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超精密晶圆减薄砂轮及减薄磨削装备研究进展
1
作者 周仁宸 王哲 +4 位作者 杨远航 吉佛涛 刘坚 李蓉 尹韶辉 《表面技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第3期1-21,共21页
在芯片制程的后道阶段,通过超精密晶圆减薄工艺可以有效减小芯片封装体积,导通电阻,改善芯片的热扩散效率,提高其电气性能、力学性能。目前的主流工艺通过超细粒度金刚石砂轮和高稳定性超精密减薄设备对晶圆进行减薄,可实现大尺寸晶圆... 在芯片制程的后道阶段,通过超精密晶圆减薄工艺可以有效减小芯片封装体积,导通电阻,改善芯片的热扩散效率,提高其电气性能、力学性能。目前的主流工艺通过超细粒度金刚石砂轮和高稳定性超精密减薄设备对晶圆进行减薄,可实现大尺寸晶圆的高精度、高效率、高稳定性无损伤表面加工。重点综述了目前超精密晶圆减薄砂轮的研究进展,在磨料方面综述了机械磨削用硬磨料和化学机械磨削用软磨料的研究现状,包括泡沫化金刚石、金刚石团聚磨料、表面微刃金刚石的制备方法及磨削性能,同时归纳总结了软磨料砂轮的化学机械磨削机理及材料去除模型。在结合剂研究方面,综述了金属、树脂和陶瓷3种结合剂的优缺点,以及在晶圆减薄砂轮上的应用,重点综述了目前在改善陶瓷结合剂的本征力学强度及与金刚石之间的界面润湿性方面的研究进展。在晶圆减薄超细粒度金刚石砂轮制备方面,由于微纳金刚石的表面能较大,采用传统工艺制备砂轮会导致磨料发生团聚,影响加工质量。在此基础上,总结论述了溶胶–凝胶法、高分子网络凝胶法、电泳沉积法、凝胶注模法、结构化砂轮等新型工艺方法在超细粒度砂轮制备方面的应用研究,同时还综述了目前不同的晶圆减薄工艺及超精密减薄设备的研究进展,并指出未来半导体加工工具及装备的发展方向。 展开更多
关键词 减薄砂轮 减薄机 表面处理 结合剂 超细粒度金刚石 制备技术
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陶瓷磨削用多层钎焊金刚石砂轮的研制
2
作者 周颢 肖冰 +2 位作者 周立永 王溯 何旭 《金刚石与磨料磨具工程》 CAS 北大核心 2024年第1期50-56,共7页
为解决传统树脂、电镀金刚石砂轮磨削陶瓷材料时存在的磨削寿命短、砂轮易堵塞烧伤等问题,分析利用钎焊金刚石技术制备陶瓷磨削用多层钎焊金刚石砂轮的可行性。结合钎料组分优选,制备具有开槽结构的多层钎焊金刚石砂轮,并对99.9%高纯度... 为解决传统树脂、电镀金刚石砂轮磨削陶瓷材料时存在的磨削寿命短、砂轮易堵塞烧伤等问题,分析利用钎焊金刚石技术制备陶瓷磨削用多层钎焊金刚石砂轮的可行性。结合钎料组分优选,制备具有开槽结构的多层钎焊金刚石砂轮,并对99.9%高纯度的Al_(2)O_(3)陶瓷进行磨削性能试验。结果表明:树脂、电镀金刚石砂轮分别存在磨削效率低和磨削寿命不足的问题,单层钎焊金刚石砂轮磨削效率较高但磨削寿命有限,多层钎焊金刚石在保持高磨削效率的同时磨削寿命优势明显,较单层钎焊金刚石磨轮提升约60%。在陶瓷材料磨削过程中,多层钎焊金刚石砂轮磨削效果显著,虽磨粒出露高度有限,但开槽设计的排屑效果显著,砂轮表面不易发生陶瓷粉末黏结、堵塞。 展开更多
关键词 陶瓷磨削 钎焊金刚石 多层砂轮 磨削效率
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凹小圆弧金刚石砂轮电火花修整试验研究
3
作者 陈根余 鲁恩昊 +1 位作者 戴隆州 袁尚勇 《湖南大学学报（自然科学版）》 EI CAS CSCD 北大核心 2023年第10期164-174,共11页
