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基于NSGA-Ⅱ传感位置优化的曲面重构及误差补偿方法
1
作者 尚秋峰 张晓旭 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第2期26-36,共11页
通过优化光纤布拉格光栅形状传感技术中传感点位置和补偿重构结果来提高薄层合金板三维形状重构精度。通过ANSYS workbench建立合金板仿真模型,提取应变和位移模态振型,根据模态置信准则、转换矩阵稳定性和模态振型相似性分别设计了三... 通过优化光纤布拉格光栅形状传感技术中传感点位置和补偿重构结果来提高薄层合金板三维形状重构精度。通过ANSYS workbench建立合金板仿真模型,提取应变和位移模态振型,根据模态置信准则、转换矩阵稳定性和模态振型相似性分别设计了三个目标函数,采用快速和精英机制的多目标遗传算法优化传感器位置。将镍钛合金板弯曲成不同曲率半径的弧形,利用光纤布拉格光栅中心波长漂移量和线性插值算法计算得出不同形状下的结构应变,重构合金板形状,均方根误差和最大误差相较于单目标优化算法分别减小30%和15%。利用粒子群优化径向基函数神经网络算法拟合误差与位移的关系实现误差补偿,均方根误差和最大误差比无补偿时分别减小了90%和70%,最大相对百分比误差仅为5%,提高了三维形状重构算法精度。 展开更多
关键词 光纤传感 光纤布拉格光栅 粒子群优化径向基函数 形状重构 模态法 多目标优化 误差补偿
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基于基片集成波导加载开口环的介电测量传感器
2
作者 赵文强 武鑫磊 +3 位作者 景辉辉 陆畅 张斌珍 段俊萍 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2024年第1期107-110,共4页
基于微扰理论,提出了一种在基片集成波导(SIW)结构上加载椭圆形开口环的小型化介电常数测量传感器。在传感器表面刻蚀椭圆开口环,增加电流路径的同时,降低工作频率,实现器件的小型化。在中心区域挖有通孔,当放入具有不同介电常数的待测... 基于微扰理论,提出了一种在基片集成波导(SIW)结构上加载椭圆形开口环的小型化介电常数测量传感器。在传感器表面刻蚀椭圆开口环,增加电流路径的同时,降低工作频率,实现器件的小型化。在中心区域挖有通孔,当放入具有不同介电常数的待测物体时,传感器的S参数会发生改变。通过仿真软件对传感器进行分析,介电常数实部从1至10变化,频率的相对偏移达到32.4%。测量结果表明:传感器对介电常数的测量误差小于3%,具有很好的测量效果。 展开更多
关键词 微扰理论 基片集成波导 介电常数 小型化
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基于纳米铂黑材料的超高辐射率MEMS红外光源研究
3
作者 树东生 陶继方 +3 位作者 徐茂森 赵佳 李炎 张小水 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2024年第3期39-42,51,共5页
本文基于微机电系统(MEMS)设计和加工技术,研制了一种高辐射率、低功耗、高调制速率的MEMS红外(IR)光源,通过在工艺中引入高可靠的纳米铂黑(Pt-black)材料作为红外辐射层,在2~14μm光谱范围内成功实现了99.5%以上的平均辐射效率。在5V... 本文基于微机电系统(MEMS)设计和加工技术,研制了一种高辐射率、低功耗、高调制速率的MEMS红外(IR)光源,通过在工艺中引入高可靠的纳米铂黑(Pt-black)材料作为红外辐射层,在2~14μm光谱范围内成功实现了99.5%以上的平均辐射效率。在5V驱动电压下,该MEMS红外光源的辐射区温度达到407℃,响应时间(T90)为17ms,在10Hz和100Hz工作频率下的调制深度分别达到100%和42%。最后,把该MEMS红外光源芯片集成在一种微型二氧化碳(CO_(2))气体传感器样机中进行了实验验证,结果表明:该器件具备良好的辐射特性和温度特性。该MEMS红外光源可以用于常规的CO_(2)和甲烷(CH_(4))气体检测,以及二氧化硫(SO_(2))、硫化氢(H_(2)S)、六氟化硫(SF_(6))、氨气(NH_(3))等多种工业气体检测。 展开更多
关键词 微机电系统 微型红外光源 红外气体传感器 微机电系统红外光源
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基于嵌入式计算机的激光防御低慢小目标识别
4
作者 郭敏 《激光杂志》 CAS 北大核心 2024年第1期205-210,共6页
