基于OPA-AHP的业扩配套项目储备库排序研究

1

作者 万晔 宋云飞 +1 位作者 吴晓飞 黄骏 《电力设备管理》 2024年第3期130-132,共3页

针对日益增多的业扩配套工程项目,项目储备库管理的科学性与合理性对于优化电网企业资源配置、提升项目投资效益有着重要意义。本文借鉴工程领域项目管控思想,将顺序优先法(OPA)与层次分析法(AHP)相结合,从业扩配套项目实施必要性、可... 针对日益增多的业扩配套工程项目,项目储备库管理的科学性与合理性对于优化电网企业资源配置、提升项目投资效益有着重要意义。本文借鉴工程领域项目管控思想,将顺序优先法(OPA)与层次分析法(AHP)相结合,从业扩配套项目实施必要性、可行性出发,通过专家问卷调查方法,结合项目实际情况,建立基于OPA-AHP的业扩配套项目储备库的排序评价指标体系,完善业扩配套项目储备库的建设并实现项目储备库的动态管理,对业扩项目投资进行科学指导。 展开更多

关键词 业扩配套项目 储备库排序 OPA-AHP

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合成石英砂工艺概况及几种石英砂的检测数据对比分析

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作者 张鹏远 万烨 +3 位作者 刘见华 杜俊平 高磊 曹俊英 《中国非金属矿工业导刊》 2024年第2期55-59,共5页

高纯石英砂主要应用于单晶硅制造工艺中的石英坩埚,高端光学玻璃,半导体等领域。大致分为天然砂和合成砂两类,合成砂由于纯度更高,成分可控等优势,更适合于半导体以及更高要求的工艺制程。合成砂的生产不依赖于天然矿产,能缓解我国缺少... 高纯石英砂主要应用于单晶硅制造工艺中的石英坩埚,高端光学玻璃,半导体等领域。大致分为天然砂和合成砂两类,合成砂由于纯度更高,成分可控等优势,更适合于半导体以及更高要求的工艺制程。合成砂的生产不依赖于天然矿产,能缓解我国缺少高品质石英矿的现状,国内对于合成砂的研究还处于起步阶段。本文经过对比天然石英砂、进口合成砂、国产实验室合成砂的各项检测结果,可以指导不同应用条件下的砂选型。研究过程中,发现了可以通过X射线衍射法区分天然砂和合成砂的方法,并列举了粒径、杂质、粒型等检测数据对比。 展开更多

关键词 高纯石英砂 天然石英砂 合成石英砂 石英砂检测

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石墨烯/卟啉复合气凝胶的制备与性能研究

3

作者 王健阳 马颖 +6 位作者 李思仪 李天微 王秀梅 万晔 郜思同 郭惠琳 韦杰 《材料导报》 CSCD 北大核心 2023年第16期242-246,共5页

石墨烯气凝胶既有石墨烯材料固有的柔性及优异的电学、力学性能,同时又具有高比表面积、低密度、大孔隙率等特点,其独特的三维结构有利于引入其他功能材料,从而赋予复合材料更为优异的性能。原卟啉分子具有高度共轭结构,并且与金属离子... 石墨烯气凝胶既有石墨烯材料固有的柔性及优异的电学、力学性能,同时又具有高比表面积、低密度、大孔隙率等特点,其独特的三维结构有利于引入其他功能材料,从而赋予复合材料更为优异的性能。原卟啉分子具有高度共轭结构,并且与金属离子配位结合后可发挥催化功能。鉴于此,本工作利用原卟啉分子与石墨烯片层的π-π相互作用,在石墨烯气凝胶上组装一定浓度的原卟啉分子,从而制备了石墨烯/卟啉复合气凝胶材料。该方法工艺简单,容易操作。本工作分析了复合气凝胶材料的微观形貌和成分组成,研究了原卟啉分子的组装对石墨烯气凝胶导电性能的影响,以及石墨烯/卟啉复合气凝胶对硝酸根离子(NO_(3)^(-))的检测作用。研究结果表明所制备的复合材料具有均匀的三维多孔结构,原卟啉分子的引入可以显著降低石墨烯气凝胶的电阻,而三维气凝胶结构可以有效地实现原卟啉与石墨烯的复合并实现对NO3-的灵敏检测。 展开更多