多槽凹小圆弧成形砂轮难以高精度、高效率修整的问题严重限制了其在精密磨削的应用.本文阐述了成形电极电火花修整凹小圆弧成形砂轮的原理,通过单因素试验研究设计出最佳加工参数组合,利用高精度车刀装置修整了紫铜电极车成砂轮对应的V... 多槽凹小圆弧成形砂轮难以高精度、高效率修整的问题严重限制了其在精密磨削的应用.本文阐述了成形电极电火花修整凹小圆弧成形砂轮的原理,通过单因素试验研究设计出最佳加工参数组合,利用高精度车刀装置修整了紫铜电极车成砂轮对应的V形槽轮廓形状后进行逐级减能的电火花修整多槽凹小圆弧成形砂轮研究,完成了2 500#粒度和1 000#粒度成形金刚石砂轮修整验证,并磨削了石墨片试件进行检测.试验结果表明该方法在较高效率下控制了砂轮表面质量与轮廓精度,具有一定指导作用. 展开更多
关键词 电火花修整 金刚石砂轮 细粒度成形砂轮 轮廓精度
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砂轮磨损检测技术的研究综述
4
作者 尤芳怡 巴赣鲁 +3 位作者 汪旋 洪建雄 黄毅 洪健 《智能制造》 2023年第2期114-119,共6页
磨削广泛用于难加工材料的高效精密加工,砂轮的磨损将降低加工效率和工件质量。判断砂轮磨损程度并及时停机修锐或者更换砂轮是保证加工质量和生产效率的重要措施。因此,检测并评价砂轮磨损成为研究热点。本文通过阐述磨削加工的材料去... 磨削广泛用于难加工材料的高效精密加工,砂轮的磨损将降低加工效率和工件质量。判断砂轮磨损程度并及时停机修锐或者更换砂轮是保证加工质量和生产效率的重要措施。因此,检测并评价砂轮磨损成为研究热点。本文通过阐述磨削加工的材料去除方式,解释了砂轮产生磨损的机理;分类综述了磨损的形式及利用接触法和光电检技术等直接检测并表征的方法,以及通过磨削过程的声发射信号、压力信号和温度信号等间接评价砂轮磨损程度的研究现状和目前存在的瓶颈,并展望了砂轮磨损在线监测的发展方向。 展开更多
关键词 磨削 砂轮磨损 表面质量 检测技术
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电火花机械磨削修整粗粒度成形砂轮试验研究 被引量：2
5
作者 袁尚勇 陈根余 +1 位作者 戴隆州 鲁恩昊 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2023年第10期1164-1171,共8页
粗粒度金属基金刚石砂轮磨削效率高,面形精度保持性好,可以满足各种成形零件的精密加工,但存在因修整困难而难以推广的问题。针对该问题,提出采用电火花机械磨削法修整粗粒度金刚石砂轮。探究了放电参数对修整效率及刀具损耗量的影响规... 粗粒度金属基金刚石砂轮磨削效率高,面形精度保持性好,可以满足各种成形零件的精密加工,但存在因修整困难而难以推广的问题。针对该问题,提出采用电火花机械磨削法修整粗粒度金刚石砂轮。探究了放电参数对修整效率及刀具损耗量的影响规律,并以修整效率为优化目标选取粗修整试验放电参数,以修整精度为优化目标选取精修整试验放电参数。设计了半径为3 mm的凹圆弧、凸圆弧砂轮修整试验,粗修整后凹圆弧、凸圆弧半径分别为2867.510μm、2919.254μm,尺寸误差分别为4.43%、2.69%,轮廓精度PV值为54.34μm;精修整后凹圆弧、凸圆弧半径分别为3005.107μm、3001.588μm,尺寸误差分别为0.17%、0.053%,轮廓精度PV值为17.28μm。最后,磨削碳化硅陶瓷试件,获得凹圆弧、凸圆弧半径的尺寸误差分别为0.24%、0.045%,工件表面粗糙度Ra可达0.463μm。 展开更多
