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应用于超高速流场电子密度分布测量的七通道微波干涉仪测量系统
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作者 马平 田径 +3 位作者 田得阳 张宁 吴明兴 唐璞 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2024年第17期138-150,共13页
高超声速飞行器在临近空间飞行时,由于飞行器与空气剧烈的相互作用,形成包含等离子体鞘套和尾迹的等离子体流场,研究其电子密度分布特性对高超声速飞行器的目标识别、测控通信等具有重要意义.地面模拟实验测量是研究等离子体包覆高超声... 高超声速飞行器在临近空间飞行时,由于飞行器与空气剧烈的相互作用,形成包含等离子体鞘套和尾迹的等离子体流场,研究其电子密度分布特性对高超声速飞行器的目标识别、测控通信等具有重要意义.地面模拟实验测量是研究等离子体包覆高超声速飞行器电磁散射特性的有效方法之一,为满足地面模拟实验瞬态等离子体流场电子密度分布的测量需求,本文提出了一种Ka波段七通道微波干涉仪测量系统研制方案.该系统采用单发七收的方式,利用单曲面透镜将波导开口天线辐射的电磁波转化为近似平面波,将7个平行且非对称排列的开口波导作为接收通道天线,缩减了接收天线的尺寸以及天线之间的距离,提高了测量的空间分辨率.基于七通道微波干涉仪测量系统在弹道靶和激波管设备开展了动态实验,测量了超高速流场电子密度二维分布,结果表明该系统具备瞬时大动态范围信号的接收能力,幅度线性动态范围优于65 dB,相位动态范围180°,响应时间优于1μs;所测量的超高速流场等离子体电子密度二维分布,能够较好地反映弹道靶设备与激波管设备产生的瞬态等离子体细节变化,电子密度测量动态范围为(10^(10)-10^(13))cm^(-3)量级,电子密度测量误差不超过0.5个数量级,径向空间分辨率优于15 mm. 展开更多
关键词 超高速流场 等离子体 微波干涉仪 电子密度 分布测量
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五轴数控机床旋转轴综合误差测量与辨识
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作者 杨桂娟 张岩 赵红美 《机械设计与制造》 北大核心 2024年第2期193-197,共5页
针对五轴数控机床旋转轴的运动误差和几何误差的综合评估问题,在不考虑直线轴运动误差影响的情况下,提出了一种采用R-test测量仪的测量及其辨识方法。首先,测量过程按照参考球的两种不同高度设置进行,仅移动旋转轴,而不移动直线轴。其次... 针对五轴数控机床旋转轴的运动误差和几何误差的综合评估问题,在不考虑直线轴运动误差影响的情况下,提出了一种采用R-test测量仪的测量及其辨识方法。首先,测量过程按照参考球的两种不同高度设置进行,仅移动旋转轴,而不移动直线轴。其次,利用R-test测量仪对旋转轴的运动精度进行了测量。此外,假设旋转轴位置几何误差和工作台上参考球的设置误差是影响测量结果的因素,并通过最小二乘法对这些因素进行分离。采用IBS公司的R-test测量仪,对米克朗公司UCP800Duro立式五轴加工中心C轴的运动误差和几何误差进行了测量实验。研究结果表明,该方法能够正确识别旋转轴的运动误差和几何误差,可以有效地综合评估旋转轴的运动精度,并有助于进一步提高旋转工作台的精度。 展开更多
关键词 五轴数控机床 旋转轴 运动误差 几何误差 R-test测量仪
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具有管状基准照明系统的斐索平面相移式干涉仪
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作者 龚柯安 付天坤 +3 位作者 何晨嵩 张成悌 付宁 李华 《中国测试》 CAS 北大核心 2024年第S01期106-109,共4页
本文利用具有F-P标准具的管状基准的等倾干涉原理,设计了两种具有管状基准照明系统的斐索平面相移式干涉仪。这两种干涉仪通过气泵来增压或者减压管状基准主体内的气压,从而改变管状基准内介质折射率,进一步改变参考光和测量光的光程差... 本文利用具有F-P标准具的管状基准的等倾干涉原理,设计了两种具有管状基准照明系统的斐索平面相移式干涉仪。这两种干涉仪通过气泵来增压或者减压管状基准主体内的气压,从而改变管状基准内介质折射率,进一步改变参考光和测量光的光程差,以此实现相移技术,完成对平晶平面度的测量。两种干涉仪分为立式和卧式,分别对应不同使用场景。相较于等倾干涉仪测量系统,本文设计的干涉仪系统改善了热交换的环境,测量点数增多,可给出被测平晶平面地形图;相较于利用压电陶瓷实现相移技术的菲索平面干涉仪,本文设计的干涉仪系统在测量中没有机械运动的移相,且造价更低,安全性更高。 展开更多
关键词 管状基准 斐索干涉仪 相移技术 平面度测量
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基于自适应极值的白光干涉信号解调算法研究