关键词 直写打印技术 石墨烯气凝胶 原卟啉 复合材料 硝酸根离子检测

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魔芋葡甘聚糖基敷料的研究及其应用进展

4

作者 王子涵 万叶 +2 位作者 张群朝 蒋涛 郝同辉 《胶体与聚合物》 CAS 2023年第2期89-92,共4页

魔芋葡甘聚糖因具有良好的生物相容性、吸水性及凝胶性而被广泛应用于医用敷料领域,且魔芋葡甘聚糖含量丰富,又可生物降解,以魔芋葡甘聚糖为基底的医用敷料的部分性能较传统类型敷料有其独特优势,同时通过物理和化学等改性,可以研究出... 魔芋葡甘聚糖因具有良好的生物相容性、吸水性及凝胶性而被广泛应用于医用敷料领域,且魔芋葡甘聚糖含量丰富,又可生物降解,以魔芋葡甘聚糖为基底的医用敷料的部分性能较传统类型敷料有其独特优势,同时通过物理和化学等改性,可以研究出各种性能不同的新型敷料。本文总结了魔芋葡甘聚糖的近年来的研究,和其在敷料领域的应用。最后对魔芋葡甘聚糖敷料的发展做出展望。 展开更多

关键词 魔芋葡甘聚糖 改性 医用敷料

原文传递

电子级正硅酸乙酯制备技术研究进展

5

作者 张兴毅 赵雄 +3 位作者 万烨 郭树虎 袁振军 刘见华 《绿色矿冶》 2023年第4期55-60,共6页

正硅酸乙酯兼顾无机材料和有机材料的性能,广泛应用于化工、电子电气等诸多领域。重点介绍了电子级正硅酸乙酯的应用领域,比较了工业级正硅酸乙酯与电子级正硅酸乙酯的产品组分、颗粒度以及杂质含量。针对工业级正硅酸乙酯与电子级正硅... 正硅酸乙酯兼顾无机材料和有机材料的性能,广泛应用于化工、电子电气等诸多领域。重点介绍了电子级正硅酸乙酯的应用领域,比较了工业级正硅酸乙酯与电子级正硅酸乙酯的产品组分、颗粒度以及杂质含量。针对工业级正硅酸乙酯与电子级正硅酸乙酯质量上的差距,综述了目前国内外电子级正硅酸乙酯制备工艺的研究进展,包括络合分离、吸附和离子交换、组合精制等技术,这些技术均以工业级正硅酸乙酯为原料,通过有效去除正硅酸乙酯中的水分、氯离子、金属离子和其他杂质等,获得电子级正硅酸乙酯产品。通过对比各种提纯方法,展望了电子级正硅酸乙酯提纯技术的发展方向。 展开更多

关键词 电子级 正硅酸乙酯 提纯 吸附 络合

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基于成本和区域优势视角的光伏多晶硅产业发展格局

6

作者 陈敏 陈辉 +2 位作者 常欣 严大洲 万烨 《绿色矿冶》 2023年第1期53-64,共12页

光伏发电因具有清洁、安全、资源丰富等优点,正逐渐占据世界能源格局的重要席位,未来将成为世界能源供应的“主力军”之一。随着光伏产业链上、下游的迅猛发展,作为基础原材料的多晶硅价格持续高涨,导致多晶硅产业投资热度不断高涨。本... 光伏发电因具有清洁、安全、资源丰富等优点,正逐渐占据世界能源格局的重要席位,未来将成为世界能源供应的“主力军”之一。随着光伏产业链上、下游的迅猛发展,作为基础原材料的多晶硅价格持续高涨,导致多晶硅产业投资热度不断高涨。本文介绍目前光伏多晶硅产业的发展现状、未来趋势,分析对比目前国内外多晶硅生产采用的主要技术路线三氯氢硅法和硅烷法,剖析三氯氢硅法的能耗及成本构成,基于成本和区域优势的视角,对光伏多晶硅产业发展格局提出合理的研判和建议。多晶硅的生产成本主要受电耗和金属硅粉价格影响较大,未来多晶硅产业将向能源禀赋且硅矿产资源丰富的西部地区转移。 展开更多

