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基于激光干涉仪对天文底片扫描仪两轴气浮运动平台垂直度的测量
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作者 王亮亮 商正君 +4 位作者 杨美婷 杨静 董姗 赵建海 于涌 《工业控制计算机》 2025年第1期4-6,9,共4页
上海天文台开展高精度天文底片专用扫描仪的自主研制,垂直度误差是扫描仪所用两轴线性气浮运动平台的关键技术指标之一。基于直线度的干涉测量原理,使用RENISHAW XL80激光干涉仪及光学直角尺搭建垂直度测量光路,对两轴线性气浮式运动平... 上海天文台开展高精度天文底片专用扫描仪的自主研制,垂直度误差是扫描仪所用两轴线性气浮运动平台的关键技术指标之一。基于直线度的干涉测量原理,使用RENISHAW XL80激光干涉仪及光学直角尺搭建垂直度测量光路,对两轴线性气浮式运动平台的垂直度误差进行了测量。测量结果表明:在450 mm×450 mm工作范围内,气浮运动平台两个运动轴的垂直度误差为1.356″,标准偏差为0.121″,满足高精度天文底片扫描仪研制的要求。使用光学直角尺的激光干涉测量方法具备光路布置简便和测量效率高的特点,适合气浮运动平台垂直度的日常检测和标校。 展开更多
关键词 激光干涉仪 气浮运动平台 直线度 垂直度
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分光镜厚度对双臂Tolansky干涉自准直仪测角准确性的影响
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作者 方振远 张宝武 +6 位作者 崔建军 张斌 陈恺 许子杰 朱玲 孙怡 罗贤欢 《物理学报》 北大核心 2025年第5期78-86,共9页
为了解决Tolansky干涉微小角度测量过程依赖动镜测量臂臂长的问题,提出了一种双臂Tolansky干涉自准直测角方案,针对其中分光镜厚度对测角准确性的影响,利用几何光学的单折射球面公式和过渡公式分析了分光镜厚度影响下的虚拟点光源位置,... 为了解决Tolansky干涉微小角度测量过程依赖动镜测量臂臂长的问题,提出了一种双臂Tolansky干涉自准直测角方案,针对其中分光镜厚度对测角准确性的影响,利用几何光学的单折射球面公式和过渡公式分析了分光镜厚度影响下的虚拟点光源位置,建立了包含分光镜厚度和折射率的圆心偏转量与偏转角之间的关系,通过虚拟仿真和实体实验相结合的方式详细考察了分光镜厚度对测角准确性的影响.结果显示,分光镜厚度不同会影响初始圆心的位置;随着分光镜厚度的增大,不同角度下,仿真测量结果与含厚度因素关系式理论值的相对偏差在±0.5%以内;在同一角度下,所建立的含厚度因素关系式与不含厚度因素关系式的差值逐渐增大.在1 mm分光镜的厚度下,以已标定自准直仪所测导轨数据为准,所建立的含厚度因素关系式与不含厚度因素关系式的相对误差仅为0.22%.本文结果为这种新型自准直仪的深度研究和开发提供了重要的指导. 展开更多
关键词 Tolansky 干涉 自准直仪 同心圆环 微小角度
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应用于梯度折射率测量的长波红外干涉仪
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作者 张祐诚 郑东晖 +2 位作者 黄一飞 李晶晶 陈磊 《光学技术》 北大核心 2025年第2期169-174,共6页
红外梯度折射率材料折射率大且折射率变化大,导致干涉条纹密度大且密度变化大。为了精确测量红外梯度折射率材料,研究了一种λ=10.6μm红外马赫-曾德尔干涉仪,设计了一种变焦、定焦同步成像方案,解决了材料大梯度分布情况下条纹过密导... 红外梯度折射率材料折射率大且折射率变化大,导致干涉条纹密度大且密度变化大。为了精确测量红外梯度折射率材料,研究了一种λ=10.6μm红外马赫-曾德尔干涉仪,设计了一种变焦、定焦同步成像方案,解决了材料大梯度分布情况下条纹过密导致的难以测量难题,通过测量红外梯度折射率材料的透射波前从而得到其折射率分布。利用该干涉仪测量厚度为2mm的轴向梯度折射率样品和厚度为9mm的径向梯度折射率样品,得到两样品折射率变化分别为0.305和0.053。使用该干涉仪测量红外梯度折射率样品,样品折射率变化陡度最大为0.035。为了验证该干涉仪的测量精度,测量厚度为10mm的硅片的透射波前,结果表示折射率测量误差在10^(-5)量级。 展开更多
关键词 干涉测量 红外干涉仪 马赫-曾德尔干涉仪 折射率梯度
原文传递
一种面向原子干涉仪均匀量子非破坏测量的光学环形腔
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作者 王恩龙 王国超 +3 位作者 朱凌晓 卞进田 莫小娟 孔辉 《物理学报》 北大核心 2025年第3期67-78,共12页