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作者 祖洪飞 陈宁 +3 位作者 郭钢祥 朱靖 张翔 陈章位 《轻工机械》 CAS 2024年第2期8-14,22,共8页
针对传统时域解调算法等光程点定位稳定性差、抗干扰能力弱,而频域解调算法效率低且部分方法受扫描采样步长限制等问题,课题组提出一种基于自适应极值的白光干涉解调算法。从干涉信号统计学规律出发,通过对干涉信号包络曲线加权平均,将... 针对传统时域解调算法等光程点定位稳定性差、抗干扰能力弱,而频域解调算法效率低且部分方法受扫描采样步长限制等问题,课题组提出一种基于自适应极值的白光干涉解调算法。从干涉信号统计学规律出发,通过对干涉信号包络曲线加权平均,将它修正为高斯型包络曲线;然后,通过对包络曲线高斯拟合插值得到等光程点,进而得到测量方向的深度信息以及三维形貌;最后,以高度为20μm标准台阶样块为测量对象进行多次实验。结果表明:与传统算法相比,课题组所提出算法的测量重复性和精度均有显著提升。该算法为白光干涉中信号解调提供了一种重复性更好、误差更小的方法。 展开更多
关键词 白光干涉测量系统 解调算法 自适应极值 高斯包络 干涉信号解调
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基于光学干涉原理的温度传感研究(特邀)
5
作者 仇立强 杨策 +7 位作者 张临夏 刘琳 葛宪莹 陈萍萍 孙雨婷 赵昌迪 冉雪婷 倪亮 《光电技术应用》 2024年第1期46-52,共7页
提出一种基于光学干涉原理的温度传感器。通过在参考光路中引入单模光纤产生高斯光束;在测量光路中引入光纤光栅结构,使入射光通过光纤光栅、准直器产生平行的高斯光束,经螺旋相位板产生带有轨道角动量的拉盖尔-高斯光束,两束光将在合... 提出一种基于光学干涉原理的温度传感器。通过在参考光路中引入单模光纤产生高斯光束;在测量光路中引入光纤光栅结构,使入射光通过光纤光栅、准直器产生平行的高斯光束,经螺旋相位板产生带有轨道角动量的拉盖尔-高斯光束,两束光将在合束器上发生干涉,产生螺旋式干涉图像。在测量光路中引入光纤光栅结构,主要是利用光纤光栅的光延迟特性。当环境温度变化时,光在光纤光栅中的传播产生相位延迟,导致测量光路和参考光路之间相位差发生变化,使螺旋干涉图像发生旋转。通过高分辨率相机实时检测干涉图像的变化,并对干涉图像进行图像处理,准确提取干涉图像的变化信息。通过上述方法,使传感器的温度灵敏度达到4.08°/℃,这将在温度传感领域具有重要的应用价值。 展开更多
关键词 光学干涉原理 参考光路 测量光路 干涉图像 温度灵敏度
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光栅干涉精密纳米测量技术
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作者 李星辉 崔璨 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第17期2591-2611,共21页
光栅干涉测量是一种重要的精密纳米测量技术,具有高分辨率、高抗干扰能力和多自由度扩展的优势,在先进节点光刻机、超精密机床等场景中发挥着至关重要的作用。对比介绍了光栅干涉、激光干涉与时栅测量技术,明确其应用场景和当前性能参数... 光栅干涉测量是一种重要的精密纳米测量技术,具有高分辨率、高抗干扰能力和多自由度扩展的优势,在先进节点光刻机、超精密机床等场景中发挥着至关重要的作用。对比介绍了光栅干涉、激光干涉与时栅测量技术,明确其应用场景和当前性能参数,阐述了光栅干涉测量中的零差和外差两种技术原理,并在此基础上分析了光栅干涉仪的国内外发展动态,包括代表性的设备厂商,和近年来国内外在纳米及亚纳米精度的单、多自由度系统方面的研究开发情况。进一步地,对光栅干涉测量的精度和误差进行了分析与讨论,介绍了误差来源、分类及针对性的补偿方法。最后,对光栅干涉仪的发展现状及未来前景进行了讨论,期望为光栅干涉仪系统的开发和优化提供参考。 展开更多
关键词 精密测量 纳米测量 光栅干涉仪 多自由度 误差补偿
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Iterative physical optics method based on efficient occlusion judgment with bounding volume hierarchy technology
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作者 Yang Su Yu-Mao Wu Jun Hu 《Journal of Electronic Science and Technology》 EI CAS CSCD 2024年第1期1-12,共12页