关键词 多晶硅 改良西门子法 硅烷法 成本控制 能耗 区域优势 产业转移

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集成电路用硅基材料分离纯化技术的应用研究进展

7

作者 袁振军 常欣 +2 位作者 刘见华 赵雄 万烨 《绿色矿冶》 2023年第4期61-65,共5页

硅基材料是集成电路制程中的关键材料之一,广泛应用于外延、化学气相沉积、离子注入、掺杂、刻蚀、清洗、掩蔽膜生成等工艺。硅基材料的纯度直接影响着集成电路的性能、集成度、成品率。文章阐述了在集成电路用硅基材料中应用较多的分... 硅基材料是集成电路制程中的关键材料之一,广泛应用于外延、化学气相沉积、离子注入、掺杂、刻蚀、清洗、掩蔽膜生成等工艺。硅基材料的纯度直接影响着集成电路的性能、集成度、成品率。文章阐述了在集成电路用硅基材料中应用较多的分离纯化技术的原理与应用进展,包括吸附精馏、络合精馏、亚沸精馏、减压精馏、光氯化、循环过滤等,比对了各种分离纯化技术的优缺点,并对硅基材料提纯的前景进行了分析和展望。 展开更多

关键词 分离纯化 吸附 络合 亚沸精馏 减压精馏 光氯化 集成电路 硅基材料

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晶硅太阳能在“双碳”经济中的作用与影响 被引量：10

8

作者 严大洲 刘艳敏 +6 位作者 万烨 杨永亮 杨涛 孙强 赵雄 张升学 张志刚 《中国有色冶金》 CAS 北大核心 2021年第5期1-6,共6页

我国的碳排放居世界首位,2020年碳排放量为115亿t。在我国一次能源消费中,化石能源尤其是煤炭仍占据主导地位,2019年消费比例达到57.7%。近年来,虽然我国单位GDP碳排放已明显下降,但仍高于世界平均水平,而多晶硅及晶硅光伏产业是近年来... 我国的碳排放居世界首位,2020年碳排放量为115亿t。在我国一次能源消费中,化石能源尤其是煤炭仍占据主导地位,2019年消费比例达到57.7%。近年来,虽然我国单位GDP碳排放已明显下降,但仍高于世界平均水平,而多晶硅及晶硅光伏产业是近年来发展起来的清洁能源,有望成为实现“碳中和”目标的重要支撑。2019年中国光伏总发电量2243亿kW·h,占全国总发电量的3.1%,中国发展改革委规划2050年达到39%,发电量6万亿kW·h,减少CO_(2)排放约71亿t,光伏发电将成为碳中和的绝对主力。近年来多晶硅生产能耗及成本大幅降低,单晶硅技术和金刚线切割技术的发展使得物料消耗也大幅下降,预计未来晶硅太阳能发电将在所有发电方式中成本最低,达到0.13元/kW·h,这为光伏发电规划目标的实现提供了保障。 展开更多

关键词 碳排放 碳中和 光伏发电 晶硅太阳能 多晶硅 单晶硅 发电成本 能源回报率

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浅述铝合金点蚀的研究进展 被引量：7

9

作者 万晔 金雨楠 申轩宇 《材料保护》 CAS CSCD 北大核心 2020年第8期133-144,共12页

铝合金材料易受服役环境影响产生点蚀,通过对铝合金的点蚀坑深度、点蚀密度、点蚀电位、点蚀模型等点蚀评价指标的深入分析,剖析了目前铝合金在自然环境中的点蚀特征。分析了晶粒大小以及溶解氧、温度、pH值等环境因素对铝合金点蚀行为... 铝合金材料易受服役环境影响产生点蚀,通过对铝合金的点蚀坑深度、点蚀密度、点蚀电位、点蚀模型等点蚀评价指标的深入分析,剖析了目前铝合金在自然环境中的点蚀特征。分析了晶粒大小以及溶解氧、温度、pH值等环境因素对铝合金点蚀行为的影响,探讨了铝合金点蚀对腐蚀疲劳寿命的影响以及预防铝合金点蚀行为的方法,指出如何合理安全地解决铝合金点蚀是研究人员不断努力的方向。总结了铝合金的点蚀行为特征,可为铝合金腐蚀行为及其寿命研究提供理论基础。 展开更多