高精细度光学谐振腔辅助的量子非破坏(quantum nondemolition,QND)测量可产生原子自旋/动量压缩态,是提升原子干涉灵敏度以突破标准量子极限的重要手段.传统Fabry-Perot腔内驻波场结构导致的光与原子相互作用不均匀性,使得原子自旋压缩... 高精细度光学谐振腔辅助的量子非破坏(quantum nondemolition,QND)测量可产生原子自旋/动量压缩态,是提升原子干涉灵敏度以突破标准量子极限的重要手段.传统Fabry-Perot腔内驻波场结构导致的光与原子相互作用不均匀性,使得原子自旋压缩度在演化过程中逐渐衰退.本文研究一种面向原子干涉仪均匀QND测量的光学环形腔,分析环形腔内行波场结构对光与原子相互作用均匀性的影响,设计并研制了高精细度(F=2.4(1)×10~4)高真空兼容型光学环形腔,并测试了环形腔特性.在此基础上,制备88Sr冷原子系综并与环形腔模式耦合,通过环形腔差分测量方式提取原子经过腔模过程中对环形腔造成的色散相移,实现对原子数目的非破坏测量.实验结果表明在探测光功率为20μW条件下,测得环形腔色散相移为40 mrad,耦合进腔内原子数目约为1×10~5.调节原子与腔模位置匹配及探测光失谐量等参数,验证了环形腔色散相移与QND测量理论的一致性.本文研制的光学环形腔为原子干涉仪中自旋/动量压缩态的产生提供重要解决途径,有望进一步提升原子干涉灵敏度,并广泛应用于腔增强型量子精密测量中. 展开更多
关键词 光学环形腔 量子非破坏测量 自旋压缩 原子干涉
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应用于超高速流场电子密度分布测量的七通道微波干涉仪测量系统
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作者 马平 田径 +3 位作者 田得阳 张宁 吴明兴 唐璞 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2024年第17期138-150,共13页
高超声速飞行器在临近空间飞行时,由于飞行器与空气剧烈的相互作用,形成包含等离子体鞘套和尾迹的等离子体流场,研究其电子密度分布特性对高超声速飞行器的目标识别、测控通信等具有重要意义.地面模拟实验测量是研究等离子体包覆高超声... 高超声速飞行器在临近空间飞行时,由于飞行器与空气剧烈的相互作用,形成包含等离子体鞘套和尾迹的等离子体流场,研究其电子密度分布特性对高超声速飞行器的目标识别、测控通信等具有重要意义.地面模拟实验测量是研究等离子体包覆高超声速飞行器电磁散射特性的有效方法之一,为满足地面模拟实验瞬态等离子体流场电子密度分布的测量需求,本文提出了一种Ka波段七通道微波干涉仪测量系统研制方案.该系统采用单发七收的方式,利用单曲面透镜将波导开口天线辐射的电磁波转化为近似平面波,将7个平行且非对称排列的开口波导作为接收通道天线,缩减了接收天线的尺寸以及天线之间的距离,提高了测量的空间分辨率.基于七通道微波干涉仪测量系统在弹道靶和激波管设备开展了动态实验,测量了超高速流场电子密度二维分布,结果表明该系统具备瞬时大动态范围信号的接收能力,幅度线性动态范围优于65 dB,相位动态范围180°,响应时间优于1μs;所测量的超高速流场等离子体电子密度二维分布,能够较好地反映弹道靶设备与激波管设备产生的瞬态等离子体细节变化,电子密度测量动态范围为(10^(10)-10^(13))cm^(-3)量级,电子密度测量误差不超过0.5个数量级,径向空间分辨率优于15 mm. 展开更多
关键词 超高速流场 等离子体 微波干涉仪 电子密度 分布测量
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五轴数控机床旋转轴综合误差测量与辨识 被引量:1
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作者 杨桂娟 张岩 赵红美 《机械设计与制造》 北大核心 2024年第2期193-197,共5页
针对五轴数控机床旋转轴的运动误差和几何误差的综合评估问题,在不考虑直线轴运动误差影响的情况下,提出了一种采用R-test测量仪的测量及其辨识方法。首先,测量过程按照参考球的两种不同高度设置进行,仅移动旋转轴,而不移动直线轴。其次... 针对五轴数控机床旋转轴的运动误差和几何误差的综合评估问题,在不考虑直线轴运动误差影响的情况下,提出了一种采用R-test测量仪的测量及其辨识方法。首先,测量过程按照参考球的两种不同高度设置进行,仅移动旋转轴,而不移动直线轴。其次,利用R-test测量仪对旋转轴的运动精度进行了测量。此外,假设旋转轴位置几何误差和工作台上参考球的设置误差是影响测量结果的因素,并通过最小二乘法对这些因素进行分离。采用IBS公司的R-test测量仪,对米克朗公司UCP800Duro立式五轴加工中心C轴的运动误差和几何误差进行了测量实验。研究结果表明,该方法能够正确识别旋转轴的运动误差和几何误差,可以有效地综合评估旋转轴的运动精度,并有助于进一步提高旋转工作台的精度。 展开更多
关键词 五轴数控机床 旋转轴 运动误差 几何误差 R-test测量仪
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光栅干涉精密纳米测量技术 被引量:3
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作者 李星辉 崔璨 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第17期2591-2611,共21页