针对现有激光防御低慢小目标识别准确率差的问题,提出基于嵌入式计算机的激光防御低慢小目标识别方法。本次研究先对激光雷达目标探测、识别原理进行分析,完成基于嵌入式计算机的激光防御系统架构设计,然后通过目标局部特征提取方法及... 针对现有激光防御低慢小目标识别准确率差的问题,提出基于嵌入式计算机的激光防御低慢小目标识别方法。本次研究先对激光雷达目标探测、识别原理进行分析,完成基于嵌入式计算机的激光防御系统架构设计,然后通过目标局部特征提取方法及目标识别检测方法完成激光防御低慢小目标的识别设计,最后开展仿真实验证明所提方法应用效果。实验结果表明,应用所提方法开展低小慢目标的识别准确率较高,均高于91.5%,而且其特征提取平均时间小于11.3 ms,均优于对比方法。 展开更多
关键词 嵌入式计算机 激光雷达 防御系统 局部形状特征 目标识别
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基于TFBG边缘滤波的FBG温度传感器
5
作者 杨明聪 黄勇林 钱宇阳 《光通信技术》 北大核心 2024年第1期29-33,共5页
为了提高系统的温度灵敏度,设计了一种基于倾斜光纤光栅(TFBG)边缘滤波的光纤布喇格光栅(FBG)温度传感器。该系统在常规的TFBG边缘滤波解调系统上引入一个光纤环形镜,将从TFBG透射的光信号反射回来,使其能再次通过TFBG,以增加TFBG透射... 为了提高系统的温度灵敏度,设计了一种基于倾斜光纤光栅(TFBG)边缘滤波的光纤布喇格光栅(FBG)温度传感器。该系统在常规的TFBG边缘滤波解调系统上引入一个光纤环形镜,将从TFBG透射的光信号反射回来,使其能再次通过TFBG,以增加TFBG透射谱的深度,并对传感光栅进行封装。实验结果表明:封装前和封装后的传感光栅在所测量的温度区间内中心波长的漂移量分别为0.55 nm和7 nm,封装后的漂移量扩大了十多倍;同时,由于TFBG边缘滤波解调传递函数的斜率得到提高,传感器波长解调后的温度灵敏度也得到了改善,是未级联光纤环形镜传感器的1.6~2.4倍。 展开更多
关键词 光纤传感技术 倾斜光纤光栅 边缘滤波 温度传感
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基于U型光纤中瑞利散射光谱探测的分布式折射率传感技术研究(特邀)
6
作者 韩强 周帅 +4 位作者 盛立文 谭景甲 李述标 张志辉 李鹏 《光电技术应用》 2024年第1期70-75,共6页
折射率是材料的重要参数,对于折射率的检测和测量,已广泛应用在化学分析、环境保护和医疗卫生等诸多领域。其中,弯曲(U型)光纤是实现折射率传感的最简单结构,利用光纤的U型弯曲损耗可以受到弯曲光纤外部环境影响的基本原理,结合普通单... 折射率是材料的重要参数,对于折射率的检测和测量,已广泛应用在化学分析、环境保护和医疗卫生等诸多领域。其中,弯曲(U型)光纤是实现折射率传感的最简单结构,利用光纤的U型弯曲损耗可以受到弯曲光纤外部环境影响的基本原理,结合普通单模光纤高柔韧性不易折断等优点,提出了一种基于U型光纤中瑞利散射光谱探测的高灵敏度、结构简单和价格低廉的分布式折射率传感方案。当弯曲直径为0.7 cm时,在1.333 0~1.377 3的折射率测量范围内,其灵敏度达到42.57 nm/RIU的最佳值,并呈现良好的线性传感响应,使得医用等一次性廉价折射率传感探头的使用和普及成为可能。 展开更多
关键词 折射率 U型光纤 瑞利散射 分布式传感
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中波2.79μm Er,Cr:YSGG激光器的泵浦模式研究综述
7
作者 徐金龙 李永亮 +1 位作者 陈超男 朱心怡 《激光杂志》 CAS 北大核心 2023年第5期1-5,共5页
中波2.79μm波段的激光在生物医学、非线性光学以及军事等领域有着广泛的实用前景和发展空间。目前用于获得中波2.79μm波段激光的增益介质主要为Er:YSGG或Er,Cr:YSGG等激光晶体,由于基质YSGG热导率低,致使激光器在运行时产生的热效应... 中波2.79μm波段的激光在生物医学、非线性光学以及军事等领域有着广泛的实用前景和发展空间。目前用于获得中波2.79μm波段激光的增益介质主要为Er:YSGG或Er,Cr:YSGG等激光晶体,由于基质YSGG热导率低,致使激光器在运行时产生的热效应比较严重,因此,开展其泵浦技术研究有重要的实际意义。针对Er,Cr:YSGG晶体的泵浦技术开展了详细的分析和讨论,并结合近年来新出现的泵浦模式,对下一步的技术发展进行了分析和展望。 展开更多
关键词 2.79μm ER Cr:YSGG晶体 泵浦模式 泵浦效率