关键词 电火花机械磨削 金刚石砂轮 粗粒度成形砂轮 轮廓精度
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基于异类信息融合的砂轮磨损状态监测 被引量：1
6
作者 胡天荣 郑红伟 戴士杰 《工具技术》 北大核心 2023年第2期126-131,共6页
Inconel 718作为难加工材料,磨削时砂轮磨损较快,影响加工后工件表面质量。提出了基于磨削力信号和磨削振动信号两种异类信息的砂轮磨损状态识别模型,研究了不同磨损状态下磨削力和磨削振动的时域和频域特征,并提取71种与磨损状态相关... Inconel 718作为难加工材料,磨削时砂轮磨损较快,影响加工后工件表面质量。提出了基于磨削力信号和磨削振动信号两种异类信息的砂轮磨损状态识别模型,研究了不同磨损状态下磨削力和磨削振动的时域和频域特征,并提取71种与磨损状态相关的特征。采用核主成分分析法对原始特征集进行特征提取,选取方差累计贡献率为96%的前13个主元作为融合特征集,基于最小二乘支持向量机(LS-SVM)算法建立了砂轮磨损状态识别模型,并采用受试者工作特征曲线(ROC)和准确率两个指标对模型进行了评估,受试者工作曲线面积(AUG)为0.93,准确率可达93.6%。 展开更多
关键词 刀具状态监控 机器人磨削 异类信息 最小二乘支持向量机 核主元素分析
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首钢京唐1号RH炉真空加料系统维护实践
7
作者 宋智杰 李立恒 +5 位作者 王宝中 王岩 刘迎春 曹江 张博 王贺 《山西冶金》 CAS 2023年第12期254-256,共3页
介绍了首钢京唐炼钢部1号RH真空加料系统的组成和特点,总结了在维护1号RH真空加料系统过程中频发的问题。针对不同的问题提出了相应的改进措施,从根本上解决了1号RH真空加料系统出现的设备故障,提高了1号RH真空加料系统运行稳定性。
关键词 RH 真空 真空加料 真空锁 密封胶圈
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旋转超声内圆磨削砂轮变幅器的设计与试验研究
8
作者 马彪 秦慧斌 +2 位作者 冯毅 白旭日 辛佳毅 《工程设计学报》 CSCD 北大核心 2023年第1期117-126,共10页
砂轮变幅器是旋转超声内圆磨削谐振系统的关键部件,其设计质量直接影响超声磨削的工艺效果。但目前内圆磨削砂轮变幅器缺乏较为完善的理论分析模型。为提高砂轮变幅器理论分析模型的通用性,基于非谐振设计理论建立了纵向谐振砂轮变幅器... 砂轮变幅器是旋转超声内圆磨削谐振系统的关键部件,其设计质量直接影响超声磨削的工艺效果。但目前内圆磨削砂轮变幅器缺乏较为完善的理论分析模型。为提高砂轮变幅器理论分析模型的通用性,基于非谐振设计理论建立了纵向谐振砂轮变幅器的理论分析模型,并利用砂轮变幅器各振动单元间的力、位移连续条件与边界条件推导了其频率方程。然后,针对频率方程进行编程求解,并通过ANSYS有限元仿真分析进行验证。最后,加工制作了纵向谐振砂轮变幅器,并开展阻抗特性分析试验、超声谐振试验和振动位移测量试验,分析了其谐振特性。试验结果表明,所研制的砂轮变幅器的谐振试验频率与理论设计频率一致,其输出端振动位移的试验值与仿真值的相对误差为7.83%,符合旋转超声内圆磨削的要求,验证了理论分析模型求解的正确性。研究结果为旋转超声内圆磨削砂轮变幅器的设计提供了便捷且有效的方法。 展开更多
关键词 旋转超声内圆磨削 砂轮变幅器 理论分析模型 频率方程 谐振特性分析
