期刊文献+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
共找到305篇文章
< 1 2 … 16 >
每页显示 20 50 100
已选择0条
导出题录 引用分析
参考文献
引证文献
 统计分析
检索结果
已选文献
显示方式：
类金刚石结构的分子动力学与人工神经网络耦合研究
1
作者 石湛杨 陈志立 杜广煜 《真空与低温》 2024年第2期119-125,共7页
掺氮类金刚石薄膜(N-DLC)可以改善零件表面的摩擦学性能,近些年来对N-DLC薄膜摩擦学特性研究的热度居高不下。由于计算资源与计算机运行时间有限,难以获得大量数据对N-DLC薄膜摩擦实验中界面结构演化规律进行微观模拟。为了探究分子动... 掺氮类金刚石薄膜(N-DLC)可以改善零件表面的摩擦学性能,近些年来对N-DLC薄膜摩擦学特性研究的热度居高不下。由于计算资源与计算机运行时间有限,难以获得大量数据对N-DLC薄膜摩擦实验中界面结构演化规律进行微观模拟。为了探究分子动力学和人工神经网络交叉使用的可行性,全面了解N-DLC的摩擦学性质及规律,将BP神经网络、KELM神经网络引用到N-DLC的研究中。通过LAMMPS软件对N-DLC进行建模,将分子动力学模拟的数据作为人工神经网络的数据来源,对两种神经网络进行训练。利用验证样本对训练好的两种模型进行验证,将两种神经网络的预测结果进行对比,选出性能最佳的网络模型。结果表明,采用神经网络可以预测N-DLC内部杂化键的变化趋势,且效率更高,所需计算资源更少,在一定程度上可以代替分子动力学模拟结果,为人们提供进一步的分析判断。研究为促进分子动力学与人工神经网络两种方法的共同发展提供了有益探索。 展开更多
关键词 类金刚石薄膜 分子动力学 神经网络 计算资源 预测模型
下载PDF
大口径主镜反射膜生长热应力及重力仿真
2
作者 何世昆 刘中伟 +2 位作者 王磊 高泽运 范红梅 《激光技术》 CAS CSCD 北大核心 2024年第2期268-273,共6页
为了充分了解大口径主镜镀膜时热应力及自身重力的分布规律,达到控制反射镜面形变化、提高成膜质量的目的,采用有限元分析方法,对大口径主镜反射膜的生长热应力及重力对反射镜面形的影响进行了理论分析和研究。结果表明,大口径主镜反射... 为了充分了解大口径主镜镀膜时热应力及自身重力的分布规律,达到控制反射镜面形变化、提高成膜质量的目的,采用有限元分析方法,对大口径主镜反射膜的生长热应力及重力对反射镜面形的影响进行了理论分析和研究。结果表明,大口径主镜反射膜更容易在靠近边缘位置处出现剥落和损坏情况;大口径主镜镀膜过程中,自身重力引起的反射镜面形变化对镀膜质量会产生较大影响,需要进行重力消除处理;3000 mm口径的主镜在采用镜面向上、向下蒸发膜料的方式镀膜时,需要对支撑方式进行优化设计。该研究为大口径反射镜镀膜时控制热应力及重力对反射镜面形的影响提供了参考。 展开更多
关键词 薄膜 大口径主镜 热应力 重力 面形优化
下载PDF
氮含量对(BCSiAlCr)N_(x)薄膜结构和耐腐蚀性能的影响
3
作者 闫巨擘 赖振国 +2 位作者 唐诗琪 谭心 张斌 《真空与低温》 2023年第1期28-35,共8页
采用直流磁控溅射技术在Si(100)晶片和304不锈钢上沉积了(BCSiAlCr)N_(x)薄膜。采用XRD、XPS、TEM和SEM分别分析了薄膜的成分、晶体结构和形貌。利用电化学工作站测试了薄膜的耐腐蚀性能,包括动电位极化试验、恒电位极化试验以及阻抗试... 采用直流磁控溅射技术在Si(100)晶片和304不锈钢上沉积了(BCSiAlCr)N_(x)薄膜。采用XRD、XPS、TEM和SEM分别分析了薄膜的成分、晶体结构和形貌。利用电化学工作站测试了薄膜的耐腐蚀性能,包括动电位极化试验、恒电位极化试验以及阻抗试验。结果表明,在3.5%NaCl溶液中HE3薄膜样品具有最低的腐蚀电流密度(I_(corr))0.0311μA/cm^(2)和最高的腐蚀电位-37.557 mV;在0.5 mol/L硫酸溶液耐腐蚀试验中,HE3薄膜样品同样具有最低的腐蚀电流密度和最高的腐蚀电位,表现出最优异的耐腐蚀性能。随着薄膜中氮含量的增多,薄膜非晶程度增加,致密性提高,表面缺陷及孔洞消失,耐腐蚀性能改善。研究结果证明,(BCSiAlCr)N_(x)薄膜在腐蚀防护方面具有潜在的应用前景。 展开更多