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差分电容式MEMS加速度计的结构设计及仿真
8
作者 邬润杰 张伟 郭子龙 《现代电子技术》 2023年第13期147-152,共6页
为了扩大加速度计的测量范围、提高其灵敏度并且控制成本,提出一种差分电容式MEMS加速度计,并介绍了其敏感机理,即输入加速度时硅质量块产生相应位移,与钯银电极形成差分电容。通过建立输入加速度、电容差及输出电压三者之间的关系,即... 为了扩大加速度计的测量范围、提高其灵敏度并且控制成本,提出一种差分电容式MEMS加速度计,并介绍了其敏感机理,即输入加速度时硅质量块产生相应位移,与钯银电极形成差分电容。通过建立输入加速度、电容差及输出电压三者之间的关系,即可检测z轴加速度。使用有限元分析,设置加速度为±100g范围内,对该加速度计支撑梁厚度变化时其应力、位移变化情况进行计算和分析。结果表明,差分电容式MEMS加速度计具有加速度计效应,加速度在±100g范围内线性度良好。加速度计在梁厚为0.058 mm时,输入加速度和位移的最佳比例系数为10-7m/g,其机械灵敏度、位移灵敏度和电容灵敏度较梁厚为0.075 mm时分别提高了10%、38%和37.9%。该研究为后续结构改进、性能优化奠定了理论基础。 展开更多
关键词 加速度计 敏感元件 “三明治”结构 差分检测 有限元分析 灵敏度 支撑梁厚度
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基于水光动能的织物激光清洗技术研究综述
9
作者 陈超男 李永亮 +3 位作者 徐金龙 朱心怡 苏诺 郭田豪越 《激光杂志》 CAS 北大核心 2023年第10期1-5,共5页
激光清洗技术在医学外科清创、微电子工业清洗、文物艺术品清洗保护、模具清洗以及超精密光学清洗等领域的应用都取得了很好的效果,应用范围广泛。激光清洗织物是利用水对特定波长激光的高吸收特性,形成水光动能来破坏污染物和织物之间... 激光清洗技术在医学外科清创、微电子工业清洗、文物艺术品清洗保护、模具清洗以及超精密光学清洗等领域的应用都取得了很好的效果,应用范围广泛。激光清洗织物是利用水对特定波长激光的高吸收特性,形成水光动能来破坏污染物和织物之间的作用力,从而达到清洗目的。概述了激光清洗技术的发展现状,分析并展望了激光清洗技术的发展趋势。 展开更多
关键词 激光清洗 水光动能 织物污渍 微爆破效应
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采用CMOS传感器的宽照度静态图像采集方法
10
作者 黄梅红 潘娇 +3 位作者 郑齐清 戴官全 吴平辉 吴豪杰 《泉州师范学院学报》 2023年第2期9-15,70,共8页
介绍一种基于CMOS有源像素传感器为感光元件的宽照度范围的静态图像采集方法.采用非线性曝光二值化图像叠加技术,达到有效降低图像的饱和溢出和改善图像暗场空缺的目的;利用CMOS图像传感器输出像元信号电压与曝光时间的线性响应关系,给... 介绍一种基于CMOS有源像素传感器为感光元件的宽照度范围的静态图像采集方法.采用非线性曝光二值化图像叠加技术,达到有效降低图像的饱和溢出和改善图像暗场空缺的目的;利用CMOS图像传感器输出像元信号电压与曝光时间的线性响应关系,给出一种非线性曝光时间计算方法,使像元输出电压随光照度变化在一定范围内满足对数响应关系.实验分别采用白色背景下的黑色条带图像采样、室内灯光场景的景物图像采样和室外强光直射场景的仿车牌信息图像采样.结果表明,该方法获得的图像偏差率仅为传统CMOS相机探测的图像偏差率的1/7,实现了光照度在60 dB内变化图像信息的清晰识别,可应用于宽照度下车辆牌照等静态图像采集. 展开更多
关键词 静态图像采集 CMOS传感器 二值化 图像叠加 宽照度 图像偏差率
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多波段光源在多种现场常见客体表面尿液斑发现中的应用
11
作者 刘炳辰 张尔力 +2 位作者 易荣楠 贺江南 刘剑 《光源与照明》 2023年第10期78-81,共4页
文章研究了多波段光源在多种现场常见客体表面尿液斑发现中的应用。在不同温度、湿度、暴晒程度、遗留时间条件下,运用MINI-400紧凑型多波段通用型光源对不同常见客体上的尿液斑进行观测。结论表明,最佳的滤镜与波段的观测组合为黄色+41... 文章研究了多波段光源在多种现场常见客体表面尿液斑发现中的应用。在不同温度、湿度、暴晒程度、遗留时间条件下,运用MINI-400紧凑型多波段通用型光源对不同常见客体上的尿液斑进行观测。结论表明,最佳的滤镜与波段的观测组合为黄色+415 nm、橙色+440 nm、橙色+465 nm、红色+CSS、绿色+440 nm;温度和遗留时间对于尿液的观察无明显影响;非渗透性客体上暴晒加强了尿液斑的清晰度,湿度的增加削弱了清晰度;渗透性客体上暴晒对尿液斑无明显影响,湿度的增加削弱了清晰度,但效果不显著。 展开更多
