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Roll-to-roll MPECVD中氧气浓度对氧化硅薄膜性能的影响 被引量：5
1
作者 齐凤阳 陈强 刘福平 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第9期841-844,共4页
介绍了用磁增强等离子体化学气相沉积技术在连续(Roll-to-Roll)系统中,于PET薄膜表面沉积纳米SiOx阻隔层薄膜的工艺。研究不同的工艺条件下,薄膜的阻隔性能,硬度及其影响的因素。实验得到,在单体和氧气的混合反应气体,氧气的比例提高,... 介绍了用磁增强等离子体化学气相沉积技术在连续(Roll-to-Roll)系统中,于PET薄膜表面沉积纳米SiOx阻隔层薄膜的工艺。研究不同的工艺条件下,薄膜的阻隔性能,硬度及其影响的因素。实验得到,在单体和氧气的混合反应气体,氧气的比例提高,薄膜中杂质成分较少,薄膜趋向于较硬的类石英膜,薄膜的铅笔硬度提高。通过红外光谱仪对薄膜成分进行分析,给出影响薄膜硬度和原因。 展开更多
关键词 SiOx阻隔层 铅笔硬度 阻隔性能 磁增强等离子体化学气相沉积
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MPECVD中氧化硅阻隔层性能的研究
2
作者 齐凤阳 陈强 《包装工程》 CAS CSCD 北大核心 2012年第1期1-4,共4页
介绍了用磁增强等离子体化学气相沉积技术在连续(Roll-to-Roll)系统中,在PET薄膜表面沉积纳米SiOx阻隔层薄膜的工艺。研究了不同工艺条件下,薄膜的阻隔性能、颜色变化及其影响因素。实验得到:在单体和氧气的混合反应气体中,提高氧气的... 介绍了用磁增强等离子体化学气相沉积技术在连续(Roll-to-Roll)系统中,在PET薄膜表面沉积纳米SiOx阻隔层薄膜的工艺。研究了不同工艺条件下,薄膜的阻隔性能、颜色变化及其影响因素。实验得到:在单体和氧气的混合反应气体中,提高氧气的比例有利于增加薄膜透明性,并且得到的氧化硅膜由黄褐色趋近于无色透明。通过红外光谱仪对薄膜的成分进行了分析,用分光光度计和紫外可见分光光度计测量了薄膜颜色和透明性变化,分析了其影响产生的机理。 展开更多
关键词 SiOx阻隔层 薄膜颜色 阻隔性能 磁增强等离子体化学气相沉积
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农贸市场电子秤防作弊方法小谈
3
作者 齐凤阳 陈茂林 张青 《衡器》 2016年第11期43-44,共2页
本文介绍了电子秤作弊操作方法以及消费者防作弊方法。
关键词 电子秤 作弊 方法
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混凝土压力泌水仪示值误差测量不确定度的评定方法与分析
4
作者 齐凤阳 《计量与测试技术》 2016年第7期114-114,117,共2页
本文介绍了混凝土压力泌水仪示值误差测量不确定的方法及分析。
关键词 混凝土压力泌水仪 测量不确定度 分析
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浅析金属洛氏硬度计检定过程中注意事项和故障的分析与排除 被引量：3
5
作者 赵进 陈茂林 齐凤阳 《计量与测试技术》 2017年第7期63-63,67,共2页
本文介绍了检定金属洛氏硬度计过程中的注意事项,并对影响金属洛氏硬度计总试验力和示值的因素做了分析,并提供了解决问题的方法。
关键词 材料 压头 试验力 示值
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武汉市计量测试检定(研究)所受邀参加夹具影响力值的研讨活动
6
作者 汪金峰 齐凤阳 《计量与测试技术》 2017年第10期115-115,共1页
日前，武汉市计量测试检定（研究）所总工程师方春泉、力学一室主任吴正军等人受邀参加了全国力值硬度计量技术委员会一行在华中科技大学举行的水泥抗压强度试验中夹具影响力值的研讨活动。
关键词 计量测试 武汉市 力值 夹具 检定 抗压强度试验 华中科技大学 技术委员会
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高强螺栓检测仪测量不确定度的评定与分析
7
作者 陈茂林 赵进 +1 位作者 齐凤阳 丘建伟 《计量与测试技术》 2016年第12期79-79,81,共2页
高强螺栓检测仪扭矩传感器的校准工作较为繁琐,需要强度较高的工装件将扭矩传感器和扭矩标准机轴头进行连接,且工装件的加工精度对扭矩的测量结果有一定影响。本文介绍了高强螺栓检测仪(扭矩部分)测量不确定度的评定方法及分析。
关键词 高强螺栓检测仪 测量不确定度 分析
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武汉市计量所受邀参加夹具影响力值研讨活动
8
作者 汪金峰 齐凤阳 《中国计量》 2017年第11期75-75,共1页
日前．武汉市计量测试检定（研究）所有关人员参加了全国力值硬度计量技术委员会举办的水泥抗压强度试验中夹具影响力值的研讨活动。抗压夹具是水泥强度检测用的重要实验设备。通过此次学术研讨及多次现场试验结果表明：夹具问题在水泥... 日前．武汉市计量测试检定（研究）所有关人员参加了全国力值硬度计量技术委员会举办的水泥抗压强度试验中夹具影响力值的研讨活动。抗压夹具是水泥强度检测用的重要实验设备。通过此次学术研讨及多次现场试验结果表明：夹具问题在水泥抗压强度测试中的影响不容忽视，采用不同的夹具．得到的试验结果偏差高达8％。 展开更多
关键词 抗压夹具 武汉市 力值 计量所 抗压强度试验 技术委员会 硬度计量 计量测试
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武汉开展市场计量检定工作
9
作者 汪金峰 齐凤阳 《中国计量》 2016年第7期32-32,共1页
自3月份以来．武汉市计量所对武汉东湖风景区、东湖高新技术开发区4家集贸市场和8家大型品牌连锁超市免费进行了计量检定．共计检定称重衡器600余台．赢得了广大市民的普遍称赞。在开展计量服务民生活动过程中，市场管理人员和商家高度... 自3月份以来．武汉市计量所对武汉东湖风景区、东湖高新技术开发区4家集贸市场和8家大型品牌连锁超市免费进行了计量检定．共计检定称重衡器600余台．赢得了广大市民的普遍称赞。在开展计量服务民生活动过程中，市场管理人员和商家高度重视和配合计量检定工作。 展开更多
关键词 计量检定工作 武汉东湖 集贸市场 高新技术开发区 连锁超市 活动过程 计量服务 管理人员
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