关键词 铝合金 点蚀 评价指标 影响因素

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高纯氢制备工艺研究进展 被引量：2

10

作者 孙强 贺玉刚 +3 位作者 严大洲 万烨 王芳 杨典 《精细石油化工进展》 CAS 2020年第3期42-44,57,共4页

随着现代电子工业和科学技术的不断发展,高纯氢作为重要的工业原料,在电子工业、国防尖端技术和科学研究领域都获得广泛的应用.市场需求量的增加带动了高纯氢纯化技术的不断提升.本文介绍了高纯氢的应用市场;综述了高纯氢的制备工艺,并... 随着现代电子工业和科学技术的不断发展,高纯氢作为重要的工业原料,在电子工业、国防尖端技术和科学研究领域都获得广泛的应用.市场需求量的增加带动了高纯氢纯化技术的不断提升.本文介绍了高纯氢的应用市场;综述了高纯氢的制备工艺,并分析了各自的优点及不足.指出应结合地域优势,利用可再生能源作为高纯氢制备过程的能量来源;同时优化资源配置,建立大型智能化的高纯氢制备生产线. 展开更多

关键词 高纯氢 纯化技术 水电解 吸附工艺

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高纯气体管路系统颗粒物产生原因分析及防治 被引量：1

11

作者 刘见华 万烨 +3 位作者 赵雄 赵宇 王磊 严大洲 《有色冶金节能》 2020年第6期25-29,共5页

精密加工制造中颗粒物含量影响产品质量和成品率,是评价高纯系统的重要指标之一。高纯管路系统的颗粒物来自于高纯材料的制造、管道材料表面的杂质、产品气体自身携带的污染物、控制阀门和过滤器、施工安装产生的污染。通过分析颗粒物来... 精密加工制造中颗粒物含量影响产品质量和成品率,是评价高纯系统的重要指标之一。高纯管路系统的颗粒物来自于高纯材料的制造、管道材料表面的杂质、产品气体自身携带的污染物、控制阀门和过滤器、施工安装产生的污染。通过分析颗粒物来源,从材料的纯化、表面处理、阀门和过滤器选型、焊接质量控制、管道安装、预制加工作业环境的洁净度控制几方面提出颗粒物防治措施建议。 展开更多

关键词 高纯气体 颗粒物 管路系统 洁净度

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镁粉表面钙磷涂层的制备与性能

12

作者 万晔 刘晶 +3 位作者 谭丽丽 陈军修 东家慧 杨柯 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第A01期283-287,共5页

镁粉的耐蚀性较差,在镁粉表面制备合适的Ca-P涂层,不仅能提高镁基金属的耐蚀性能,还能提高材料的成骨活性。镁粉经氟处理后可制备两种不同的Ca-P涂层:一种是将氟处理之后的镁粉直接浸泡在钙磷混合液中,通过沉积法在表面形成钙磷涂层;另... 镁粉的耐蚀性较差,在镁粉表面制备合适的Ca-P涂层,不仅能提高镁基金属的耐蚀性能,还能提高材料的成骨活性。镁粉经氟处理后可制备两种不同的Ca-P涂层:一种是将氟处理之后的镁粉直接浸泡在钙磷混合液中,通过沉积法在表面形成钙磷涂层;另一种是将镁粉经氟处理后,再经聚多巴胺(Polydopamine,PDA)处理,然后通过沉积法制备钙磷涂层。分析其微观形貌和结构,并通过浸泡实验分析镁粉表面涂层的耐蚀性能。结果表明:氟处理/Ca-P涂层较薄,约1.5μm,氟处理/PDA/Ca-P涂层较厚,约2.3μm;后者表面沉积的羟基磷灰石(Hydroxycarbo-natedapatite,HA)比前者沉积的HA厚,且氟处理/PDA/Ca-P涂层的耐蚀性更好,主要归因于PDA具有粘结性和耐蚀性。 展开更多

关键词 镁粉 钙磷涂层 聚多巴胺 耐腐蚀性能

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屏蔽泵在多晶硅生产中的故障分析及改进措施

13

作者 曾晓国 张晓伟 万烨 《中国有色冶金》 CAS 北大核心 2021年第2期64-67,共4页

多晶硅生产过程中的氯硅烷属于危险化学品,为保证物料输送过程中不出现任何泄漏,一般选用屏蔽泵。本文介绍了屏蔽泵的结构,简述了屏蔽泵在多晶硅行业的使用情况,分析了屏蔽泵的常见故障,对故障的表现形式和原因进行了统计和分析,指出了... 多晶硅生产过程中的氯硅烷属于危险化学品,为保证物料输送过程中不出现任何泄漏,一般选用屏蔽泵。本文介绍了屏蔽泵的结构,简述了屏蔽泵在多晶硅行业的使用情况,分析了屏蔽泵的常见故障,对故障的表现形式和原因进行了统计和分析,指出了屏蔽泵故障与物料及生产操作的关系,最后提出了在设备布置、设计选型和生产使用等方面的一些改进措施,以保证屏蔽泵的安全稳定运行。 展开更多

