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氯硅烷尾气处理的方法 被引量：1
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作者 高甲义 《化工管理》 2018年第23期178-179,共2页
多晶硅生产企业在生产多晶硅原料过程中会产生大量含氯硅烷、氢气、氯化氢等污染物的尾气,目前处理方法主要采用淋洗塔喷淋去除大部分污染物后高空排放。由于处理方法的不完善等原因,导致现场工作环境差、污染严重,在此介绍了一种安全... 多晶硅生产企业在生产多晶硅原料过程中会产生大量含氯硅烷、氢气、氯化氢等污染物的尾气,目前处理方法主要采用淋洗塔喷淋去除大部分污染物后高空排放。由于处理方法的不完善等原因,导致现场工作环境差、污染严重,在此介绍了一种安全、卫生、环保的处理方法,为多晶硅企业实现零排放目标提供了新的途径。 展开更多
关键词 氯硅烷尾气 文丘里喷射器 淋洗塔 集成式净化器 板框压滤机
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