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一种Sawyer马达驱动二维运动平台测量和控制系统设计(英文)
被引量：
1
1
作者
TANO M
高伟
+4 位作者
DIAN
s
Y
kiyono s
TOMITA Y
MAKINO K
MOTITA H
《纳米技术与精密工程》
CAS
CSCD
2006年第3期182-189,共8页
介绍一种使用Sawyer马达驱动的平台和表面编码器组成的精密定位系统．该平台包括一个台板和若干线性脉冲马达推动器．台板由防腐钢板制成,在其表面加工了齿牙．线性脉冲马达推动器靠空气支承悬浮在台板上,用以驱动平台．每一驱动器均由...
介绍一种使用Sawyer马达驱动的平台和表面编码器组成的精密定位系统．该平台包括一个台板和若干线性脉冲马达推动器．台板由防腐钢板制成,在其表面加工了齿牙．线性脉冲马达推动器靠空气支承悬浮在台板上,用以驱动平台．每一驱动器均由一个永久磁铁和两个驱动线圈组成,用以产生X向和Y向的平台驱动力．设计了一种表面编码器用以测量和控制平台的运动．一个正弦格栅装在台板上,一个传感组件装在平台驱动器上．在该传感组件中有三个光学传感器,用以测量三个分离点上的X和Y方向的位置,平台的θ_z向位置可以从传感器输出求得．开发了一种反馈控制系统用以控制平台运动．测量和反馈控制实验证明了该精密系统的可行性．
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关键词
测量
控制
定位
Sawyer马达
表面编码器
正弦格栅
传感器
下载PDF
职称材料
集成线性编码器的高精度大行程原子力显微镜探针结构的设计和构建(英文)
2
作者
AOKI J
高伟
+2 位作者
kiyono s
OCHI T
s
UGIMOTO T
《纳米技术与精密工程》
CAS
CSCD
2005年第1期1-7,共7页
提出了一种高精度、大行程的原子力显微镜探针结构,可用于测量大面积的微观结构表面.该探针结构包括一个硅悬臂梁和一个环形的预压型压电(PZT)执行器,执行器沿Z轴的行程为70μm,其内部集成了一个具有纳米级分辨率的小型线性编码器,可用...
提出了一种高精度、大行程的原子力显微镜探针结构,可用于测量大面积的微观结构表面.该探针结构包括一个硅悬臂梁和一个环形的预压型压电(PZT)执行器,执行器沿Z轴的行程为70μm,其内部集成了一个具有纳米级分辨率的小型线性编码器,可用于测量PZT执行器的位移.编码器的刻度沿执行器的轴向(Z轴)排列以消除阿贝误差.此线性编码器使原子力显微镜探针PZT执行器的行程范围内具有1nm的分辨率,原子力显微镜探针结构联接有两个线性平移台,可用于X和Y方向扫描样本,扫描面积为50mm(X)×40mm(Y).X向平移台和Y向平移台的移动量可由线性编码器测得,分辨率为纳米级.进行了正弦曲面的测量实验.
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关键词
线性编码器
行程
Z轴
执行器
型线
纳米级分辨率
原子力显微镜
集成
扫描
PZT
下载PDF
职称材料
题名
一种Sawyer马达驱动二维运动平台测量和控制系统设计(英文)
被引量：
1
1
作者
TANO M
高伟
DIAN
s
Y
kiyono s
TOMITA Y
MAKINO K
MOTITA H
机构
日本东北大学
日本住友重工株式会社
出处
《纳米技术与精密工程》
CAS
CSCD
2006年第3期182-189,共8页
基金
Supported by a grant from the Japan Society for Promotion of Science (JSPS).
文摘
介绍一种使用Sawyer马达驱动的平台和表面编码器组成的精密定位系统．该平台包括一个台板和若干线性脉冲马达推动器．台板由防腐钢板制成,在其表面加工了齿牙．线性脉冲马达推动器靠空气支承悬浮在台板上,用以驱动平台．每一驱动器均由一个永久磁铁和两个驱动线圈组成,用以产生X向和Y向的平台驱动力．设计了一种表面编码器用以测量和控制平台的运动．一个正弦格栅装在台板上,一个传感组件装在平台驱动器上．在该传感组件中有三个光学传感器,用以测量三个分离点上的X和Y方向的位置,平台的θ_z向位置可以从传感器输出求得．开发了一种反馈控制系统用以控制平台运动．测量和反馈控制实验证明了该精密系统的可行性．
关键词
测量
控制
定位
Sawyer马达
表面编码器
正弦格栅
传感器
Keywords
measurement
control
positioning
Sawyer motor
surface enceder
sine grid
sensor
分类号
TG80 [金属学及工艺—公差测量技术]
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职称材料
题名
集成线性编码器的高精度大行程原子力显微镜探针结构的设计和构建(英文)
2
作者
AOKI J
高伟
kiyono s
OCHI T
s
UGIMOTO T
机构
日本东北大学工程学院纳机械系统工程实验室
海德汉株式会社
出处
《纳米技术与精密工程》
CAS
CSCD
2005年第1期1-7,共7页
文摘
提出了一种高精度、大行程的原子力显微镜探针结构,可用于测量大面积的微观结构表面.该探针结构包括一个硅悬臂梁和一个环形的预压型压电(PZT)执行器,执行器沿Z轴的行程为70μm,其内部集成了一个具有纳米级分辨率的小型线性编码器,可用于测量PZT执行器的位移.编码器的刻度沿执行器的轴向(Z轴)排列以消除阿贝误差.此线性编码器使原子力显微镜探针PZT执行器的行程范围内具有1nm的分辨率,原子力显微镜探针结构联接有两个线性平移台,可用于X和Y方向扫描样本,扫描面积为50mm(X)×40mm(Y).X向平移台和Y向平移台的移动量可由线性编码器测得,分辨率为纳米级.进行了正弦曲面的测量实验.
关键词
线性编码器
行程
Z轴
执行器
型线
纳米级分辨率
原子力显微镜
集成
扫描
PZT
Keywords
measurement
surface profile
AFM
PZT
linear encoder
precision
micro-structured surface
分类号
TH742.9 [机械工程—光学工程]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
一种Sawyer马达驱动二维运动平台测量和控制系统设计(英文)
TANO M
高伟
DIAN
s
Y
kiyono s
TOMITA Y
MAKINO K
MOTITA H
《纳米技术与精密工程》
CAS
CSCD
2006
1
下载PDF
职称材料
2
集成线性编码器的高精度大行程原子力显微镜探针结构的设计和构建(英文)
AOKI J
高伟
kiyono s
OCHI T
s
UGIMOTO T
《纳米技术与精密工程》
CAS
CSCD
2005
0
下载PDF
职称材料
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