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液晶可调电容器的研究 被引量:7
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作者 崔文静 邢红玉 +1 位作者 叶文江 张志东 《液晶与显示》 CAS CSCD 北大核心 2013年第2期173-178,共6页
在外加电压作用下,液晶的有效介电常数会发生变化,导致液晶盒电容的改变,由于液晶盒本身可以看作是一个电容器,因此随着外加电压的不同其电容是可调的。基于液晶弹性理论和变分原理,理论推导强锚泊平行排列和混合排列向列相液晶盒电容... 在外加电压作用下,液晶的有效介电常数会发生变化,导致液晶盒电容的改变,由于液晶盒本身可以看作是一个电容器,因此随着外加电压的不同其电容是可调的。基于液晶弹性理论和变分原理,理论推导强锚泊平行排列和混合排列向列相液晶盒电容的解析表达式,数值模拟得到了液晶盒的电容-电压曲线。通过数据分析,两种液晶盒的电容特性存在一定的区别,尤其在较低电压时为了获得较大范围的可调液晶电容器,平行排列盒选择弹性常数κ较小且介电各向异性γ较大的液晶材料;而混合排列盒选择弹性常数κ较大且介电各向异性γ较大的液晶材料。高压时两盒的选择是一致的。 展开更多
关键词 液晶可调电容器 有效介电常数 平行排列向列相 混合排列向列相
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用于射频领域的高调节范围MEMS压控电容 被引量:6
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作者 梁雪冬 刘泽文 +1 位作者 刘理天 李志坚 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2003年第3期252-254,共3页
在分析了传统平行极板MEMS压控电容的基础上,提出了一种新型的高调节范围MEMS压控电容。与传统的平行极板电容不同的是,它由三对极板构成。其中一对是起电容作用的极板,另外两对是控制极板。交流信号通过电容极板传输,而直流控制电压施... 在分析了传统平行极板MEMS压控电容的基础上,提出了一种新型的高调节范围MEMS压控电容。与传统的平行极板电容不同的是,它由三对极板构成。其中一对是起电容作用的极板,另外两对是控制极板。交流信号通过电容极板传输,而直流控制电压施加在控制极板上。使用有限元分析软件Ansys对该电容进行了模拟,得出其调节范围达214%,大大超出了传统的平行极板电容在调节范围上的自然限制(50%)。另外,设计了该电容的工艺流程。其工艺流程较简单,很容易集成在标准的RF电路中。 展开更多
关键词 MEMS压控电容 崩塌效应 控制极板 悬臂梁 牺牲层
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两侧下拉电极MEMS压控电容的分析和优化 被引量:3
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作者 刘泽文 韦嘉 +3 位作者 王昱 方杰 刘理天 李志坚 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第2期135-143,共9页
基于能量法对两侧下拉电极控制(SPEC)的MEMS(微机电系统)压控电容进行了分析和优化。使用数值迭代方法计算了压控电容可动极板的挠度试解函数,得到了试解函数形状在不同驱动电压下的曲线。计算结果与有限元仿真所得结果一致。在此基础上... 基于能量法对两侧下拉电极控制(SPEC)的MEMS(微机电系统)压控电容进行了分析和优化。使用数值迭代方法计算了压控电容可动极板的挠度试解函数,得到了试解函数形状在不同驱动电压下的曲线。计算结果与有限元仿真所得结果一致。在此基础上,给出了基于铝材料的两侧下拉电极MEMS压控电容的优化过程,得到了优化结果。对于初始应力5 MPa,杨式模量70 GPa,极板厚度1.5μm,极板间距1μm,总长度为600μm的铝材料压控电容,控制电极采用70μm的优化长度,可以实现变化比率为2∶1电容变化比率。结果表明采用(SPEC)结构的压控电容,能有效地减小或避免静电微机械结构特有的“崩塌”效应,获得较大的电容调节范围。 展开更多
关键词 压控电容 微机电系统 能量法
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平板式可变电容器宏建模及其在MEMS设计中的应用实例 被引量:2
