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干涉图自动实时分析中的计算机图像处理技术 被引量：5
1
作者 鄢静舟 雷凡 +2 位作者 孙厚环 鄢然 周必方 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2000年第3期276-279,共4页
本文介绍了一种用于计算全息数字波面干涉仪中的自动分析计算全息检测所得干涉图的方法。它采用一系列计算机图像处理技术实现了干涉图条纹数据的准确、实时采集 。
关键词 干涉图 计算全息 计算机图像处理 干涉仪
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外腔半导体激光器在微振动测量中的应用 被引量：2
2
作者 江鹏飞 谢福增 《中北大学学报（自然科学版）》 EI CAS 2007年第1期46-48,共3页
基于外腔半导体激光器(ECSL)良好的相干特性,采用Littrow自准直外腔方式进行了实验,得到了良好的线宽和稳定的功率,验证了外腔半导体激光器运用于纳米级光学测量和微振动测量的可行性;提出了解决外界扰动的反馈光路方案,能够有效滤除环... 基于外腔半导体激光器(ECSL)良好的相干特性,采用Littrow自准直外腔方式进行了实验,得到了良好的线宽和稳定的功率,验证了外腔半导体激光器运用于纳米级光学测量和微振动测量的可行性;提出了解决外界扰动的反馈光路方案,能够有效滤除环境振动和噪声干扰,提高了振动测量系统在现实环境中的适应能力. 展开更多
关键词 微振动测量 反馈控制 外腔半导体激光器 窄线宽
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自动椭偏测厚仪测量精确度的实验研究 被引量：3
3
作者 黄佐华 何振江 +1 位作者 杨冠玲 傅强 《机电工程技术》 2004年第4期18-20,共3页
根据椭偏消光法和光度法原理,研制成功一台消光法和光度法兼容的自动椭偏测厚仪。本文介绍椭偏光度法的测量原理和仪器的测量过程及方法,并详细给出仪器测量精确度的实验研究结果。
关键词 椭偏仪 消光法 光度法 膜厚 精确度
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基于数值模拟的高准确度五步相移算法研究 被引量：16
4
作者 罗志勇 陈朝晖 +1 位作者 顾英姿 陈允昌 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第11期1687-1690,共4页
传统五步算法具有很好的准确度,但必须满足测量中无法实现的等步长相移条件,这在实际测量中无法使用。为此在双光束干涉原理的基础上,提出了一种改进型的五步算法,实现了在10 nm范围内任意步长的算法高准确度。通过数值模拟,结果表明:对... 传统五步算法具有很好的准确度,但必须满足测量中无法实现的等步长相移条件,这在实际测量中无法使用。为此在双光束干涉原理的基础上,提出了一种改进型的五步算法,实现了在10 nm范围内任意步长的算法高准确度。通过数值模拟,结果表明:对于1 nm的步长测量误差、0.1%的信号测量误差,改进型五步算法的算法准确度优于0.001个相位周期,而且不需要等步长相移控制。改进型五步算法不仅技术上更易于实现,其结果也更加可靠,对于指导精密测长的实验和研究工作具有十分重要的意义。 展开更多
关键词 光学测量 相移算法 五步算法 精密测长 相位误差
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精密干涉测量中余弦依赖算法的误差研究 被引量：12
5
作者 罗志勇 杨丽峰 陈允昌 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第12期1629-1633,共5页
针对相移算法中以双光束干涉为基础的余弦依赖算法的算法误差,以菲佐干涉仪精密测长为应用背景进行了研究。利用干涉光学的基本原理导出了在多束光干涉(经光学面多次反射、透射)的情况下干涉光强随相位分布的精确公式;通过数值分析得出... 针对相移算法中以双光束干涉为基础的余弦依赖算法的算法误差,以菲佐干涉仪精密测长为应用背景进行了研究。利用干涉光学的基本原理导出了在多束光干涉(经光学面多次反射、透射)的情况下干涉光强随相位分布的精确公式;通过数值分析得出了在给定参量条件下忽略次级反射光所引入的光强误差达到14.4%;对余弦依赖算法所引起的光强误差分别就四步算法、五步算法得出了不同的依赖关系:由于四步算法比五步算法对光强误差更为敏感,因而五步算法具有更高的准确度;对于两个反射面均具有较高反射率的情况,必须考虑算法误差;当测长准确度要求不太高时,在两个或至少其中一个反射面反射率较低的情况下可以忽略算法误差的影响。 展开更多
关键词 光学测量 精密测长 多光束干涉 相移算法 余弦依赖
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一种机械扫描式精密相移测长方法
6
作者 罗志勇 顾英姿 陈朝晖 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第11期115-119,共5页
以相移干涉测长为应用背景,提出了一种基于"机械扫描"的相移测长方法。利用超高弹性石英材料研制出了干涉测长所需的单体3路相移装置,并利用该相移装置建成了相移测长装置,成功地将位移传感器的量值在线溯源到光学频率标准,... 以相移干涉测长为应用背景,提出了一种基于"机械扫描"的相移测长方法。利用超高弹性石英材料研制出了干涉测长所需的单体3路相移装置,并利用该相移装置建成了相移测长装置,成功地将位移传感器的量值在线溯源到光学频率标准,从而实现了对3路相移的准确测量。介绍了一种引入步长控制误差的"新五幅相移"实现相位解算方法,算法准确度达到0.01%。对不确定度的定量分析结果表明,基于该机械扫描式相移技术构建的绝对长度测量系统准确度可达0.5nm。 展开更多
关键词 测量 相移干涉法 长度测量方法 光学设计 压电传感器 标准具
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偏光棱镜调制器调制光强扰动的理论分析 被引量：8
7
作者 李红霞 吴福全 范吉阳 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第12期1456-1459,共4页
以格兰泰勒棱镜为例 ,根据实验现象对透射光强随旋转角扰动的原因进行了理论分析。实验中发现 ,透射光强曲线随着入射角的微小变化而偏离马吕斯定律 ,出现了周期性扰动。通过格兰泰勒棱镜的单色偏振光束产生的干涉 ,再加上晶体空气隙界... 以格兰泰勒棱镜为例 ,根据实验现象对透射光强随旋转角扰动的原因进行了理论分析。实验中发现 ,透射光强曲线随着入射角的微小变化而偏离马吕斯定律 ,出现了周期性扰动。通过格兰泰勒棱镜的单色偏振光束产生的干涉 ,再加上晶体空气隙界面处反射比的因素 ,使得出射光强依赖于入射角。引入了扰动因子的概念 ,并系统讨论了扰动因子所造成的影响 ,从而得出了减小扰动的方法。理论研究结果与实验符合较好。为偏光棱镜的优化设计。 展开更多
关键词 偏光棱镜 干涉效应 光强调制 扰动现象 物理光学 光谱精细结构 干涉测量
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