光栅干涉测量是一种重要的精密纳米测量技术,具有高分辨率、高抗干扰能力和多自由度扩展的优势,在先进节点光刻机、超精密机床等场景中发挥着至关重要的作用。对比介绍了光栅干涉、激光干涉与时栅测量技术,明确其应用场景和当前性能参数... 光栅干涉测量是一种重要的精密纳米测量技术,具有高分辨率、高抗干扰能力和多自由度扩展的优势,在先进节点光刻机、超精密机床等场景中发挥着至关重要的作用。对比介绍了光栅干涉、激光干涉与时栅测量技术,明确其应用场景和当前性能参数,阐述了光栅干涉测量中的零差和外差两种技术原理,并在此基础上分析了光栅干涉仪的国内外发展动态,包括代表性的设备厂商,和近年来国内外在纳米及亚纳米精度的单、多自由度系统方面的研究开发情况。进一步地,对光栅干涉测量的精度和误差进行了分析与讨论,介绍了误差来源、分类及针对性的补偿方法。最后,对光栅干涉仪的发展现状及未来前景进行了讨论,期望为光栅干涉仪系统的开发和优化提供参考。 展开更多
关键词 精密测量 纳米测量 光栅干涉仪 多自由度 误差补偿
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具有管状基准照明系统的斐索平面相移式干涉仪
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作者 龚柯安 付天坤 +3 位作者 何晨嵩 张成悌 付宁 李华 《中国测试》 CAS 北大核心 2024年第S01期106-109,共4页
本文利用具有F-P标准具的管状基准的等倾干涉原理,设计了两种具有管状基准照明系统的斐索平面相移式干涉仪。这两种干涉仪通过气泵来增压或者减压管状基准主体内的气压,从而改变管状基准内介质折射率,进一步改变参考光和测量光的光程差... 本文利用具有F-P标准具的管状基准的等倾干涉原理,设计了两种具有管状基准照明系统的斐索平面相移式干涉仪。这两种干涉仪通过气泵来增压或者减压管状基准主体内的气压,从而改变管状基准内介质折射率,进一步改变参考光和测量光的光程差,以此实现相移技术,完成对平晶平面度的测量。两种干涉仪分为立式和卧式,分别对应不同使用场景。相较于等倾干涉仪测量系统,本文设计的干涉仪系统改善了热交换的环境,测量点数增多,可给出被测平晶平面地形图;相较于利用压电陶瓷实现相移技术的菲索平面干涉仪,本文设计的干涉仪系统在测量中没有机械运动的移相,且造价更低,安全性更高。 展开更多
关键词 管状基准 斐索干涉仪 相移技术 平面度测量
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基于自适应极值的白光干涉信号解调算法研究
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作者 祖洪飞 陈宁 +3 位作者 郭钢祥 朱靖 张翔 陈章位 《轻工机械》 CAS 2024年第2期8-14,22,共8页
针对传统时域解调算法等光程点定位稳定性差、抗干扰能力弱,而频域解调算法效率低且部分方法受扫描采样步长限制等问题,课题组提出一种基于自适应极值的白光干涉解调算法。从干涉信号统计学规律出发,通过对干涉信号包络曲线加权平均,将... 针对传统时域解调算法等光程点定位稳定性差、抗干扰能力弱,而频域解调算法效率低且部分方法受扫描采样步长限制等问题,课题组提出一种基于自适应极值的白光干涉解调算法。从干涉信号统计学规律出发,通过对干涉信号包络曲线加权平均,将它修正为高斯型包络曲线;然后,通过对包络曲线高斯拟合插值得到等光程点,进而得到测量方向的深度信息以及三维形貌;最后,以高度为20μm标准台阶样块为测量对象进行多次实验。结果表明:与传统算法相比,课题组所提出算法的测量重复性和精度均有显著提升。该算法为白光干涉中信号解调提供了一种重复性更好、误差更小的方法。 展开更多
关键词 白光干涉测量系统 解调算法 自适应极值 高斯包络 干涉信号解调
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基于光学干涉原理的温度传感研究(特邀)
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作者 仇立强 杨策 +7 位作者 张临夏 刘琳 葛宪莹 陈萍萍 孙雨婷 赵昌迪 冉雪婷 倪亮 《光电技术应用》 2024年第1期46-52,共7页
提出一种基于光学干涉原理的温度传感器。通过在参考光路中引入单模光纤产生高斯光束;在测量光路中引入光纤光栅结构,使入射光通过光纤光栅、准直器产生平行的高斯光束,经螺旋相位板产生带有轨道角动量的拉盖尔-高斯光束,两束光将在合... 提出一种基于光学干涉原理的温度传感器。通过在参考光路中引入单模光纤产生高斯光束;在测量光路中引入光纤光栅结构,使入射光通过光纤光栅、准直器产生平行的高斯光束,经螺旋相位板产生带有轨道角动量的拉盖尔-高斯光束,两束光将在合束器上发生干涉,产生螺旋式干涉图像。在测量光路中引入光纤光栅结构,主要是利用光纤光栅的光延迟特性。当环境温度变化时,光在光纤光栅中的传播产生相位延迟,导致测量光路和参考光路之间相位差发生变化,使螺旋干涉图像发生旋转。通过高分辨率相机实时检测干涉图像的变化,并对干涉图像进行图像处理,准确提取干涉图像的变化信息。通过上述方法,使传感器的温度灵敏度达到4.08°/℃,这将在温度传感领域具有重要的应用价值。 展开更多