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浅谈延长砂轮使用寿命的方法
9
作者 张志刚 苗振华 马刚 《山东冶金》 CAS 2023年第1期84-84,86,共2页
砂轮作为全自动磨样机的备件对产品的质量至关重要,但在实际生产中,砂轮在磨削加工过程中,易出现堵塞钝化现象造成过早报废。本文通过对砂轮进行冲刷、干燥、调整自动磨样机砂轮磨削量和进给量等措施,延长了砂轮的使用寿命,砂轮的使用... 砂轮作为全自动磨样机的备件对产品的质量至关重要,但在实际生产中,砂轮在磨削加工过程中,易出现堵塞钝化现象造成过早报废。本文通过对砂轮进行冲刷、干燥、调整自动磨样机砂轮磨削量和进给量等措施,延长了砂轮的使用寿命,砂轮的使用周期大大提高。 展开更多
关键词 白刚玉砂轮 多孔体 嵌入型堵塞 使用寿命
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沟道磨削用陶瓷CBN砂轮圆弧廓形精度自动调控方法及试验验证 被引量：1
10
作者 朱建辉 师超钰 +2 位作者 赵延军 杨威 王东峰 《轴承》 北大核心 2023年第3期32-36,39,共6页
针对轴承沟道磨削CBN砂轮难检测、难修整的问题,提出了砂轮圆弧廓形精度在位检测分析方法以及法向跟踪精密修整方法,并构建了根据廓形精度检测值实时反馈调节修整参数的双闭环控制回路,实现了砂轮圆弧廓形精度的自动调控。利用该方法开... 针对轴承沟道磨削CBN砂轮难检测、难修整的问题,提出了砂轮圆弧廓形精度在位检测分析方法以及法向跟踪精密修整方法,并构建了根据廓形精度检测值实时反馈调节修整参数的双闭环控制回路,实现了砂轮圆弧廓形精度的自动调控。利用该方法开展陶瓷CBN砂轮修整以及内圈沟道磨削试验,结果表明:磨削工件廓形精度较好地契合了砂轮廓形修整和检测结果,砂轮磨削性能优良,实现了陶瓷CBN砂轮圆弧廓形精度的高效高精度调控。 展开更多
关键词 滚动轴承 沟道 磨削 砂轮 表面粗糙度 圆度误差
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烧结温度对Ti-Al金属间化合物黏结剂金刚石磨块力学性能和磨削性能的影响
11
作者 唐洲 贺跃辉 陈帅鹏 《粉末冶金材料科学与工程》 2023年第3期288-295,共8页
用金属间化合物作为黏结剂的金刚石砂轮在磨削蓝宝石、碳化硅等领域应用广泛。黏结剂与金刚石之间的结合状态直接影响金刚石砂轮的力学和磨削性能。为了研究黏结剂和金刚石的界面结合情况,采用热压法制备Ti-Al金属间化合物黏结剂金刚石... 用金属间化合物作为黏结剂的金刚石砂轮在磨削蓝宝石、碳化硅等领域应用广泛。黏结剂与金刚石之间的结合状态直接影响金刚石砂轮的力学和磨削性能。为了研究黏结剂和金刚石的界面结合情况,采用热压法制备Ti-Al金属间化合物黏结剂金刚石磨块,通过多种材料表征方法和摩擦磨损实验研究黏结剂与金刚石之间的界面结合状态和磨块的磨削性能。结果表明:经热压后黏结剂中生成了Ti-Al金属间化合物,且Al在金刚石表面富集从而提高黏结剂对金刚石颗粒的把持力。当烧结温度为900℃时,黏结剂对金刚石颗粒的把持力最高,磨块的力学性能和磨削性能最优,强度和硬度(HRB)最大,分别为160.48 MPa和114.4,磨削蓝宝石的磨耗比为22.3,蓝宝石表面粗糙度为1.37μm。但随着温度的进一步升高,黏结剂的过度氧化会降低磨块的磨削性能。 展开更多
关键词 TI-AL 金属间化合物 黏结剂 金刚石磨块 力学性能 磨削性能
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超硬磨料砂轮圆弧修整技术综述 被引量：1