关键词 磁控溅射 (BCSiAlCr)N_(x)薄膜 力学性能 耐腐蚀性能 硬度
下载PDF
LaAlO_(3)/KTaO_(3)(111)界面超导的单轴应变调控研究
4
作者 杨文龙 赵强 +5 位作者 王雪妍 陈星宇 陈美慧 朱芳慧 陈承雪 聂家财 《北京师范大学学报（自然科学版）》 CAS CSCD 北大核心 2023年第6期887-892,共6页
将单轴应变技术应用于非晶LaAlO_(3)/KTaO_(3)(111)界面超导的调控研究,结果表明,在■晶向上超导临界转变温度随拉伸应变的增大而增大,随压缩应变的增大而减小.弹性电阻率系数的居里-外斯型发散表明KTaO_(3)界面超导具有各向异性.这对... 将单轴应变技术应用于非晶LaAlO_(3)/KTaO_(3)(111)界面超导的调控研究,结果表明,在■晶向上超导临界转变温度随拉伸应变的增大而增大,随压缩应变的增大而减小.弹性电阻率系数的居里-外斯型发散表明KTaO_(3)界面超导具有各向异性.这对于理解KTaO_(3)界面体系超导的物理本质具有十分重要的科学意义. 展开更多
关键词 LaAlO_(3)/KTaO_(3) 界面超导 单轴应变
下载PDF
掺杂浓度对多晶硅纳米薄膜应变系数的影响 被引量：19
5
作者 揣荣岩 刘晓为 +3 位作者 霍明学 宋明浩 王喜莲 潘慧艳 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第7期1230-1235,共6页
为有效利用多晶硅纳米薄膜研制MEMS压阻器件,本文对LPCVD多晶硅纳米薄膜应变系数与掺硼浓度的关系进行了研究,并利用扫描电镜和X射线衍射实验分析了薄膜的结构特点.结果表明:在重掺杂情况下,纳米薄膜的应变系数明显大于相同掺杂浓度下... 为有效利用多晶硅纳米薄膜研制MEMS压阻器件,本文对LPCVD多晶硅纳米薄膜应变系数与掺硼浓度的关系进行了研究,并利用扫描电镜和X射线衍射实验分析了薄膜的结构特点.结果表明:在重掺杂情况下,纳米薄膜的应变系数明显大于相同掺杂浓度下单晶硅的应变系数,而且掺杂浓度在2.5×1020cm-3左右时,应变系数具有随掺杂浓度升高而增大的趋势.对这种实验结果依据隧道效应原理进行了理论解释,提出了多晶硅压阻特性的修正模型. 展开更多
关键词 多晶硅 纳米薄膜 压阻特性 隧道效应 应变系数
下载PDF
柔性触控屏模组材料选型、模拟及DOE验证
6
作者 白碧海 曹春燕 +2 位作者 黄倪慧 陈子军 谢安 《厦门理工学院学报》 2023年第3期26-32,共7页
为帮助研究人员更快地确定最佳的材料和结构设计方案,以缩短研发周期,降低研发成本,实现柔性触控屏模组具体商业量产应用目标,进行触控显示模组关键材料数据收集、力学模拟分析,并开展DOE(design of experiment)验证。测试3种不同触控屏... 为帮助研究人员更快地确定最佳的材料和结构设计方案,以缩短研发周期,降低研发成本,实现柔性触控屏模组具体商业量产应用目标,进行触控显示模组关键材料数据收集、力学模拟分析,并开展DOE(design of experiment)验证。测试3种不同触控屏(touch panel,TP)基材薄膜的屈服极限,结合目前市场量产材料和生产可行性,通过软件仿真分析材料极限弯折半径,发现透明聚酰亚胺薄膜(clear polyimide,CPI)具有最佳的可耐弯折性能,为最优的TP基材;不同厂家生产的CPI和光学透明胶材(optically clear adhesive,OCA)的测试比较结果显示,CPI(A)和OCA(4)具有最佳的弯折性能;CPI-OCA-CPI三合一叠构的DOE验证分析表明,最佳柔性触控屏模组材料组合为CPI(A)\OCA(4)\CPI(A)。 展开更多
