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Optical Frequency Comb Frequency-division Multiplexing Dispersive Interference Multichannel Distance Measurement 被引量:1
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作者 Xu Liang Tengfei Wu +2 位作者 Jiarui Lin linghui yang Jigui Zhu 《Nanomanufacturing and Metrology》 EI 2023年第1期61-68,共8页
An optical frequency comb(OFC)frequency-division multiplexing dispersive interference multichannel distance measurement method is proposed.Based on the OFC dispersive interference,the wide OFC spectrum is divided into... An optical frequency comb(OFC)frequency-division multiplexing dispersive interference multichannel distance measurement method is proposed.Based on the OFC dispersive interference,the wide OFC spectrum is divided into multiple channels using a wavelength-division multiplexer.Under the existing light source and spectrometer,a single interference system can realize six channels of the high-precision parallel absolute distance measurement.The influence of the spectrum width and shape on the performance of the distance measurement channel is analyzed.The ranging accuracy of six channels is higher than±4μm under the optimization of a nonuniform discrete Fourier transform and Hanning window. 展开更多
关键词 Frequency-division multiplexing Dispersive interference Absolute distance measurement Fourier transform
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高端精密装备精度测量基础理论与方法 被引量:9
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作者 谭久彬 蒋庄德 +12 位作者 雒建斌 叶鑫 邾继贵 刘小康 刘巍 李宏伟 谈宜东 胡鹏程 胡春光 杨凌辉 赖一楠 苗鸿雁 王岐东 《中国科学基金》 CSSCI CSCD 北大核心 2022年第6期955-962,共8页
完整而精确的测量信息获取是装备设计优化、制造过程调控和服役状态保持的基础,是实现重大装备“上水平”“高性能”的内在要素。本文分析了我国高端精密装备精度测量基础理论发展所面临的重大需求挑战,总结了当前高端精密装备制造精度... 完整而精确的测量信息获取是装备设计优化、制造过程调控和服役状态保持的基础,是实现重大装备“上水平”“高性能”的内在要素。本文分析了我国高端精密装备精度测量基础理论发展所面临的重大需求挑战,总结了当前高端精密装备制造精度测量理论、方法与技术领域的主要进展,凝炼了该领域未来5~10年的重大关键科学问题,探讨了前沿研究方向和科学基金资助战略。 展开更多
关键词 精密测量 高端精密装备 可溯源 极限测量 多场耦合测量 半导体测量 大尺寸测量
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