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题名高精度温控系统中的差值检测及参数自整定
被引量：5
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作者
施敏芳
吕俊白
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机构
华侨大学机电工程系
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出处
《自动化仪表》
CAS
北大核心
1999年第1期9-11,共3页
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文摘
介绍一个由8098单片机及若干外围芯片组成的单晶炉温度控制系统的设计和实现方法.着重讨论了系统实现宽范围高精度的温度检测方法及PID参数自整定的软件设计思想.试验结果表明,控温精度可达±0.5℃.
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关键词
温度控制
单晶炉
差值检测
参数自整定
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Keywords
Temperature control Furnace of monocrystal Single chip computer Detection of value difference PID control Selftuning
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分类号
TM924.73
[电气工程—电力电子与电力传动]
TP273
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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题名单晶炉拉伸控制器
- 2
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作者
黄俊
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出处
《电子与自动化仪表信息》
1991年第4期32-34,共3页
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关键词
单晶炉
拉伸
控制器
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分类号
TM924.73
[电气工程—电力电子与电力传动]
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题名TDG-28型大直径区熔单晶炉
- 3
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作者
盛耀昌
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机构
东风电机厂
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出处
《电炉》
1990年第3期1-4,共4页
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文摘
介绍TDG-28型大直径区熔单晶炉的特点和主要技术指标及性能。该设备在一定的工艺条件下可以稳定生产直径为φ75～100mm的高阻率无位错单晶硅;由于采用铸铁件结构使该炉具有一定的防震能力,不需要庞大的减震基座;在国内首次使用晶体夹持机构和伸缩炉体;采用可控硅调压装置,使高频振荡器输出功率稳定性好,效率高。
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关键词
单晶炉
区熔
结构
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分类号
TM924.73
[电气工程—电力电子与电力传动]
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题名大直径锗单晶制备工艺研究及其指标分析
被引量：2
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作者
李宝学
赵燕
罗玉萍
孙吉单
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机构
昆明云锗高新技术有限公司
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出处
《云南冶金》
2016年第6期50-52,共3页
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基金
昆明市科技计划项目
大直径(300-320mm)红外级锗单晶产品开发(编号:2015-1-H-00583)
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文摘
采用直拉法(Czochralski method)生成了直径为100 mm、200 mm和300 mm的N型红外用锗单晶,研究了拉晶工艺参数对拉晶的影响,讨论了拉晶速度、成品率和单位质量锗单晶电耗与单晶直径的关系,并对不同直径单晶的晶帽差异进行分析。
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关键词
直拉法
锗单晶
工艺参数
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Keywords
czochralski method
germanium single crystal
process parameters
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分类号
TM924.73
[电气工程—电力电子与电力传动]
O614.431
[理学—无机化学]
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