12
作者 冯克明 杜晓旭 +6 位作者 王兵 曹唯飞 王庆伟 雷来贵 殷珂 赵现超 刘登彪 《超硬材料工程》 CAS 2023年第2期34-42,共9页
超硬磨料砂轮以其优异的磨削性能获得业内普遍认可。但是,由于超硬磨料具有很高的硬度及耐磨性,使其砂轮修整极其困难。对于复杂形面砂轮修整,则更是难上加难。为此,选最简单形面-圆弧砂轮修整为研究对象,梳理了超硬磨料砂轮圆弧修整相... 超硬磨料砂轮以其优异的磨削性能获得业内普遍认可。但是,由于超硬磨料具有很高的硬度及耐磨性,使其砂轮修整极其困难。对于复杂形面砂轮修整,则更是难上加难。为此,选最简单形面-圆弧砂轮修整为研究对象,梳理了超硬磨料砂轮圆弧修整相关技术,分析了工作原理、修整特点及其应用状况。结果发现:基于金刚石的机械式修整仍是当下超硬磨料砂轮圆弧修整之主流;点轮摆动修整,适于疏松型结合剂砂轮修整;成型修整、插补修整,易损伤工具轮精度,主要用于砂轮精修整、点修整;展成法修整,主要用于精修整。普通磨料磨具,以其脆硬特性以柔克刚,主要用于密实型结合剂超硬磨料砂轮圆弧修整;往复+摆动复合修整,主要用于大圆弧修整;插补修整,用于小众砂轮圆弧修整;往复+插补复合修整,多用于小圆弧修整;电火花成型修整,适于导电性金属结合剂砂轮粗修整;激光修整,寿命超长,但修整技术尚存不足。集非接触与机械式协同之复合修整是工程界期待的超硬磨料砂轮圆弧理想修整方法,尚需深入研究。 展开更多
关键词 超硬磨料砂轮 圆弧修整 金刚石工具 点轮修整 综述 展望
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磨粒叶序排布砂轮磨削筋条表面力的表面效应
13
作者 范之昊 吕玉山 李兴山 《一重技术》 2023年第2期35-39,72,共6页
为了探索筋条表面磨削过程中,磨粒叶序有序化砂轮的磨削力对工件表面几何形貌的影响规律,首先,根据筋条减阻表面的特征参数,设计能够实现筋条减阻表面加工的磨粒叶序排布砂轮;其次,建立筋条减阻表面磨削过程的简化模型,对工件表面形貌... 为了探索筋条表面磨削过程中,磨粒叶序有序化砂轮的磨削力对工件表面几何形貌的影响规律,首先,根据筋条减阻表面的特征参数,设计能够实现筋条减阻表面加工的磨粒叶序排布砂轮;其次,建立筋条减阻表面磨削过程的简化模型,对工件表面形貌进行力学仿真;最后,研究磨削速度、磨削深度、磨粒角度、排布参数等对筋条表面几何形状的影响规律。结果表明,磨削速度增大时,工件表面材料的隆起变形高度随磨削力的减小而增大;磨削深度增大时,材料的隆起变形高度随磨削力的增大而减小;磨粒角度增大时,材料隆起变形高度随磨削力的增大,先增大后减小;而在叶序系数增大过程中,材料隆起变形高度随磨削力的增大而增大。 展开更多
关键词 磨削 筋条表面 磨削力 几何形貌 磨粒有序化排布
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磨粒叶序排布端面砂轮磨削纹理表面研究
14
作者 张达 吕玉山 李兴山 《一重技术》 2023年第3期34-37,共4页
为了磨削出结构化网纹表面,设计磨粒叶序排布端面砂轮并建立起磨粒运动学方程,通过计算机仿真获得磨削纹理的表面形貌,探讨叶序砂轮磨粒排布参数、磨削参数等对表面纹理形貌的影响规律。结果表明,砂轮相对工件的位置会影响表面形貌,砂... 为了磨削出结构化网纹表面,设计磨粒叶序排布端面砂轮并建立起磨粒运动学方程,通过计算机仿真获得磨削纹理的表面形貌,探讨叶序砂轮磨粒排布参数、磨削参数等对表面纹理形貌的影响规律。结果表明,砂轮相对工件的位置会影响表面形貌,砂轮两侧磨削生成的表面网纹相对均匀,增大砂轮转速,减小砂轮叶序系数可以使网纹的平台表面更加均匀。 展开更多