This paper builds a binary tree for the target based on the bounding volume hierarchy technology,thereby achieving strict acceleration of the shadow judgment process and reducing the computational complexity from the ... This paper builds a binary tree for the target based on the bounding volume hierarchy technology,thereby achieving strict acceleration of the shadow judgment process and reducing the computational complexity from the original O(N^(3))to O(N^(2)logN).Numerical results show that the proposed method is more efficient than the traditional method.It is verified in multiple examples that the proposed method can complete the convergence of the current.Moreover,the proposed method avoids the error of judging the lit-shadow relationship based on the normal vector,which is beneficial to current iteration and convergence.Compared with the brute force method,the current method can improve the simulation efficiency by 2 orders of magnitude.The proposed method is more suitable for scattering problems in electrically large cavities and complex scenarios. 展开更多
关键词 Bounding volume hierarchy Cavity scattering Iterative physical optics(IPO)
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基于激光干涉仪的轮径测量器检具测量装置
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作者 张庆华 梁英奇 刘薇 《上海计量测试》 2024年第4期53-57,共5页
以组合量块式轮径测量器检具为对象,分析了目前常用方法中存在的问题,提出了一种新的测量思路,并开发了基于激光干涉仪的测量方法和测量装置。通过测量不确定度的分析评定和实验的比对验证,证明该装置的测量能力是满足相关要求的,能够... 以组合量块式轮径测量器检具为对象,分析了目前常用方法中存在的问题,提出了一种新的测量思路,并开发了基于激光干涉仪的测量方法和测量装置。通过测量不确定度的分析评定和实验的比对验证,证明该装置的测量能力是满足相关要求的,能够对组合量块式轮径测量器检具进行有效测量。 展开更多
关键词 组合量块式 激光干涉仪 测量不确定度 测量能力
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具有F-P标准具照明系统的白光干涉仪测量量块的测量不确定度分析
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作者 张成悌 薛靓 +7 位作者 付天坤 徐德宇 刘静 冉莉萍 王冠熹 龚柯安 李华 张宝武 《中国测试》 CAS 北大核心 2023年第S01期231-240,共10页
文献[1]F-P标准具用于量块量值的传递与溯源一文(中国测试技术2012年增刊第2期54-58页)介绍具有F-P标准具的白光干涉仪检定量块的光学原理及其结构,以及检定F-P标准具的等倾干涉的原理。而进一步对具有F-P标准具的白光干涉仪检定量块的... 文献[1]F-P标准具用于量块量值的传递与溯源一文(中国测试技术2012年增刊第2期54-58页)介绍具有F-P标准具的白光干涉仪检定量块的光学原理及其结构,以及检定F-P标准具的等倾干涉的原理。而进一步对具有F-P标准具的白光干涉仪检定量块的测量不确定度的分析,则由本文完成。该文首先对F-P标准具的检定及其测量不确定度就行了分析。量块尺寸在白光干涉仪上与标准具作比较测量。为减少标准具的数量,量块尺寸可以与两块或三块标准具组成的尺寸进行比较,也可以是由一块尺寸较小的标准具经过光学倍增法实现与被检量块尺寸相同进行比较。例如80mm的量块用40mm的标准具进行比较,这时在量块上的光路在标准具中多一次反射达到;90mm量块则用30mm标准具进行比较。他们也可以由两块标准具组成的尺寸进行比较。分析时以倍增法测量误差最大,以其进行计算。充分证明具有F-P标准具的白光干涉仪完全满足检定1等量块的要求。通过文献[1]及本文的介绍,映证该技术可以实现普及1等量块的检定及量块的自动化检定,特别适用于量块生产厂00级、K级、0级量块的自动化检定。 展开更多