关键词 光学干涉原理 参考光路 测量光路 干涉图像 温度灵敏度
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Iterative physical optics method based on efficient occlusion judgment with bounding volume hierarchy technology
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作者 Yang Su Yu-Mao Wu Jun Hu 《Journal of Electronic Science and Technology》 EI CAS CSCD 2024年第1期1-12,共12页
This paper builds a binary tree for the target based on the bounding volume hierarchy technology,thereby achieving strict acceleration of the shadow judgment process and reducing the computational complexity from the ... This paper builds a binary tree for the target based on the bounding volume hierarchy technology,thereby achieving strict acceleration of the shadow judgment process and reducing the computational complexity from the original O(N^(3))to O(N^(2)logN).Numerical results show that the proposed method is more efficient than the traditional method.It is verified in multiple examples that the proposed method can complete the convergence of the current.Moreover,the proposed method avoids the error of judging the lit-shadow relationship based on the normal vector,which is beneficial to current iteration and convergence.Compared with the brute force method,the current method can improve the simulation efficiency by 2 orders of magnitude.The proposed method is more suitable for scattering problems in electrically large cavities and complex scenarios. 展开更多
关键词 Bounding volume hierarchy Cavity scattering Iterative physical optics(IPO)
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双路信号相位同步测量系统设计与实现 被引量:27
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作者 杜志广 颜树华 +2 位作者 林存宝 王国超 魏春华 《激光技术》 CAS CSCD 北大核心 2016年第3期315-319,共5页
为了实现2维外差干涉位移测量中信号相位的精确同步探测,采用整周期计数与脉冲填充相结合的方法,利用同一时钟基准,对双路信号进行同步检测与并行处理,设计并实现了一种基于现场可编程门阵列的双路外差干涉信号相位同步测量系统。该系统... 为了实现2维外差干涉位移测量中信号相位的精确同步探测,采用整周期计数与脉冲填充相结合的方法,利用同一时钟基准,对双路信号进行同步检测与并行处理,设计并实现了一种基于现场可编程门阵列的双路外差干涉信号相位同步测量系统。该系统在100k Hz载波频率下测量分辨率可以达到0.18°,双路信号下的相位同步测量误差同样为0.18°。结果表明,该系统实现了整小数相位的精确测量,确保了双路信号相位的实时同步探测,能够满足各种2维外差干涉位移测量系统对相位同步测量的需求。 展开更多
关键词 测量与计量 相位测量 双路同步 脉冲填充 外差干涉
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基于衍射光栅的干涉式精密位移测量系统 被引量:35
