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题名下一代实用光刻技术——纳米压印技术
被引量：9
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作者
刘彦伯
顾长庚
乌建中
朱兆颖
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机构
同济大学机械工程学院
内蒙古工业大学机械学院
上海科技生产力促进中心
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出处
《机电一体化》
2005年第6期14-19,共6页
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文摘
详细介绍了纳米压印技术的应用前景,对目前各种纳米压印工艺进行归纳、分类。通过 对不同工艺过程的深入比较,分析了它们的优缺点,并展望了各自的应用前景。
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关键词
纳米压印技术
微接触印刷法
热压印
工艺比较
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Keywords
nanoimprint lithography micro contact print hot embossing lithography technology compare
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分类号
TB383.1
[一般工业技术—材料科学与工程]
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题名紫外纳米压印技术的图形转移层工艺研究
被引量：2
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作者
朱兆颖
乌建中
顾长庚
刘彦伯
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机构
同济大学机械工程学院
上海科技生产力促进中心
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出处
《微纳电子技术》
CAS
2006年第10期492-495,共4页
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基金
上海市纳米科技与产业发展促进中心资助项目(0552nm052)
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文摘
研究了紫外纳米压印技术的图形转移层工艺,通过改变膜厚进行压印对比实验,将转速控制在3000～4000r/min,成功地得到了50nm光栅结构的高保真图形,复型精度可以达到93.75%。同时阐明,纳米压印技术由于具有超高分辨率、低成本、高产量等显著特点,将成为下一代光刻技术(NGL)的主要候选者之一。
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关键词
紫外纳米压印技术
图形转移层工艺
光刻
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Keywords
UV-NIL
transfer layer
lithography
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分类号
TN405.7
[电子电信—微电子学与固体电子学]
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题名紫外纳米压印模板表面修饰工艺研究
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作者
朱兆颖
顾长庚
乌建中
刘彦伯
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机构
同济大学机械工程学院
上海科技生产力促进中心
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出处
《机电一体化》
2007年第2期39-42,共4页
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基金
上海市纳米科技与产业发展促进中心资助项目(0552nm052)
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文摘
研究紫外纳米压印技术的模板表面修饰工艺,对经过表面修饰的模板与未经修饰的模板得到的不同压印结果,通过大量实验进行对比分析,验证模板表面修饰工艺是有效控制压印结果,确保压印复型精度的关键。
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关键词
紫外纳米压印技术
模板表面修饰工艺
抗粘连层
集成电路
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Keywords
UV-NIL process of template embellishment anti-sticking layer
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分类号
TN23
[电子电信—物理电子学]
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题名走创新之路加速上海机器人事业的发展
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作者
顾长庚
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机构
上海市科学技术委员会工业处
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出处
《机电一体化》
1995年第2期2-4,共3页
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文摘
上海对机器人技术的研究．尤其是基础技术研究，在全国来说起步较早。70年代，上海交大、原上海工业大学等高校就已开展丁对机器人运动学．动力学，控制等机器人基础学科的研究。80年代以后，一些高校开设了课程或讲座。1984年，航天部上海仪表厂利用其在空间技术和精密机械加工的优势率先向国内市场推出了商品化机器人——金钥匙教学机器人。
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关键词
机器人
上海
运动学
动力学
空间技术
机械加工
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分类号
TP242
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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题名抓住机遇 完善机制 全面推广CAD技术
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作者
顾长庚
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机构
上海市科委工业处
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出处
《机电一体化》
1997年第1期1-3,共3页
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文摘
CAD技术的应用已使产品设计和制造工艺发生了根本的变化,CAD技术已成为产品创新、开拓市场、提高企业竞争能力的一种重要手段。随着对外开放和市场经济体制的建立,企业竞争的焦点不再是产品数量的多少,而是不断开发市场急需的各种高质量产品。企业必须迅速提高自己的自主创新能力,否则产品将不断萎缩,市场将会不断地丧失。要想赢得竞争,CAD技术的推广应用是根本、是基础。国务委员宋健同志提出2000年“甩掉图板”的目标为企业的发展和我国CAD的普及描绘了一幅宏伟蓝图。
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关键词
机械制造
CAD
市场经济
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分类号
TH122
[机械工程—机械设计及理论]
F407.4
[经济管理—产业经济]
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题名台湾韩国新加坡机器人市场动向
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作者
钮晓鸣
顾长庚
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机构
上海市离心机械所
上海市科委
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出处
《机器人技术与应用》
1995年第1期12-13,共2页
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文摘
随着我国经济的高速发展,工业自动化程度日益提高,机器人也越来越重要。在汽车、机器制造等行业中,机器人已成为必不可少的生产工具。为了及时报导机器人市场的动向和供求信息,我们推出了市场信息这一栏目。在这一栏目中,将不仅介绍世界机器人市场的动向,还将重点报导我国机器人的销售情况。我们欢迎国内外机器人厂家为我们提供机器人购销信息,同时热切期望广大用户及未来的用户来稿,提出您想要购买什么机器人以及想用机器人解决哪些生产中的问题,我们愿为大家牵线搭桥,以促进机器人在我国的推广应用。
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关键词
机器人
市场动向
台湾
韩国
新加坡
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分类号
TP242
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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