关键词 F-P标准具 白光干涉仪 零次干涉带 等倾干涉环
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基于保偏镜组的外差干涉测量几何误差分析
10
作者 李斌 董晓浩 吕丽军 《光学仪器》 2023年第3期23-29,共7页
角锥棱镜由于本身缺陷会导致失偏效应。在平面镜外差干涉仪中,使用一种保偏反射镜组替代角锥棱镜,以减小外差干涉仪的非线性误差。根据这个平面镜外差干涉仪的基本光路图,基于偏振分光棱镜和角锥棱镜的基本光学特性,分析了平面镜外差干... 角锥棱镜由于本身缺陷会导致失偏效应。在平面镜外差干涉仪中,使用一种保偏反射镜组替代角锥棱镜,以减小外差干涉仪的非线性误差。根据这个平面镜外差干涉仪的基本光路图,基于偏振分光棱镜和角锥棱镜的基本光学特性,分析了平面镜外差干涉仪中3个偏振分光棱镜偏摆角、仰俯角和滚动角,保偏反射镜组中2个偏振分光棱镜之间的间距和角度,以及角锥棱镜的偏摆角和仰俯角等误差对干涉仪的影响。推导出外差干涉仪中各个光学元件的最大安装误差,并规定好其加工精度,确保外差干涉仪性能。 展开更多
关键词 偏振分光棱镜 角锥棱镜 非线性误差 激光干涉 误差分析
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基于相位误差估计的干涉仪测向算法 被引量:1
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作者 段陆洋 曹磊 +2 位作者 李娜 陈安军 都元松 《现代电子技术》 2023年第17期151-154,共4页
针对多基线相位干涉仪系统在工程应用中因测量误差导致的解模糊错误,进而出现测向跳区问题,提出一种基于相位误差估计的干涉仪测向算法。算法在相位差测量值的基础上估计不同通道的相位误差范围,确定不同基线解理论相位差区间,进一步反... 针对多基线相位干涉仪系统在工程应用中因测量误差导致的解模糊错误,进而出现测向跳区问题,提出一种基于相位误差估计的干涉仪测向算法。算法在相位差测量值的基础上估计不同通道的相位误差范围,确定不同基线解理论相位差区间,进一步反推理论入射角的区间,根据不同基线的理论入射角区间的交集解算模糊,算法充分考虑不同通道误差差异,提升了干涉仪系统的鲁棒性。仿真结果表明:在测量误差未超过系统误差估计范围时,可以达到100%解模糊正确率;在单通道失效,即测量误差超过系统误差估计范围时,测向有效率和解模糊正确率高于传统算法。 展开更多
关键词 相位干涉仪 解模糊 测向算法 多基线 相位误差 天线阵列 通道失效 系统鲁棒性
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冷原子干涉加速度测量技术研究现状与发展动态分析
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作者 肖玉华 张炯阳 +4 位作者 高望远 陈江 杨世宇 雷军刚 刘志栋 《真空与低温》 2023年第6期525-542,共18页
高精度加速度测量在惯性导航与重力场测量等领域有着广阔的应用前景。基于冷原子干涉的加速度测量传感器能够充分发挥原子物质波波长短、演化时间长和频率响应精确等特点,比传统加速度计和重力仪等惯性传感器具有更高的测量灵敏度、精... 高精度加速度测量在惯性导航与重力场测量等领域有着广阔的应用前景。基于冷原子干涉的加速度测量传感器能够充分发挥原子物质波波长短、演化时间长和频率响应精确等特点,比传统加速度计和重力仪等惯性传感器具有更高的测量灵敏度、精度和长期稳定性,为现有加速度测量技术带来重大变革。从冷原子干涉加速度测量的基本原理出发,综述了30多年来国内外冷原子干涉加速度测量技术的研究进展,结合惯性导航对加速度测量的技术需求,分析总结了冷原子干涉加速度测量技术的发展动态与重点发展方向是系统的集成化与小型化、重复频率和测量带宽的提高、与经典加速度计的复合以及多轴加速度测量等,旨在提升和完善冷原子干涉加速度传感器的整体性能,以推动冷原子干涉加速度传感器向工程应用迈进,为满足高精度惯性测量的国防战略需求提供有力支撑。 展开更多
关键词 冷原子干涉 加速度测量 集成化与小型化 测量带宽 复合加速度计
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基于Φ-OTDR的海风机与海底电缆在线状态监测方法 被引量:3
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作者 陈勇 张驰 +5 位作者 丁哲文 冯磊 贾星杰 赵世松 王健 张益昕 《光电子技术》 CAS 2023年第1期53-61,共9页
利用自研的Φ-OTDR系统,在福建省某海上风电场开展了演示验证,实现了对海风机机组的启动-运行-停机等不同工况下的状态分析与诊断,总结了不同工况下的振动特征及诊断依据;以及针对海底电缆的水流冲击、锚害拖拽、抵近船只航行等监测预... 利用自研的Φ-OTDR系统,在福建省某海上风电场开展了演示验证,实现了对海风机机组的启动-运行-停机等不同工况下的状态分析与诊断,总结了不同工况下的振动特征及诊断依据;以及针对海底电缆的水流冲击、锚害拖拽、抵近船只航行等监测预警功能,总结了不同海缆状态下及周边环境感知目标事件特征。实测结果证明该方案能够在线监测海风机与海底电缆状态,并有效感知周围环境,为提升海上风电场运维水平提供了可靠的技术途径。 展开更多