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作者 吕强 李文昊 +3 位作者 巴音贺希格 柏杨 刘兆武 王玮 《中国光学》 EI CAS CSCD 2017年第1期39-50,共12页
介绍了基于几何莫尔条纹原理和衍射干涉原理的两种光栅精密位移测量系统及各自的特点。综述了国内外对光栅干涉式精密位移测量系统的研究进展,总结了系统存在的关键问题及发展趋势。光栅干涉式精密位移测量系统的优点是对环境要求小,测... 介绍了基于几何莫尔条纹原理和衍射干涉原理的两种光栅精密位移测量系统及各自的特点。综述了国内外对光栅干涉式精密位移测量系统的研究进展,总结了系统存在的关键问题及发展趋势。光栅干涉式精密位移测量系统的优点是对环境要求小,测量分辨率和精度较高,结构紧凑,成本低。该系统需要解决的问题包括提高光栅以及光学元器件制造和安装精度;寻求一种更高精度的检测手段对光栅位移测量系统进行标定等。光栅干涉式精密位移测量系统的发展方向为更高测量分辨率和精度,大量程、多维度测量以及尺寸小巧。该系统在现代工业加工精密制造领域将具有更广阔的应用前景。 展开更多
关键词 位移测量 光栅 衍射干涉 高精度
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全光纤Mach-Zehnder干涉仪及其在光纤自发布里渊散射测量中的应用 被引量:16
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作者 何玉钧 李永倩 +2 位作者 杨志 尹成群 芳野俊彦 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第7期865-869,共5页
从理论上分析了全光纤 Mach- Zehnder干涉仪的分光原理 ,并将所研制的全光纤单通Mach- Zehnder干涉仪和双通 Mach- Zehnder干涉仪应用于自发布里渊散射光谱的测量 。
关键词 全光纤MACH-ZEHNDER干涉仪 布里渊散射 瑞利散射 自由程 分光原理 光谱测量
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超精密外差利特罗式光栅干涉仪位移测量系统 被引量:18
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作者 王磊杰 张鸣 +2 位作者 朱煜 鲁森 杨开明 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第12期2975-2985,共11页
开展了扫描干涉光刻机工作台超精密位移测量的实验研究,以提高扫描干涉光刻机的环境鲁棒性。针对扫描干涉光刻机工作台位移测量精度,提出了新型高环境鲁棒性外差利特罗式光栅干涉仪测量系统。介绍了系统测量原理,设计了测量系统,提出了... 开展了扫描干涉光刻机工作台超精密位移测量的实验研究,以提高扫描干涉光刻机的环境鲁棒性。针对扫描干涉光刻机工作台位移测量精度,提出了新型高环境鲁棒性外差利特罗式光栅干涉仪测量系统。介绍了系统测量原理,设计了测量系统,提出了基于Elden公式的系统死程误差建模方法。设计制造了尺寸仅为48mm×48mm×18mm的光栅干涉仪。基于误差模型计算了死程误差,计算结果表明:对于1.52mm死程的光栅干涉仪,宽松的环境波动指标(温度波动为0.01℃、压力梯度为±7.5Pa、相对湿度波动为1.5%、CO2含量波动为±50×10-6)仅引起±0.05nm的死程误差。最后,设计了基于商用双频激光平面镜干涉仪的测量比对系统,开展了光栅干涉仪原理验证实验和测并量稳定性实验。原理验证实验表明:光栅干涉仪原理正确且系统分辨率达0.41nm。测量稳定性实验表明:常规实验室环境下,环境波动引起的死程误差为7.59nm(3σ)@<0.9Hz&1~10Hz,优于同等环境条件下平面镜干涉仪的31.11nm(3σ)@<0.9Hz&1~10Hz。实验结果显示系统具有很高的环境鲁棒性。 展开更多
关键词 扫描干涉光刻 位移测量 光栅干涉仪 外差干涉仪 环境鲁棒性
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双频激光干涉仪技术现状与发展 被引量:50
16
作者 所睿 范志军 +1 位作者 李岩 张书练 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2004年第4期251-253,共3页
文章概述了国内外双频激光干涉仪产品的现状,介绍了近年来双频激光干涉仪向高分辨率、高精度、高测速等几个方向的发展趋势。
关键词 双频激光干涉仪 外差干涉 分辨率 发展趋势
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干涉光谱仪动镜倾斜误差容限分析 被引量:25
17
作者 相里斌 杨建峰 +1 位作者 高瞻 刘改霞 《光子学报》 EI CAS CSCD 1997年第2期132-135,共4页
本文从调制度和相位误差角度,系统分析了双光束干涉光谱仪中,当光束孔径为圆形和矩形时,动镜运动过程中发生倾斜的影响,讨论了动镜倾斜容限以及减小动镜倾斜误差的方法.