关键词 多晶硅 氯硅烷 屏蔽泵 故障分析 改进措施

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含镁铝合金在模拟海洋大气环境下的晶间腐蚀行为 被引量：3

14

作者 彭磊 万晔 +4 位作者 刘海涛 褚广哲 李亮 赵伊 管勇 《材料保护》 CAS CSCD 北大核心 2019年第7期7-11,84,共6页

目前,对服役于热带海洋大气环境的含镁铝合金的晶间腐蚀规律缺乏足够的认识。采用晶间腐蚀试验、金相显微镜、SEM、EDS以及多元合金相图与PANDAT反应动力学软件等方法研究了不同镁含量对铝合金晶间腐蚀行为的影响。结果表明:在相同条件... 目前,对服役于热带海洋大气环境的含镁铝合金的晶间腐蚀规律缺乏足够的认识。采用晶间腐蚀试验、金相显微镜、SEM、EDS以及多元合金相图与PANDAT反应动力学软件等方法研究了不同镁含量对铝合金晶间腐蚀行为的影响。结果表明:在相同条件下,高镁含量铝合金晶间腐蚀倾向更为严重。铝合金经敏化处理后,Mg和Mn元素向晶界附近发生偏析,形成微观电偶腐蚀,并加剧晶间腐蚀。高镁含量铝合金的晶间腐蚀敏感性随着敏化温度和敏化时间的增加而增加,其中温度对其敏感性影响更为明显。超过80℃这一临界温度后,高镁含量铝合金晶间腐蚀敏感性显著提高。 展开更多

关键词 含镁铝合金 敏化 晶间腐蚀 海洋大气

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先进硅基前驱体的应用研究与技术进展 被引量：2

15

作者 常欣 万烨 +3 位作者 赵雄 严大洲 袁振军 郭树虎 《半导体技术》 CAS 北大核心 2020年第6期409-418,共10页

前驱体材料广泛应用于集成电路的关键工艺中,如外延、光刻、化学气相沉积以及原子层沉积。其中硅基前驱体是重要且用量较大的一个分支,近年来一直是先进集成电路材料领域研究的热点之一。以集成电路制造工艺和器件结构的技术发展为基础... 前驱体材料广泛应用于集成电路的关键工艺中,如外延、光刻、化学气相沉积以及原子层沉积。其中硅基前驱体是重要且用量较大的一个分支,近年来一直是先进集成电路材料领域研究的热点之一。以集成电路制造工艺和器件结构的技术发展为基础,综述了业界几种较为流行的硅基前驱体材料的结构与性能,其中包括二氯硅烷(DCS)、乙硅烷(DS)、八甲基环四硅氧烷(OMCTS)、四甲基硅烷(4MS)、六氯乙硅烷(HCDS)、双(叔丁氨基)硅烷(BTBAS)、双(二乙氨基)硅烷(BDEAS)、三(二甲胺基)硅烷(3DMAS)和三甲硅烷基胺(TSA)。系统介绍了硅基前驱体的应用现状和研究进展,并对其合成和提纯工艺进行了探讨。 展开更多