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作者 何洋 霍鹏飞 +2 位作者 马炳和 苑伟政 姜澄宇 《机械科学与技术》 CSCD 北大核心 2005年第6期754-756,共3页
平板式可变电容器是MEMS重要的机电耦合部件,建立其宏模型是MEMS系统级快速仿真的迫切需求。本文采用解析法在三维空间内建立了可描述活动极板六自由度运动的宏模型,并以MAST为模型编码语言实现了其多端口参数化组件模型。在SABER仿真... 平板式可变电容器是MEMS重要的机电耦合部件,建立其宏模型是MEMS系统级快速仿真的迫切需求。本文采用解析法在三维空间内建立了可描述活动极板六自由度运动的宏模型,并以MAST为模型编码语言实现了其多端口参数化组件模型。在SABER仿真平台上构建了电容检测式微加速度计系统级模型,时域仿真结果表明使用该系统级模型能够快速进行有限元分析软件难以实现的复杂机电耦合系统时域行为分析。 展开更多
关键词 平板式可变电容器 宏建模 微加速度计
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一种射频微机械可变电容的设计与优化 被引量:1
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作者 李丽 赵正平 +1 位作者 张志国 吕苗 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第z1期240-242,共3页
提出了一种高Q值、宽调节范围的凹型结构微机械可变电容.它由4个(3对)极板构成,其中一对为电容极板,另外两对为控制极板.RF信号通过电容极板传输,而直流控制电压则施加在控制极板上.使用HFSS软件对该电容进行了结构仿真及优化,得到最大... 提出了一种高Q值、宽调节范围的凹型结构微机械可变电容.它由4个(3对)极板构成,其中一对为电容极板,另外两对为控制极板.RF信号通过电容极板传输,而直流控制电压则施加在控制极板上.使用HFSS软件对该电容进行了结构仿真及优化,得到最大Q值为171(1.6GHz).结构优化后,调节范围为15.6,并设计了该电容的工艺流程,具有工艺简单、易与标准的IC电路集成等优点. 展开更多
关键词 射频微机械 可变电容 高Q值 宽调节范围
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高调节范围RFMEMS压控电容的设计与模拟 被引量:1
6
作者 梁雪冬 刘泽文 +1 位作者 刘理天 李志坚 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第B05期179-182,共4页
对传统平行极板MEMS压控电容的局限性进行了理论分析,提出了一种新型的高调节范围MEMS压控电容,它的特点在于使用了三对极板,其中的一对是电容极板,另外两对是控制极板,电容极板用于传输交流信号,而直流控制电压施加在控制极板上... 对传统平行极板MEMS压控电容的局限性进行了理论分析,提出了一种新型的高调节范围MEMS压控电容,它的特点在于使用了三对极板,其中的一对是电容极板,另外两对是控制极板,电容极板用于传输交流信号,而直流控制电压施加在控制极板上,使用有限元分析软件Ansys对其进行了建模与仿真,得出其调节范围高达214%,大大超出了传统的平板电容在调节范围上的自然限制(50%),设计了该电容的工艺流程,其工艺流程比较简单,很容易集成在标准的CMOS集成电路中。 展开更多
关键词 MEMS压控电容 崩塌效应 牺牲层 聚酰亚胺
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电容式二维加速度传感器的研究 被引量:1
7
作者 张佳旗 周敬然 +1 位作者 孙长轮 刘彩霞 《长春理工大学学报(自然科学版)》 2009年第1期99-101,共3页
根据差分电容原理可以设计二维加速度传感器,可以测量出二维空间里加速度的大小和方向。理论上由牛顿定律、弹簧的弹性定律和平行板电容原理的分析,得到了加速度与测量参数的分析公式,并给出了计算结果。
关键词 加速度传感器 弹性定律 平行板电容
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变间隙式电容传感器的非线性补偿
8
作者 张荣英 陈海燕 李磊 《邢台职业技术学院学报》 2009年第3期54-56,共3页
变间隙式电容传感器输出电容与输入距离之间为非线性关系,通过几种测量电路的处理后,这种非线性即可得到消除,使得输入与输出之间具备了线性关系,方便了问题的处理。
关键词 传感器 电容 变间隙 非线性