关键词 干涉 光谱仪 动镜倾斜 调制度
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微小球面曲率半径的测量研究 被引量:23
18
作者 徐永祥 陈磊 +1 位作者 朱日宏 李新华 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第9期1159-1162,共4页
验证了测量平面面形误差的重叠四步平均算法(OAF)应用于测量微小球面曲率半径的可行性。采用Linnik显微移相干涉装置,测量了光纤连接器端面的曲率半径,给出了测量数据及处理结果;通过对已知曲率半径的标准微小凸球面样板的测量,得到相... 验证了测量平面面形误差的重叠四步平均算法(OAF)应用于测量微小球面曲率半径的可行性。采用Linnik显微移相干涉装置,测量了光纤连接器端面的曲率半径,给出了测量数据及处理结果;通过对已知曲率半径的标准微小凸球面样板的测量,得到相对误差为0.093%。同时,从理论上对OAF和其他算法对PZT位移误差的抑制能力作了分析比较。结果表明,OAF算法可用于微小球面曲率半径的测量,且相对于其他算法而言,其对PZT位移误差具有更强的抑制能力。 展开更多
关键词 显微干涉 移相干涉术 算法 曲率半径 光纤连接器
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用Zernike多项式进行波面拟合的几种算法 被引量:62
19
作者 鄢静舟 雷凡 +1 位作者 周必方 高志强 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 1999年第5期119-128,共10页
介绍了几种实现波面Zernike 多项式拟合的常用算法。为避免因直接构造法方程组而引入计算误差,这些方法归结为两种思路:一是从基底函数系入手,通过变换函数族的基底来改善法方程组状态;二是直接从矛盾方程组入手,应用Ho... 介绍了几种实现波面Zernike 多项式拟合的常用算法。为避免因直接构造法方程组而引入计算误差,这些方法归结为两种思路:一是从基底函数系入手,通过变换函数族的基底来改善法方程组状态;二是直接从矛盾方程组入手,应用Householder变换把系数矩阵正交三角化,直接求解拟合系数。特别是第二种方法由本文第一次提出,它避免了构造法方程组,从而避免了以前的方法因构造的法方程组出现严重病态而引入的计算误差,并且易于编程,因而是一种比较理想的实现Zernike 多项式拟合的算法。 展开更多
关键词 波面拟合 ZERNIKE多项式 算法
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自混合干涉微位移传感器 被引量:12
20
作者 王鸣 聂守平 +1 位作者 李明 李达成 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第4期428-431,共4页
有许多测量微位移的光干涉方法 ,然而难以实现结构紧凑、价格低的测量系统 ,因为这些传统干涉方法都需要许多光学元器件。提出用激光自混合干涉术测量微位移 ,分析和讨论了自混合干涉信号的产生和处理方法 ,用快速傅立叶变换(FFT)相位... 有许多测量微位移的光干涉方法 ,然而难以实现结构紧凑、价格低的测量系统 ,因为这些传统干涉方法都需要许多光学元器件。提出用激光自混合干涉术测量微位移 ,分析和讨论了自混合干涉信号的产生和处理方法 ,用快速傅立叶变换(FFT)相位探测技术分析自混合干涉信号 ,可提高相位测量精度。提出的传感器可以用于亚微米级位移的测量和控制 ,并给出了 展开更多
关键词 自混合干涉 信号 光学元器件 FFT 微位移 快速傅立叶变换 相位测量 传感器 紧凑 测量系统
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