关键词 磨削 纹理表面 端面砂轮 叶序排布
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基于SolidWorks的三角形砂轮底盘的建模与加工仿真分析
15
作者 陈泓希 郭丽华 孙肖凡 《现代制造技术与装备》 2023年第6期32-34,共3页
智能制造技术的迅速发展,促使制造业向新的台阶迈进。虚拟仿真技术作为支撑智能制造发展的关键技术,对实际生产具有很高的指导意义。以三角砂轮底盘为例,建立砂轮底盘的三维实体模型,并利用计算机辅助技术对零件进行虚拟仿真加工,得到... 智能制造技术的迅速发展,促使制造业向新的台阶迈进。虚拟仿真技术作为支撑智能制造发展的关键技术,对实际生产具有很高的指导意义。以三角砂轮底盘为例,建立砂轮底盘的三维实体模型,并利用计算机辅助技术对零件进行虚拟仿真加工,得到了零件的加工刀具轨迹,随后利用计算机辅助编程技术生成加工零件的G代码,用以指导今后的实际生产。 展开更多
关键词 砂轮底盘 仿真技术 虚拟加工 SOLIDWORKS 排样问题
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空气气氛烧结金刚石磨头的制备
16
作者 周博堃 霍文国 《装备制造技术》 2023年第6期16-18,共3页
金刚石磨头有多种烧结和打磨方式,针对金刚石磨头在干式打磨时磨削质量不高,以及磨头寿命较短的问题做出了相应的改进及研究,提出了使用空气气氛烧结金钢石磨头的绿色磨削的创新方法。通过优化金刚石磨头在空气气氛的条件下烧结的多项参... 金刚石磨头有多种烧结和打磨方式,针对金刚石磨头在干式打磨时磨削质量不高,以及磨头寿命较短的问题做出了相应的改进及研究,提出了使用空气气氛烧结金钢石磨头的绿色磨削的创新方法。通过优化金刚石磨头在空气气氛的条件下烧结的多项参数,研究了金刚石磨头的相关配方以及相关烧结温度及烧制过程,并在空气气氛的条件下进行了烧制。也自制了金刚石磨头的相关夹具并完成了相关磨削实验。得出结论:金刚石磨头在空气气氛中进行烧结后,磨头使用寿命较好。并且经过空气气氛烧结后的金刚石磨头在显微镜下观察的时候,晶体较为突出,磨粒较为明显。同时在烧制和磨削的过程中也不用添加过多的结合剂以及磨削液的前提下,保证了制备和磨削过程的绿色化,同时也不会产生有毒有害以及污染环境的气体。 展开更多
关键词 烧结金刚石磨头 烧结方式 绿色磨削
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大螺旋角沟槽结构化砂轮的数值建模
17
作者 李威 马长城 江京亮 《工具技术》 北大核心 2023年第5期87-91,共5页
通过数值建模的方法研究结构化砂轮的磨削性能可以清晰地展现其复杂的磨削机理,并且能够设计出符合实验要求的结构化砂轮,进而提高磨削实验效率。本文通过建立砂轮和螺旋线的坐标系,分析两者的数学关系,沿螺旋线在砂轮圆周方向上构建大... 通过数值建模的方法研究结构化砂轮的磨削性能可以清晰地展现其复杂的磨削机理,并且能够设计出符合实验要求的结构化砂轮,进而提高磨削实验效率。本文通过建立砂轮和螺旋线的坐标系,分析两者的数学关系,沿螺旋线在砂轮圆周方向上构建大螺旋角沟槽砂轮的数值建模研究,提出了一种更简便地构建螺旋沟槽砂轮的数值建模方法。 展开更多
关键词 大螺旋角 螺旋线 沟槽砂轮 数值建模
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细粒度金刚石砂轮形貌测量与评价 被引量：24
18