关键词 柔性触控屏 模组 材料选型 仿真分析 DOE验证
下载PDF
CVD金刚石厚膜的机械抛光及其残余应力的分析 被引量：19
7
作者 徐锋 左敦稳 +3 位作者 王珉 黎向锋 卢文壮 彭文武 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第3期436-440,共5页
较粗糙的表面是影响金刚石厚膜广泛使用的因素之一。本文对CVD金刚石厚膜进行了机械抛光的正交实验研究。实验结果表明 ,影响抛光效率的因素依次为抛光盘的磨粒、转速、正压力和抛光面积。采用较大粒度的磨盘 ,适当增加转速和压力有利... 较粗糙的表面是影响金刚石厚膜广泛使用的因素之一。本文对CVD金刚石厚膜进行了机械抛光的正交实验研究。实验结果表明 ,影响抛光效率的因素依次为抛光盘的磨粒、转速、正压力和抛光面积。采用较大粒度的磨盘 ,适当增加转速和压力有利于提高抛光的效率。此外用XRD方法对机械抛光前后的膜的残余应力进行了测定和对比分析 ,结果表明 ,经过机械抛光 ,残余拉应力明显减小。 展开更多
关键词 CVD 金刚石厚膜 机械抛光技术 残余应力 XRD
下载PDF
金刚石薄膜内应力研究现状 被引量：9
8
作者 方亮 王万录 +2 位作者 王健 廖克俊 丁培道 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 1999年第6期39-41,共3页
主要从内应力的测定方法、内应力与沉积工艺参数之间的关系两方面对国内外金刚石薄膜内应力的研究现状进行了综述。
关键词 金刚石 薄膜 内应力 CVD 研究 现状
下载PDF
不同金属基材上类金刚石薄膜的摩擦特性 被引量：13
9
作者 郑锦华 李聪慧 +1 位作者 张冲 晁云峰 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第6期1545-1552,共8页
针对类金刚石(DLC)薄膜在精密机械零件中的应用,研究了在常温条件下沉积高界面强度的DLC薄膜的技术,以提高DLC薄膜与金属基材之间的结合强度。通过在基材与薄膜之间沉积加入a-Si∶H中间过渡层,研究了在不同金属基材上DLC薄膜的结合强度... 针对类金刚石(DLC)薄膜在精密机械零件中的应用,研究了在常温条件下沉积高界面强度的DLC薄膜的技术,以提高DLC薄膜与金属基材之间的结合强度。通过在基材与薄膜之间沉积加入a-Si∶H中间过渡层,研究了在不同金属基材上DLC薄膜的结合强度。采用Ball-on-Disk方法评价了薄膜的摩擦特性并测定其摩擦系数、疲劳破坏寿命和磨耗。实验结果表明:在薄膜与金属基材之间加入a-Si∶H过渡层后,界面的结合(键合)强度得到了明显的改善,在金属基材上沉积的DLC薄膜在磨耗过程中被完全磨穿而没有发生剥离。实验显示,在自制的化学气相沉积RF-DCCVD装置上沉积的DLC薄膜的最大沉积厚度是3.3μm;在1μm厚度的薄膜上施加2.94N的负荷(点载荷),其疲劳破坏寿命达到了70万循环;DLC薄膜与SiC,Si3N4,SUS304和SUJ2材料之间的摩擦系数为0.1～0.15。得到的结果验证了薄膜与金属间的结合强度和摩擦特性能够满足精密机械零件的使用要求。 展开更多
关键词 类金刚石(DLC)薄膜 中间过渡材料 摩擦和磨耗 薄膜界面强度 化学气相沉积(CVD)
下载PDF
C_(60)-聚苯乙烯LB膜摩擦学性能的初步研究 被引量：8
10
作者 史兵 王吉会 +3 位作者 钱林茂 雒建斌 黄兰 洪翰 《材料研究学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1997年第4期346-350,共5页
介绍了C60-聚苯乙烯（C60－Pst）LB膜的部分研究结果：合成方法、LB膜制备、用原子力／摩擦力显微镜测试的C60-聚苯乙烯LB股的表面微观形貌及轻载荷下的摩擦力等微观摩擦学性能.