关键词 相位敏感光时域反射 海底电缆 海风机 锚害 水流冲击 工况分析
原文传递
双三角形相位光栅X射线干涉仪的条纹可见度
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作者 陈子涵 宋梦齐 +1 位作者 陈恒 王志立 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2023年第14期305-315,共11页
X射线光栅干涉仪成像需要高条纹可见度以获得高信噪比图像.最近的报道证实,X射线双矩形相位光栅干涉仪实验测量的条纹可见度较低.为此,提出了基于双三角形相位光栅X射线干涉仪的条纹可见度研究.利用X射线双相位光栅干涉仪的强度变化规律... X射线光栅干涉仪成像需要高条纹可见度以获得高信噪比图像.最近的报道证实,X射线双矩形相位光栅干涉仪实验测量的条纹可见度较低.为此,提出了基于双三角形相位光栅X射线干涉仪的条纹可见度研究.利用X射线双相位光栅干涉仪的强度变化规律,对比研究了单色照明和不同多色照明下,双三角形相位光栅X射线干涉仪与双矩形相位光栅干涉仪的条纹可见度随光栅间距的变化规律.结果表明:无论是单色照明还是多色照明,双三角形相位光栅X射线干涉仪的条纹可见度的峰值随相移量的增加而增大.当相移量为5π/2时,双三角形相位光栅X射线干涉仪的条纹可见度在单色照明下比双矩形相位光栅干涉仪的条纹可见度提高约21%,在多色照明下提高至少23%.而在多色照明下,随着X射线平均能量偏离光栅设计能量的增加或光源焦点尺寸的增加,双相位光栅干涉仪条纹可见度的峰值均会单调下降.这些结果可作为X射线双相位光栅干涉仪的参数设计和性能优化的理论指导. 展开更多
关键词 X射线成像 光栅干涉仪 三角形相位光栅 条纹可见度
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工业型红外干涉仪的设计
15
作者 石磊 孙长库 +1 位作者 夏恒新 李岩松 《分析仪器》 CAS 2023年第6期10-15,共6页
用于工业现场的傅里叶变换红外光谱仪不仅要求具备与实验室设备相近的信噪比和稳定性,而且仪器的体积和重量需要更小,且对抗震性、易维护性等要求更为严格。在充分利用立体角镜与平面反射镜相组合的光学原理的基础上,通过对影响干涉仪... 用于工业现场的傅里叶变换红外光谱仪不仅要求具备与实验室设备相近的信噪比和稳定性,而且仪器的体积和重量需要更小,且对抗震性、易维护性等要求更为严格。在充分利用立体角镜与平面反射镜相组合的光学原理的基础上,通过对影响干涉仪性能的影响因素进行量化分析,对仪器的设计方案提出指导,设计了一种双摆式的干涉仪光路结构,使仪器具有更高的稳定性。通过对仪器基本性能及标准样品的测试,表明仪器的性能完全能够满足实际测试的需求。 展开更多
关键词 傅里叶红外 光谱仪 干涉仪 动镜
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Tolerance-enhanced SU(1,1) interferometers using asymmetric gain
16
作者 张建东 王帅 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2023年第1期190-195,共6页
SU(1,1) interferometers play an important role in quantum metrology. Previous studies focus on various inputs and detection strategies with symmetric gain. In this paper, we analyze a modified SU(1,1) interferometer u... SU(1,1) interferometers play an important role in quantum metrology. Previous studies focus on various inputs and detection strategies with symmetric gain. In this paper, we analyze a modified SU(1,1) interferometer using asymmetric gain. Two vacuum states are used as the input and on–off detection is performed at the output. In a lossless scenario,symmetric gain is the optimal selection and the corresponding phase sensitivity