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影响基于等厚干涉原理测量膜厚精度的因素分析
1
作者 王义全 陈笑 +4 位作者 邹斌 蔡园园 黎仪艺 李传波 彭洪尚 《物理通报》 CAS 2023年第4期24-27,共4页
基于光学干涉原理的薄膜测量技术是重要的光电检测技术之一.该测量方法可获得较高的测量精度.但是在实际干涉测量中,膜厚测量的精度与所用光束的物理特性以及膜厚本身有较大关系.基于薄膜干涉的基本原理,分析了光束的发散角、薄膜厚度... 基于光学干涉原理的薄膜测量技术是重要的光电检测技术之一.该测量方法可获得较高的测量精度.但是在实际干涉测量中,膜厚测量的精度与所用光束的物理特性以及膜厚本身有较大关系.基于薄膜干涉的基本原理,分析了光束的发散角、薄膜厚度以及光束的入射角对基于薄膜干涉测长结果的影响,这对学生正确理解基于干涉的测量原理,掌握正确的测量方法,提高测量精度具有一定的指导意义. 展开更多
关键词 等厚干涉 等倾干涉 测量精度
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基于傅里叶变换的光栅衍射分析
2
作者 王义全 张颖 +6 位作者 陈笑 邹斌 蔡园园 王琼千惠 李传波 彭洪尚 黎仪艺 《大学物理》 2022年第7期39-42,共4页
本文以余弦光栅的衍射特性为基础,利用傅里叶分析法,讨论了刻划透射光栅的衍射场,得到的衍射场与利用传统干涉衍射分析法得到的光栅衍射规律相同,总结了光栅衍射场与光栅结构之间的定量关系,归纳了分析光栅衍射的统一方法,这对学生正确... 本文以余弦光栅的衍射特性为基础,利用傅里叶分析法,讨论了刻划透射光栅的衍射场,得到的衍射场与利用传统干涉衍射分析法得到的光栅衍射规律相同,总结了光栅衍射场与光栅结构之间的定量关系,归纳了分析光栅衍射的统一方法,这对学生正确理解光栅衍射具有一定的意义. 展开更多
关键词 光栅 衍射 傅里叶变换
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