-
题名基于片状光束扫描的激光晶体内在缺陷表征方法
- 1
-
-
作者
钱梦雪
张志荣
王华东
张庆礼
孙彧
-
机构
安徽大学物质科学与信息技术研究院
中国科学院合肥物质科学研究院安徽光学精密机械研究所
国防科技大学先进激光技术安徽省实验室
-
出处
《人工晶体学报》
CAS
北大核心
2024年第2期238-245,共8页
-
基金
基础加强计划重点基础研究项目(2021-JCJQ-ZD-051-00-04)
先进激光技术安徽省实验室开放基金主任基金(AHL2021ZR05)
中国科学院合肥大科学中心协同创新培育基金重点项目(2021HSC-CIP005)。
-
文摘
大尺寸激光晶体是高功率全固体激光器的关键组成部分,然而晶体生长过程中不可避免会产生气泡、包裹物等缺陷,影响激光器性能。为了快速、有效地评价晶体缺陷,本文搭建了基于片状光束扫描的晶体缺陷三维成像系统。系统中利用鲍威尔棱镜对532 nm的点状激光进行整形以获取片状激光,通过远心镜头和CMOS探测器获取晶体缺陷产生的散射光,从而获取晶体缺陷的面分布情况,同时利用高精度位移平台进行面阵的逐一扫描,完成晶体的三维立体分布扫描。进一步结合数字图像处理技术,表征晶体缺陷的面分布特征,并重构晶体缺陷的体分布特征。基于上述系统对尺寸约为50 mm×50 mm×100 mm的Yb∶YAG晶体内在缺陷进行测量,最小缺陷检测分辨率能够达到38.69μm。本文为准确表征晶体的内在缺陷提供了新方法,同时也为晶体坯料的后期高精度加工提供了可视化的数据支撑。
-
关键词
晶体缺陷
三维成像
鲍威尔棱镜
片状光束
图像处理
-
Keywords
crystal defect
3D image
Powell lens
sheet beam
image processing
-
分类号
O78
[理学—晶体学]
O77
[理学—晶体学]
-
