄过程会导致晶圆表... 声表面波(SAW)滤波器因其小型化、低插损及高品质因数(Q)值等性能,已广泛应用于移动通信系统中。钽酸锂(LT)/SiO2/Si结构克服了传统温度补偿型声表面波(TC-SAW)器件制备工艺难的问题,但需减薄该结构上的LT厚度,而减薄过程会导致晶圆表面有损伤残留,影响器件性能。针对这个问题,该文开展了基于减薄与抛光制备LT减薄片的工艺研究,分析了砂轮目数、砂轮与工作台转速、砂轮进给率等减薄参数对LT晶圆表面损伤的影响,以及抛光压力对损伤的去除效果。研究结果表明,在优化的工艺参数下,减薄抛光后晶圆表面粗糙度为0.187 nm,损伤深度小于1 nm,减薄片制备的TC-SAW谐振器的阻抗图和Smith圆图表明晶圆性能和一致性良好。 展开更多
关键词 减薄 抛光 钽酸锂 表面粗糙度 温度补偿型声表面波(TC-SAW)
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节能型太阳能空气制水器的实验研究 被引量:1
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作者 钱一聪 严世胜 +2 位作者 李明洋 宴辅璋 贺天昊 《科技视界》 2017年第23期32-33,共2页
为了解决海岛、沙漠等淡水资源短缺和充分利用太阳能的问题,研究一种可直接从空气中制取饮用水的设备。该设备以太阳能为能源,利用冷凝技术将潮湿的空气降到露点以下,形成冷凝水汇集到储水箱中,再经过多级过滤后得到清洁合格的饮用水。... 为了解决海岛、沙漠等淡水资源短缺和充分利用太阳能的问题,研究一种可直接从空气中制取饮用水的设备。该设备以太阳能为能源,利用冷凝技术将潮湿的空气降到露点以下,形成冷凝水汇集到储水箱中,再经过多级过滤后得到清洁合格的饮用水。设备制水的效率相对较高,在空气温度为20~30℃、空气相对湿度为80%的工况下,每度电可制水约1.6kg。可广泛应用于海上钻井平台、野外探险、大型出海商船和海岛旅游胜地等淡水缺乏的地方。 展开更多
关键词 空气制水 太阳能 压缩机 节省 直饮
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