关键词 集成电路(IC) 硅基前驱体 化学气相沉积(CVD) 原子层沉积 提纯工艺

原文传递

应用拉曼光谱定量分析流体中硫酸盐质量摩尔浓度:内标选择和流体组分对分析结果的影响 被引量：4

16

作者 杨源显 王小林 +4 位作者 席斌斌 丘靥 高婉露 万野 李真 《地球化学》 CAS CSCD 北大核心 2019年第4期403-419,共17页

硫酸盐是地质流体中重要的组成部分,流体包裹体是反映地质流体组分最直接和有力的指标,而应用拉曼光谱可以对封存于包裹体中的富硫酸盐流体成分进行定性和定量表征。本文制备了一系列含一定浓度的Na2SO4和Na2SO4-NaCl溶液的熔融毛细硅... 硫酸盐是地质流体中重要的组成部分,流体包裹体是反映地质流体组分最直接和有力的指标,而应用拉曼光谱可以对封存于包裹体中的富硫酸盐流体成分进行定性和定量表征。本文制备了一系列含一定浓度的Na2SO4和Na2SO4-NaCl溶液的熔融毛细硅管胶囊,应用高分辨率激光拉曼光谱仪在室温条件下收集了这些溶液中SO42?的对称伸缩振动(v1-SO42-)、水的弯曲振动(v2-H2O)和伸缩振动(vs-H2O)光谱,建立了硫酸盐质量摩尔浓度(m(SO42-))与光谱参数之间的定量关系。研究结果表明,对于硫酸盐溶液而言,v2-H2O和vs-H2O谱峰均可以作为拉曼定量分析m(SO42-)的内标,v1-SO42-与v2-H2O或vs-H2O的峰强(I)或者峰面积(A)比均与m(SO42-)呈良好的线性正相关关系。然而,对于富含氯化物的硫酸盐溶液而言,应用v2-H2O光谱峰强或者峰面积为内标建立的校准曲线将导致所获得的m(SO42-)偏低。在这种情况下,应用vs-H2O光谱的峰面积为内标,或者将vs-H2O光谱拟合为位于3230cm^-1和3450cm^-1的两个高斯组分,并以其峰面积之和为内标,将会在很大程度上消除氯化物的影响,得到更加准确的m(SO42-)信息。考虑到拉曼定量因子与仪器状态和实验条件有关,提出了实验室可应用熔融毛细硅管制备一系列含一定硫酸盐质量摩尔浓度的溶液标样,每次实验之前收集标样的光谱并建立相应的m(SO42-)校准曲线,然后应用于样品m(SO42-)的拉曼定量分析。 展开更多

关键词 拉曼光谱 定量分析 硫酸盐浓度 内标评估 组分影响

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积极老龄化视角下老年人隔代抚养与社会参与的角色冲突及调适——基于社会角色理论的分析 被引量：27

17

作者 李连友 李磊 万叶 《行政管理改革》 CSSCI 北大核心 2021年第5期71-78,共8页

作为应对社会压力,转移抚幼负担的家庭策略,隔代抚养对提高社会生育水平无疑具有照护红利。然而,由于价值理念与社会环境的制约,养老与抚幼家庭政策的缺失,社会服务支持的滞后与不足,以及家庭照料责任的分配不均衡,致使老年人面临隔代... 作为应对社会压力,转移抚幼负担的家庭策略,隔代抚养对提高社会生育水平无疑具有照护红利。然而,由于价值理念与社会环境的制约,养老与抚幼家庭政策的缺失,社会服务支持的滞后与不足,以及家庭照料责任的分配不均衡,致使老年人面临隔代抚养与社会参与的角色转换矛盾,表现为期望冲突、能力冲突、时间冲突与行为冲突四个方面,由此给老年人身心健康、家庭关系与社会和谐带来消极影响,这与积极老龄化理念及全面二孩政策目标背道而驰。强化理念指引、政策保障、服务供给与家庭支持,是化解老年人隔代抚养和社会参与角色冲突,实现长幼共融与老少同乐的有效路径。 展开更多

关键词 隔代抚养 社会参与 角色冲突 积极老龄化 全面二孩政策

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金属烧结滤芯用于多晶硅氯硅烷净化放大研究 被引量：1

18

作者 刘见华 万烨 +3 位作者 赵雄 赵宇 周勇毅 严大洲 《现代化工》 CAS CSCD 北大核心 2021年第7期231-233,共3页

采用金属粉末烧结滤芯对多晶硅制备干法回收工序的氯硅烷进行中试净化研究,在相同过滤精度和面积下,对比处理量对初始过滤压降和不同滤饼剥离方式对剥离率的影响。结果表明,当原料颗粒浓度为235 g/m^(3)、采用液相反冲滤饼剥离方式时,... 采用金属粉末烧结滤芯对多晶硅制备干法回收工序的氯硅烷进行中试净化研究,在相同过滤精度和面积下,对比处理量对初始过滤压降和不同滤饼剥离方式对剥离率的影响。结果表明,当原料颗粒浓度为235 g/m^(3)、采用液相反冲滤饼剥离方式时,出口颗粒平均浓度为2.1 g/m^(3),过滤效率为99.1%。 展开更多

关键词 金属烧结滤芯 氯硅烷 过滤 多晶硅

原文传递

电子特气六氯乙硅烷产品金属杂质检测方法 被引量：2

19

作者 万烨 肖劲 +3 位作者 严大洲 张园园 仲奇凡 刘芳洋 《中南大学学报（自然科学版）》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第12期3341-3348,共8页