关键词 聚苯乙烯 碳60 LB膜 薄膜 摩擦力 显微镜 摩擦学
下载PDF
退火温度对硅基溅射铜膜应力的影响 被引量：16
11
作者 吴桂芳 史守华 +3 位作者 何玉平 王磊 陈良 孙兆奇 《真空科学与技术》 CSCD 北大核心 2002年第2期139-142,共4页
采用光学相移法 ,对Si基片上Cu膜应力随退火温度的变化进行了研究。研究表明 :随退火温度的升高 ,Cu膜应力减小 ,2 0 0℃时平均应力减小为 - 0 2 6 1× 10 8Pa,且应力分布均匀 ,在选区范围内应力差仅为 2 2 4 4× 10 8Pa。同... 采用光学相移法 ,对Si基片上Cu膜应力随退火温度的变化进行了研究。研究表明 :随退火温度的升高 ,Cu膜应力减小 ,2 0 0℃时平均应力减小为 - 0 2 6 1× 10 8Pa,且应力分布均匀 ,在选区范围内应力差仅为 2 2 4 4× 10 8Pa。同时用X射线衍射技术测量分析了Cu膜经过不同退火温度热处理后的微结构组织 。 展开更多
关键词 溅射Cu膜 退火温度 微结构 应力 光学相移法 硅基片 集成电路 铜薄膜 微电子技术
下载PDF
杯芳烃衍生物液-液萃取和液膜传输银的对比研究及机理探讨 被引量：7
12
作者 陈朗星 张佳 +2 位作者 何锡文 曾宪顺 张正之 《化学学报》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2003年第1期104-109,共6页
4类含硫、硒、氮等杂原子基团二取代的杯[4]芳烃衍生物(1～ 14 )为中性载体,在H2 O CHCl3 苦味酸体系萃取银和H2 O CHCl3 H2 O液膜体系中传输银进行了对比研究.萃取和传输结果具有一致性,除了苯并噻唑取代的杯[4]芳烃衍生物(3～ 6)外,其... 4类含硫、硒、氮等杂原子基团二取代的杯[4]芳烃衍生物(1～ 14 )为中性载体,在H2 O CHCl3 苦味酸体系萃取银和H2 O CHCl3 H2 O液膜体系中传输银进行了对比研究.萃取和传输结果具有一致性,除了苯并噻唑取代的杯[4]芳烃衍生物(3～ 6)外,其它 10个含硫、硒、氮的杯[4]芳烃衍生物 1～ 14均对软重金属银和汞有很高的选择性,而吡啶取代的杯[4]芳烃衍生物 7～ 10对铅有一定的萃取选择性.其中羟基硫醚取代的杯[4]芳烃衍生物 11～ 14对银的萃取率和传输速率最大.并且就杯[4]芳烃衍生物对银的传输机理进行了探讨,发现传输速率随源相中金属离子浓度和有机相中载体浓度的增加而增大。 展开更多
关键词 杂原子 杯[4]芳烃衍生物 液-液萃取 液膜传输 银 分离
下载PDF
鼓泡法薄膜力学性能测试的研究现状 被引量：12
13
作者 任凤章 鞠新华 +3 位作者 周根树 胡志忠 赵文轸 郑茂盛 《稀有金属材料与工程》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2001年第5期321-325,共5页
对鼓泡法薄膜力学性能测试的现状做了评述 ,重点分析了该实验方法所用力学模型的最新进展 ,剖析了所涉及的制样方法和力学模型的特点及所存在的问题 ;
关键词 鼓泡实验 薄膜 力学性能
下载PDF
压入深度与膜厚对薄膜与基体复合硬度及弹性模量的影响 被引量：7
14
作者 徐可为 候根良 +2 位作者 于光 陈国良 刘丹梅 《金属学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 1996年第1期23-28,共6页
根据高华建的复合弹性模量模型，提出了用一个测点的载荷－位移曲线计算整个压入深度内薄膜和基体复会硬度分布的方法，探讨了压入深度与膜厚对硬度与弹性模量测量值的影响，指出可由膜－基复合性能反推膜本身的性能．
关键词 纳米薄膜 弹性模量 载荷-位移曲线 复合硬度 压入深度 膜厚 纳米压入法
