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真空微电子学:崭新而激动人心的领域
1
作者 takao utsumi 向涛 《电子器件》 CAS 1992年第3期181-190,共10页
1 引言 女士们,先生们。很荣幸能在第三届国际真空微电子学年会上发表演说。众所周知,“真空微电子学”这个名词起源于 1988年在美国弗吉尼亚州威廉斯堡举行的第一届国际会议。它是一种基于真空电子输运器件的新技术,且利用了固态器件... 1 引言 女士们,先生们。很荣幸能在第三届国际真空微电子学年会上发表演说。众所周知,“真空微电子学”这个名词起源于 1988年在美国弗吉尼亚州威廉斯堡举行的第一届国际会议。它是一种基于真空电子输运器件的新技术,且利用了固态器件工业已建立的微细加工工艺。因为真空是一种理想的电子传输媒介,所以这种技术有可能同时具有两个领域的优点。我们中的有些人相信很快可证明它是一种革命性的器件。 现在,经过西方和东方(苏联)二年的广泛而积极的研究,我们将怎样看待我们的进步和这一技术的前景呢?当然,每个人都有自己的想法,但是我们观点是乐观的,并且我相信我们走上了正确的方向。更明确一点说,我对未来几年内将获得的知识更具乐观态度。我很愿意详细地讨论我为什么会得出这样的结论。 展开更多
关键词 真空微电子学 微电子学 真空器件
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一种新兴学科真空微电子学——第三届国际真空微电子学会议上的发言
2
作者 takao utsumi 苏世民 《半导体情报》 1992年第4期1-8,共8页
1 引言正如人们所知,第一次引用“真空微电子学”这个术语是在1988年VA威廉斯堡召开的第一届国际会议上。它被定义为与电子在真空中输运的各种器件有关的一种新技术,而且随着固体器件工业的发展,还采用了现代微细加工技术。由于真空是... 1 引言正如人们所知,第一次引用“真空微电子学”这个术语是在1988年VA威廉斯堡召开的第一届国际会议上。它被定义为与电子在真空中输运的各种器件有关的一种新技术,而且随着固体器件工业的发展,还采用了现代微细加工技术。由于真空是一种理想的电子输运媒质,所以,这种技术兼有上述两类器件的优点。我们有些人认为,它将使器件迅速发生变革。在东(独联体)、西方世界积极努力了两年后的今天,我们对这项技术的进展和未来展望持什么态度呢?当然,每个人都有权决定自己的看法,但我是持乐观态度的,而且我坚信我的看法是正确的。更严格地说。 展开更多
关键词 真空微电子学 电子学
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