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混合排列向列相液晶盒电容特性研究 被引量:9
9
作者 崔文静 邢红玉 +2 位作者 张艳君 叶文江 张志东 《液晶与显示》 CAS CSCD 北大核心 2012年第5期608-612,共5页
基于液晶弹性理论和变分原理,研究了强锚泊混合排列向列相液晶盒的电容特性,同时考虑了液晶挠曲电特性的影响。通过Matlab软件数值模拟得到了不同挠曲电系数下电压-电容曲线,当挠曲电系数和e11+e33≥0时,电容随电压线性增加;当e11+e33&l... 基于液晶弹性理论和变分原理,研究了强锚泊混合排列向列相液晶盒的电容特性,同时考虑了液晶挠曲电特性的影响。通过Matlab软件数值模拟得到了不同挠曲电系数下电压-电容曲线,当挠曲电系数和e11+e33≥0时,电容随电压线性增加;当e11+e33<0时,电容随电压的增加先减小后增大。并且,随挠曲电系数绝对值的增加,挠曲电效应对电容的影响亦将增大。 展开更多
关键词 电容特性 混合排列向列相 挠曲电特性 强锚泊
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微胶囊化石墨烯/硅橡胶泡沫电介质材料的制备及介电行为 被引量:3
10
作者 刘聪 邓佳明 +3 位作者 刘海东 谭良源 阿拉木斯 李谦 《塑料工业》 CAS CSCD 北大核心 2021年第3期149-153,共5页
以苯乙烯马来酸酐共聚物(SMA)为乳化剂、三聚氰胺甲醛树脂(密胺树脂,MF)为壁材、片状石墨烯(GE)为芯材,通过原位聚合法制备了包覆的石墨烯“微胶囊”,并以微胶囊作为填料,双组分室温硫化泡沫硅橡胶(RTVSR)作为基体,通过室温硫化(RTV)硅... 以苯乙烯马来酸酐共聚物(SMA)为乳化剂、三聚氰胺甲醛树脂(密胺树脂,MF)为壁材、片状石墨烯(GE)为芯材,通过原位聚合法制备了包覆的石墨烯“微胶囊”,并以微胶囊作为填料,双组分室温硫化泡沫硅橡胶(RTVSR)作为基体,通过室温硫化(RTV)硅橡胶制备具有泡孔结构的电介质复合材料。提出了对石墨烯进行微胶囊化包覆的制备新工艺,讨论了超声分散功率、石墨烯与壁材的用量比例对微胶囊形貌和包覆效果的影响,并比较了包覆前后、发泡前后电介质复合材料的介电性能。研究结果表明,石墨烯与壁材质量比为1∶100、超声功率为840 W时制备的分散液较稳定、石墨烯的表面附着物较多;同时包覆(微胶囊化)能减少石墨烯发生团聚,0.3 g微胶囊填量下,包覆后的微胶囊石墨烯/泡沫电介质材料的介电常数是包覆前石墨烯/硅橡胶电介质材料的2.45倍,而介电损耗比石墨烯/硅橡胶复合材料还低,只有0.002,同时泡孔的存在有利于提升复合材料的介电性能。 展开更多
关键词 石墨烯 苯乙烯马来酸酐共聚物 密胺树脂 微胶囊 介电性能 渗流阈值 隧道效应
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X波段MEMS可变电容的设计与制作
11
作者 李倩 胡小东 李丽 《微纳电子技术》 CAS 2008年第6期347-350,355,共5页
对一种适合于X波段通信系统的RF MEMS可变电容进行了结构设计和工艺实现。该电容用高阻硅作为衬底材料,采用凹形和T形梁结构,整个结构由金材料组成;静电驱动,采用驱动信号与微波信号分离的方法。用有限元分析软件Ansys对该电容进行了模... 对一种适合于X波段通信系统的RF MEMS可变电容进行了结构设计和工艺实现。该电容用高阻硅作为衬底材料,采用凹形和T形梁结构,整个结构由金材料组成;静电驱动,采用驱动信号与微波信号分离的方法。用有限元分析软件Ansys对该电容进行了模拟,随着驱动电压的变化,电容上极板产生位移变化,电容值相应地发生变化;设计了相应的工艺流程,实现了X波段MEMS可变电容的工艺制作和测试,该工艺与集成电路工艺兼容。S参数测试结果表明,在9GHz时Q值可达32.5,电容调节范围为28.8%。 展开更多
关键词 可变电容 压控振荡器 Q值 静电力 射频微机电系统
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一种可以实现快速检测的微振荡型PCR芯片
12
作者 罗蓉 徐爱东 +1 位作者 王玮 吕苗 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第z1期88-90,共3页
介绍了一种利用MEMS技术制作的微振荡型PCR芯片.与常规PCR产品相比,具有快速、微量和低耗等优点.设计了该芯片的工艺流程并进行了投片,通过实验成功验证了该器件的可行性.