下载PDF
CVD金刚石薄膜的应力研究 被引量：14
15
作者 唐壁玉 靳九成 +2 位作者 李绍绿 周灵平 陈宗璋 《高压物理学报》 CAS CSCD 北大核心 1997年第1期56-60,共5页
利用Ｘ射线衍射研究了化学气相沉积的金刚石薄膜的应力情况。研究表明：热应力在研究范围内为压应力，本征应力是张应力。分析了薄膜厚度、生长温度。
关键词 化学气相沉积 金刚石 薄膜 应力
下载PDF
离子束辅助沉积和真空退火对硫化锌薄膜应力的影响 被引量：8
16
作者 陈焘 罗崇泰 +3 位作者 王多书 刘宏开 王济洲 马锋 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第S1期55-58,共4页
在硅基底上用电子束蒸发方法制备了硫化锌薄膜。通过XRD和薄膜应力测试仪研究了离子束辅助沉积和真空退火对硫化锌薄膜应力的影响规律。结果表明,未采用离子辅助技术制备的硫化锌薄膜为压应力,平均应力值为110.6 MPa,当采用离子束辅助... 在硅基底上用电子束蒸发方法制备了硫化锌薄膜。通过XRD和薄膜应力测试仪研究了离子束辅助沉积和真空退火对硫化锌薄膜应力的影响规律。结果表明,未采用离子辅助技术制备的硫化锌薄膜为压应力,平均应力值为110.6 MPa,当采用离子束辅助工艺时硫化锌薄膜的压应力增加了62.3MPa。真空退火使硫化锌薄膜的平均应力大约降低了二分之一。硫化锌薄膜的微观结构变化是影响薄膜应力的主要因素。 展开更多
关键词 硫化锌薄膜 离子束辅助沉积 真空退火 应力
下载PDF
亚微米氮化钛膜的纳米压痕和划痕测定 被引量：9
17
作者 张泰华 郇勇 王秀兰 《力学学报》 EI CSCD 北大核心 2003年第4期498-502,共5页
采用等离子电弧沉积的方法,分别在GT35和40CrNiMo钢上沉积厚约为0.5μm的氮化钛(TiN)膜。为了筛选基材,采用纳米压痕和划痕技术,评价膜基界面结合和固体润滑效果。纳米压痕结果,GT35,40CrNiMo和TiN的纳米硬度/弹性模量的典型值分别约为1... 采用等离子电弧沉积的方法,分别在GT35和40CrNiMo钢上沉积厚约为0.5μm的氮化钛(TiN)膜。为了筛选基材,采用纳米压痕和划痕技术,评价膜基界面结合和固体润滑效果。纳米压痕结果,GT35,40CrNiMo和TiN的纳米硬度/弹性模量的典型值分别约为11.5GPa/330GPa,6.0GPa/210GPa,30GPa/450GPa。纳米划痕结果,GT35有较理想的膜基结合能力;GT35,40CrNiMo,TiN及其有机膜的摩擦系数分别约为0.25,0.45,0.15,0.10。同40CrNiMo相比,GT35是较为理想的基体材料。纳米压痕和划痕技术能提供丰富的近表面的弹塑性变形、断裂和摩擦等的信息,是评价亚微米薄膜力学性能的有效手段。 展开更多
关键词 纳米压痕 纳米划痕 力学性能 摩擦性能 亚微米氮化钛膜 等离子电弧沉积 弹塑性变形 断裂 测定
下载PDF
ZnS上金刚石膜的过渡层设计和附着力研究 被引量：6
18
作者 郝鹏 张树玉 +5 位作者 黎建明 杨海 苏小平 余怀之 刘伟 贺琪 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2008年第2期347-351,共5页