作者 霍凤伟 郭东明 +2 位作者 金洙吉 康仁科 赵福令 《机械工程学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第10期108-113,共6页
采用基于扫描白光干涉原理的三维表面轮廓仪对粒度为3 000的金刚石砂轮表面形貌进行测量,其图像拼接功能可以确保较高的横向分辨率、较高的垂直分辨率和较大的取样面积。利用频谱分析方法对砂轮表面的频率构成进行分析,通过理想的低通... 采用基于扫描白光干涉原理的三维表面轮廓仪对粒度为3 000的金刚石砂轮表面形貌进行测量,其图像拼接功能可以确保较高的横向分辨率、较高的垂直分辨率和较大的取样面积。利用频谱分析方法对砂轮表面的频率构成进行分析,通过理想的低通数字滤波消除测量仪器引起的系统噪声和砂轮表面的高频分量,然后重建砂轮表面的三维形貌,在此基础上得出砂轮的磨粒出刃高度、静态有效磨粒密度、磨粒平均间距。研究表明,采用细粒度金刚石砂轮进行超精密磨削时,磨粒出刃高度大体上服从正态分布,静态有效磨粒密度远低于理论磨粒密度,真正起切削作用的磨粒数量极少。 展开更多
关键词 细粒度金刚石砂轮 表面形貌 数字滤波 磨粒出刃高度 静态有效磨粒密度 磨粒间距
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基于云计算的智能磨削云平台的研究与应用 被引量：22
19
作者 邓朝晖 刘伟 +2 位作者 吴锡兴 曾宇 谢智明 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第1期65-68,84,共5页
工业和制造业需要信息技术的支撑,以云计算为发展方向的新一代互联网技术为工业和制造业的资源整合利用创造了全新的服务平台。针对工业云和云制造的特点,提出了将云计算应用到磨削加工领域的思想,建立了智能磨削云平台,介绍了智能磨削... 工业和制造业需要信息技术的支撑,以云计算为发展方向的新一代互联网技术为工业和制造业的资源整合利用创造了全新的服务平台。针对工业云和云制造的特点,提出了将云计算应用到磨削加工领域的思想,建立了智能磨削云平台,介绍了智能磨削云平台的原理、结构和关键技术,并运用云计算技术开发的相关磨削云软件的应用情况,对智能磨削云平台的发展趋势进行了展望。 展开更多
关键词 云计算 工业云 云制造 智能磨削云平台 分布式磨削工艺数据库
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金刚石磨盘磨削的磨粒损伤特性研究 被引量：14
20
作者 马伯江 徐鸿钧 +2 位作者 付玉灿 肖冰 徐九华 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第12期1085-1088,共4页
研究了钎焊金刚石磨盘和电镀金刚石磨盘磨削花岗岩的磨粒损伤形式及其与法向磨削力之间的相互关系。实验结果表明 ,钎焊金刚石磨盘的磨粒损伤形式为磨粒尖端因磨耗变成平台、切削刃破损 ;电镀金刚石磨盘的磨粒损伤不但具有上述两种形式 ... 研究了钎焊金刚石磨盘和电镀金刚石磨盘磨削花岗岩的磨粒损伤形式及其与法向磨削力之间的相互关系。实验结果表明 ,钎焊金刚石磨盘的磨粒损伤形式为磨粒尖端因磨耗变成平台、切削刃破损 ;电镀金刚石磨盘的磨粒损伤不但具有上述两种形式 ,同时还有磨粒脱落 ,因而其使用寿命大为缩短 ;金刚石磨粒形态对磨削力有较大影响 ,磨削力的变化加速了磨粒形态的转化。阐述了三种磨粒损伤产生的机理和磨削力变化的成因。 展开更多
关键词 钎焊金刚石磨盘 电镀金刚石磨盘 端面磨削 磨削力 磨粒损伤
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