关键词 MEMS 微通道 EPW腐蚀
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VB_(2)/SiO_(2)/PVDF复合材料压电薄膜的性能研究
13
作者 苏瑞 袁卫锋 +1 位作者 刘海东 李谦 《塑料工业》 CAS CSCD 北大核心 2021年第5期161-166,共6页
介绍了维生素B_(2)/二氧化硅/聚偏氟乙烯(VB_(2)/SiO_(2)/PVDF)复合材料薄膜的制备工艺和压电性能。研究发现,在PVDF溶液中添加VB_(2)粉末和纳米SiO_(2)颗粒,通过蒸发结晶制备成膜,采用高倍率单轴拉伸和高压极化的方法可增加复合材料中... 介绍了维生素B_(2)/二氧化硅/聚偏氟乙烯(VB_(2)/SiO_(2)/PVDF)复合材料薄膜的制备工艺和压电性能。研究发现,在PVDF溶液中添加VB_(2)粉末和纳米SiO_(2)颗粒,通过蒸发结晶制备成膜,采用高倍率单轴拉伸和高压极化的方法可增加复合材料中β相的含量,从而提高复合材料的压电性能。研究中分别使用扫描电子显微镜(SEM)、X射线衍射仪(XRD)、傅里叶红外光谱仪(FTIR)等方法对VB_(2)/SiO_(2)/PVDF薄膜进行测试,并基于悬臂梁振动平台对压电复合薄膜的性能进行了测试,分析了VB_(2)和SiO_(2)不同含量组合和悬臂梁振幅对开路电压的影响。结果表明,VB_(2)和SiO_(2)的含量同时为1%和1%时,复合材料薄膜的压电性能最优,其在1000μ应变下可产生1.52 V的峰-峰值电压。 展开更多
关键词 聚偏氟乙烯 压电性 维生素B_(2) 复合材料 小能量采集
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本质安全型防爆摄像仪的研发和应用 被引量:1
14
作者 童建斌 《液晶与显示》 CAS CSCD 北大核心 2016年第2期215-221,共7页
高清4G公网防爆摄像仪系统是为石油化工等高危防爆环境研制的便携移动防爆摄像系统。如何在高清4G模块高发射功率、多储能元件的前提下实现设备的总体防爆指标以满足国家标准是本文解决的重点问题。基于防爆理论,通过提高设备防爆电容... 高清4G公网防爆摄像仪系统是为石油化工等高危防爆环境研制的便携移动防爆摄像系统。如何在高清4G模块高发射功率、多储能元件的前提下实现设备的总体防爆指标以满足国家标准是本文解决的重点问题。基于防爆理论,通过提高设备防爆电容设计门限和降低电路容值设计的电容管理手段,对整体设备的储能元件进行了极限防爆限制,优化设计了4G-LTE无线摄像模块的最低储能电容解决方案;利用双半波振子天线列阵技术实现天线设备的发射功率限制硬件保护,采用软件保护手段实现双重防爆保护,从设计原理上保证了研发的高清4G摄像仪满足《GB 3836.1-2000》防爆要求。在保证防爆性能和设备功能的前提下,设备电容容量降低了50%,设备远场电场强度9%。 展开更多
关键词 无线摄像仪 基本电容电路 储能电容设计 双半波振子天线列阵
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MEMS可变电容的研究现状及进展 被引量:3
15
作者 李玲玉 童富 +2 位作者 杨月寒 赵建明 刘海文 《微纳电子技术》 CAS 2008年第5期287-292,共6页
介绍了微机电系统(MEMS)技术以及MEMS可变电容器,基于MEMS的可变电容具有高Q值、低损耗、宽调节范围和低噪声等优点,阐述了MEMS可变电容器设计的基本原理,列举了现有的几种典型结构模型。通过指定频率下Q值及调谐范围的具体数值,比较不... 介绍了微机电系统(MEMS)技术以及MEMS可变电容器,基于MEMS的可变电容具有高Q值、低损耗、宽调节范围和低噪声等优点,阐述了MEMS可变电容器设计的基本原理,列举了现有的几种典型结构模型。通过指定频率下Q值及调谐范围的具体数值,比较不同结构的MEMS可变电容的特点,展望了MEMS可变电容的发展并得出结论。 展开更多
关键词 平行板可变电容 面积调谐可变电容 微机电系统(MEMS) Q值 调谐范围 射频
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AP14可调电容器瞬间短路的典型失效案例分析