CVD ZnS是中长波前视红外窗口和整流罩的合适材料,文中从折射率、热应力、透射波段和附着力等方面考虑,由实验设计出HfO2/非晶膜双层结构作为ZnS与金刚石保护膜间的过渡层,采用射频反应磁控溅射技术在ZnS表面制备过渡膜层,并采用划痕法... CVD ZnS是中长波前视红外窗口和整流罩的合适材料,文中从折射率、热应力、透射波段和附着力等方面考虑,由实验设计出HfO2/非晶膜双层结构作为ZnS与金刚石保护膜间的过渡层,采用射频反应磁控溅射技术在ZnS表面制备过渡膜层,并采用划痕法研究了薄膜的显微结构对其与衬底间附着力的影响。结果表明,金刚石能够在HfO2/非晶膜过渡层上形核、生长,得到优质的保护膜,同时过渡层也缓解了金刚石膜与ZnS衬底间由于热膨胀系数的较大差异而引起的膜层脱落问题,单面沉积过渡层的ZnS在2～12μm范围具有增透膜的作用。与AlN/非晶膜组成的过渡层相比,HfO2/非晶膜组成的过渡层具有更小的残余应力。在典型实验条件下,该过渡层与ZnS衬底附着性良好,研究发现薄膜的显微结构对附着力的大小有重要影响,形成细小致密的柱状纤维结构,有利于提高附着力。 展开更多
关键词 过渡层 ZNS 金刚石膜 附着力
原文传递
TaN/NbN纳米多层膜的力学性能与耐磨性 被引量：5
19
作者 李戈扬 虞晓江 +2 位作者 吴桢干 许俊华 顾明元 《真空科学与技术》 EI CSCD 北大核心 2002年第1期1-4,共4页
采用反应溅射在多靶溅射仪上制备了调制周期小于 73 .2nm的一系列TaN/NbN纳米多层膜和TaN ,NbN单层薄膜 ,并采用透射电子显微镜、显微硬度计和凹坑研磨仪研究了薄膜的微结构、力学性能和耐磨性。结果表明 ,具有成分周期变化的TaN/NbN纳... 采用反应溅射在多靶溅射仪上制备了调制周期小于 73 .2nm的一系列TaN/NbN纳米多层膜和TaN ,NbN单层薄膜 ,并采用透射电子显微镜、显微硬度计和凹坑研磨仪研究了薄膜的微结构、力学性能和耐磨性。结果表明 ,具有成分周期变化的TaN/NbN纳米多层膜在其调制周期为 2 3～ 17 0nm范围内产生硬度异常升高的超硬效应 ,最高硬度达到HK 5 1 0GPa ;磨损实验表明 ,TaN/NbN纳米多层膜耐磨性远高于TaN和NbN单层膜 ,其主要原因是调制结构中大量界面的存在 ,提高了薄膜的韧性。 展开更多
关键词 氮化钽 氮化铌 TaN/NbN纳米多层膜 超硬效应 耐磨性 微结构 力学性能 金属材料 表面处理 陶瓷薄膜
下载PDF
类陨石坑表面类金刚石薄膜的制备及摩擦特性 被引量：4
20
作者 郑锦华 张冲 +1 位作者 晁云峰 李聪慧 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第4期934-941,共8页
为了提高DLC（Diamond-like Carbon）类金刚石薄膜与SAE1060碳素钢基材的结合强度,以延长发动机活塞环的使用寿命,研制了一种带有复合阳极的RF-DCCVD双电源化学气相沉积设备.利用锯齿结构的辅助阳极产生尖端放电,制备了具有微米类陨石... 为了提高DLC（Diamond-like Carbon）类金刚石薄膜与SAE1060碳素钢基材的结合强度,以延长发动机活塞环的使用寿命,研制了一种带有复合阳极的RF-DCCVD双电源化学气相沉积设备.利用锯齿结构的辅助阳极产生尖端放电,制备了具有微米类陨石坑非连续结构的DLC薄膜,并利用Ball-on-Disk摩擦评价试验机评价了薄膜的摩擦特性.着重研究了极间距S-T对薄膜表面类陨石坑密度的影响;最后利用拉曼光谱仪分析了薄膜结构和成分.结果表明：在同样的电压下,类陨石坑的密度随着电极间距的增加而减小,最佳电极间距S-T为40～60 mm,此时不仅具有比较适中的类陨石坑密度,对DLC薄膜的摩擦特性影响不大,而且具有较强的界面结合强度.当S-T为50 mm,施加载荷为3N时,薄膜的破坏寿命达到了130万循环,比光滑表面的薄膜延长了30万循环.得到的结果显示微米类陨石坑非连续结构能够有效地释放膜内的残余压缩应力,延长SAE1060碳素钢基材上沉积类金刚石薄膜的使用寿命. 展开更多
关键词 类金刚石薄膜 界面强度 摩擦特性 破坏寿命 残余应力 拉曼光谱
下载PDF
已选择0条
导出题录 引用分析
参考文献
引证文献
 统计分析
检索结果
已选文献
上一页 1 2 … 16 下一页 到第 页
使用帮助 返回顶部