六氯乙硅烷作为高品质氮化硅和氧化硅薄膜的硅源前驱体,主要用于DRAM和NAND Flash存储器的制造以及特征尺寸28 nm以下逻辑芯片的制备,在半导体制造中已被广泛应用。目前国内采用六氯乙硅烷生产技术已制备集成电路,但其十亿分之一量级的... 六氯乙硅烷作为高品质氮化硅和氧化硅薄膜的硅源前驱体,主要用于DRAM和NAND Flash存储器的制造以及特征尺寸28 nm以下逻辑芯片的制备,在半导体制造中已被广泛应用。目前国内采用六氯乙硅烷生产技术已制备集成电路,但其十亿分之一量级的超痕量金属杂质检测是国内的检测技术瓶颈,也是国外技术封锁的项目之一。为此,研究六氯乙硅烷的水解过程产生的微颗粒吸附固化金属杂质的机理,采用氢氟酸消解产生的SiF4的强挥发性,以消除硅基效应导致的基体干扰。在此基础上,建立六氯乙硅烷中Li,Na,Mg,Al,K,Ca,Ti,V,Cr,Mn,Fe,Co,Ni,Cu,Zn,Ga,As和Pb共18种金属杂质的电感耦合等离子体质谱(ICP-MS)检测方法,并确定质谱激发模式和最优仪器参数。研究结果表明:采用这种消解方法可以获得较好的检测效果:标准曲线线性相关系数大于0.999,各元素检出限低于0.10 ng/g,加标回收率为80%~110%,方法精密度小于10%。对比酸雾消解法和直接消解法对硅基体的消解效果,发现酸雾消解法作为样品前处理方式更加安全、洁净、准确和高效。精密度和准确度符合超痕量杂质检测方法的规定,再现性满足用户要求,适用于六氯乙硅烷中金属杂质的检测,其他高纯度氯硅烷的杂质测试亦可参照使用。 展开更多

关键词 六氯乙硅烷 ICP-MS 金属杂质 酸雾消解

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基于原位拉曼光谱分析揭示热液条件下钨的迁移方式 被引量：1

20

作者 丘靥 王小林 +4 位作者 陆建军 胡文瑄 万野 高婉露 李真 《地球化学》 CAS CSCD 北大核心 2020年第4期435-449,共15页

石英脉型钨矿是典型的热液矿床,揭示热液中钨(W)的迁移方式是重建成矿过程和查明成矿机制的基础。一般认为,W在热液流体中以简单钨酸(如[WO4]^2−、[HWO4]^−和[H2WO4]0等)和碱金属钨酸盐离子对(如[KHWO4]0和[KWO4]^−)的形式迁移。然而,... 石英脉型钨矿是典型的热液矿床,揭示热液中钨(W)的迁移方式是重建成矿过程和查明成矿机制的基础。一般认为,W在热液流体中以简单钨酸(如[WO4]^2−、[HWO4]^−和[H2WO4]0等)和碱金属钨酸盐离子对(如[KHWO4]0和[KWO4]^−)的形式迁移。然而,钨酸在流体中具有极强的络合能力,能形成类型多样的复杂络合物。但是,时至今日,关于复杂络合物能否作为热液中W的有效迁移方式这一基础问题仍悬而未决。本文以K2WO4-HCl-H2O体系为例,系统收集并分析了W=O对称伸缩振动(v1)在23~400℃和20~50 MPa下的原位拉曼光谱,查明了温度和流体pH值对热液中W迁移方式的影响。研究发现:(1)在碱性流体中,W主要以[WO4]^2−形式迁移,当温度高于300℃时,流体中还存在少量的[HWO4]^−;(2)在近中性流体中,当温度在100~150℃之间时,除[WO4]2−外,还有少量W以钨多酸络合物的的形式迁移;(3)在中度酸性流体中,如当流体pH=4.88时(23℃,下同),在中低温(<300℃)条件下,钨多酸络合物的比例可达47.8%,而在高温(>300℃)条件下,钨多酸络合物将全部分解,转化为简单钨酸根[WO4]2−和[HWO4]^−;(4)若流体呈强酸性,如pH<2时,则即使流体温度高于400℃,钨多酸络合物仍然是W最为主要的迁移方式。需要注意的是,拉曼光谱无法有效区分碱金属钨酸盐离子对,因此,本文并不否认W迁移过程中碱金属钨酸盐离子对的参与。 展开更多

关键词 原位分析 拉曼光谱 热液流体 钨 迁移机制

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