16
作者 陈雁 张延伟 《材料工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第z1期176-177,180,共3页
通过一例AP14可调电容器在整机振动试验中出现瞬间短路的失效分析案例,发现了该类电容器在结构上存在着不可靠的因素.这类电容器对生产工艺控制有较高的要求,如装配工艺稍微出现偏差就会出现这种瞬间短路的失效模式.对这类失效模式研究... 通过一例AP14可调电容器在整机振动试验中出现瞬间短路的失效分析案例,发现了该类电容器在结构上存在着不可靠的因素.这类电容器对生产工艺控制有较高的要求,如装配工艺稍微出现偏差就会出现这种瞬间短路的失效模式.对这类失效模式研究提出了在质量控制上的针对性措施和使用中要注意的问题. 展开更多
关键词 可调电容器 失效分析 可靠性
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差容可变电容器同步跟踪测量方法探讨
17
作者 方沛然 《电子元件与材料》 CAS CSCD 2000年第4期10-12,共3页
对接收机用调谐元件差容可变电容器同步跟踪测量误差进行定量分析 ,提出减少测量误差的等效 EI法的测量方法。
关键词 差容可变电容器 同步跟踪 测量方法 调谐元件
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薄膜介质可变电容器止端力矩的设计与分析
18
作者 赵永安 《电子元件与材料》 CAS CSCD 1990年第5期32-33,共2页
薄膜介质可变电容器在收音机、收录机中占据着很重要的位置,它的质量好坏直接影响着整机的声誉。薄膜介质可变电容器在收音机、收录机中是常动元件,在选择电台的调谐过程中使用者常常由一个止端旋到另一止端。
关键词 薄膜介质 可变电容器 止端力矩
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解决薄膜介质四联可变电容器损耗大的方法
19
作者 姜群 《电子元件与材料》 CAS CSCD 1989年第5期60-61,共2页
我厂是生产薄膜介质可变电容器专业工厂,1983年,由于铜材供应紧张,以铝代铜提到生产议事日程。薄膜介质可变电容器设计上惯用铜材作可变电容器的极片(动片、槽片、定片垫圈等零件)。我们把这些零件,都改为铝材制作。经过试制到小批量生... 我厂是生产薄膜介质可变电容器专业工厂,1983年,由于铜材供应紧张,以铝代铜提到生产议事日程。薄膜介质可变电容器设计上惯用铜材作可变电容器的极片(动片、槽片、定片垫圈等零件)。我们把这些零件,都改为铝材制作。经过试制到小批量生产,大批量生产。产品发到整机厂,在使用中发现产品损耗大,甚至在高端有停振现象。针对用户提出这一实际问题,从电容器结构上找原因,并参考了有关资料。现将如何解决薄膜介质四联可变电容器损耗大的问题,叙述如下: 展开更多
关键词 薄膜介质 可变电容器
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液晶盒的电容特性 被引量:1
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作者 刘晓芳 崔文静 +2 位作者 邢红玉 叶文江 张志东 《现代显示》 2012年第8期25-28,共4页
液晶盒外加一定的电压,会改变液晶分子的取向排列,这样液晶层的有效介电常数也会随之发生改变。如果把液晶盒看作一个电容器,其电容也会有所改变。本论文理论研究强锚泊混合排列向列相液晶盒的电容特性,基于液晶弹性理论和变分原理,理... 液晶盒外加一定的电压,会改变液晶分子的取向排列,这样液晶层的有效介电常数也会随之发生改变。如果把液晶盒看作一个电容器,其电容也会有所改变。本论文理论研究强锚泊混合排列向列相液晶盒的电容特性,基于液晶弹性理论和变分原理,理论推导液晶盒系统的平衡态方程及电容的解析表达式,通过Matlab软件数值模拟了此液晶盒的电容-电压曲线和指向矢分布曲线,并对其电容特性进行了分析。 展开更多
关键词 电容特性 混合排列向列相 有效介电常数
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