can achieve the Heisenberg limit as well as the quantum Cramer–Rao bound. In addition, we analyze the phase sensitivity with symmetric gain in the lossy scenario.The phase sensitivity is sensitive to internal losses but extremely robust against external losses. We address the optimal asymmetric gain and the results suggest that this method can improve the tolerance to internal losses. Our work may contribute to the practical development of quantum metrology. 展开更多
关键词 SU(1 1)interferometer asymmetric gain Heisenberg limit quantum Cramer–Rao bound
原文传递
激光干涉仪测量直线度时斜率误差的分析
17
作者 白鑫 张建国 +2 位作者 潘宇 马朋昆 何敏 《中国测试》 CAS 北大核心 2023年第S01期37-40,共4页
在利用激光干涉系统测量各类数控设备的直线度时,影响测量精度最主要的因素是斜率误差,通常也是测量过程中的难点。文章通过对所现有的激光干涉仪设备功能探索、延展,以及实际现场操作的经验,总结出一些思路与方法。
关键词 激光干涉仪 直线度 斜率误差
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双路信号相位同步测量系统设计与实现 被引量:27
18
作者 杜志广 颜树华 +2 位作者 林存宝 王国超 魏春华 《激光技术》 CAS CSCD 北大核心 2016年第3期315-319,共5页
为了实现2维外差干涉位移测量中信号相位的精确同步探测,采用整周期计数与脉冲填充相结合的方法,利用同一时钟基准,对双路信号进行同步检测与并行处理,设计并实现了一种基于现场可编程门阵列的双路外差干涉信号相位同步测量系统。该系统... 为了实现2维外差干涉位移测量中信号相位的精确同步探测,采用整周期计数与脉冲填充相结合的方法,利用同一时钟基准,对双路信号进行同步检测与并行处理,设计并实现了一种基于现场可编程门阵列的双路外差干涉信号相位同步测量系统。该系统在100k Hz载波频率下测量分辨率可以达到0.18°,双路信号下的相位同步测量误差同样为0.18°。结果表明,该系统实现了整小数相位的精确测量,确保了双路信号相位的实时同步探测,能够满足各种2维外差干涉位移测量系统对相位同步测量的需求。 展开更多
关键词 测量与计量 相位测量 双路同步 脉冲填充 外差干涉
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全光纤Mach-Zehnder干涉仪及其在光纤自发布里渊散射测量中的应用 被引量:16
19
作者 何玉钧 李永倩 +2 位作者 杨志 尹成群 芳野俊彦 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第7期865-869,共5页
从理论上分析了全光纤 Mach- Zehnder干涉仪的分光原理 ,并将所研制的全光纤单通Mach- Zehnder干涉仪和双通 Mach- Zehnder干涉仪应用于自发布里渊散射光谱的测量 。
关键词 全光纤MACH-ZEHNDER干涉仪 布里渊散射 瑞利散射 自由程 分光原理 光谱测量
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基于衍射光栅的干涉式精密位移测量系统 被引量:32
20
作者 吕强 李文昊 +3 位作者 巴音贺希格 柏杨 刘兆武 王玮 《中国光学》 EI CAS CSCD 2017年第1期39-50,共12页
介绍了基于几何莫尔条纹原理和衍射干涉原理的两种光栅精密位移测量系统及各自的特点。综述了国内外对光栅干涉式精密位移测量系统的研究进展,总结了系统存在的关键问题及发展趋势。光栅干涉式精密位移测量系统的优点是对环境要求小,测... 介绍了基于几何莫尔条纹原理和衍射干涉原理的两种光栅精密位移测量系统及各自的特点。综述了国内外对光栅干涉式精密位移测量系统的研究进展,总结了系统存在的关键问题及发展趋势。光栅干涉式精密位移测量系统的优点是对环境要求小,测量分辨率和精度较高,结构紧凑,成本低。该系统需要解决的问题包括提高光栅以及光学元器件制造和安装精度;寻求一种更高精度的检测手段对光栅位移测量系统进行标定等。光栅干涉式精密位移测量系统的发展方向为更高测量分辨率和精度,大量程、多维度测量以及尺寸小巧。该系统在现代工业加工精密制造领域将具有更广阔的应用前景。 展开更多
关键词 位移测量 光栅 衍射干涉 高精度
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