关键词 多波段光源 尿液斑 滤光镜
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基于数据挖掘的光纤周界振动信号识别
12
作者 冯丽佳 苑柳青 熊丽丽 《激光杂志》 CAS 北大核心 2023年第7期137-142,共6页
针对光纤周界振动信号中的噪声干扰以及通过单一特征无法全面描述振动信号的问题,研究基于数据挖掘的光纤周界振动信号识别方法。采用SVD(奇异值分解)方法对所采集的振动信号进行去噪处理,基于秩阶次值重构信号,由此消除噪声;针对无噪... 针对光纤周界振动信号中的噪声干扰以及通过单一特征无法全面描述振动信号的问题,研究基于数据挖掘的光纤周界振动信号识别方法。采用SVD(奇异值分解)方法对所采集的振动信号进行去噪处理,基于秩阶次值重构信号,由此消除噪声;针对无噪音振动信号,将峭度。排列熵与瞬时频率标准差作为特征,并进行特征融合,获取振动信号的特征向量;将特征向量输入概率神经网络中,利用模拟退火算法确定网络中的平滑因子参数值优化网络结构,通过学习与训练的过程输出振动信号识别结果。实验结果显示秩阶次值k为5时信号去噪性能最好,信号特征之间差异较为显著,易于区分,识别准确率平均为94.08%。 展开更多
关键词 数据挖掘 光纤周界 振动信号识别 信号去噪 特征提取 概率神经网络
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基于计算机视觉的可见光图像彩色成像研究
13
作者 刘倩 陈辉 曾健友 《激光杂志》 CAS 北大核心 2023年第7期105-109,共5页
为了提升可见光图像彩色成像的有效性,提出基于计算机视觉的可见光图像彩色成像研究方法。首先利用计算机视觉技术建立摄像机图像空间模型,采集空间物体图像;利用色空间变换对采集的图像开展彩色传递,完成灰度图像到彩色图像的转变,从... 为了提升可见光图像彩色成像的有效性,提出基于计算机视觉的可见光图像彩色成像研究方法。首先利用计算机视觉技术建立摄像机图像空间模型,采集空间物体图像;利用色空间变换对采集的图像开展彩色传递,完成灰度图像到彩色图像的转变,从可见光彩色图像中提取该特征点,并消除稳定性较差的极值点,对图像特征点匹配对可见光彩色图像的重构。实验结果表明,当特征节点数量较高时,设计方法对图像(a)的图像特征点检测用时仅为1.92 s,对图像(b)的图像特征点检测用时仅为1.89 s;验证了该方法的实用性强、成像精度高。 展开更多
关键词 计算机视觉 可见光图像 彩色成像 特征点匹配
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大功率高效率掺铒超荧光光纤光源及其应用 被引量：18
14
作者 陈胜平 吕可诚 +4 位作者 李乙钢 盛秋琴 朱剑平 李家方 冯鸣 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第1期17-20,共4页
采用光纤反射环镜和双程后向结构 ,得到了最大输出功率 30 .6mW、光光转换效率 4 2 .0 %的大功率、高效率全光纤掺铒超荧光光源 (SFS) 利用串接光纤光栅 (FBG)和光纤型F P腔 ,对其进行光谱分割 ,得到了稳定的多波长输出
关键词 超荧光光源(SFS) 多波长光源 掺铒光纤(EDF) 大功率 高效率
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基于光纤Bragg光栅的古建筑结构健康监测技术研究 被引量：15
15
作者 任小芳 贾栋 +2 位作者 赵辉 王高 张志伟 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2015年第1期34-38,共5页
古建筑具有极其宝贵的历史、文化、艺术和科学研究价值。通过基于3×3耦合器的M-Z干涉解调技术和Lab VIEW相结合的方法,设计了古建筑结构健康监测系统,实现了干涉仪信号的采集、处理、保存、波形显示和变化量的跟踪显示、频谱分析... 古建筑具有极其宝贵的历史、文化、艺术和科学研究价值。通过基于3×3耦合器的M-Z干涉解调技术和Lab VIEW相结合的方法,设计了古建筑结构健康监测系统,实现了干涉仪信号的采集、处理、保存、波形显示和变化量的跟踪显示、频谱分析、预警等功能,不仅能够避免光源强度与干涉条纹对比度变化对测量结果的影响,而且操作简单,设备成本低。设计了光纤光栅应变传感实验测试系统性能,结果表明相位变化与应变呈良好的线性关系,测量误差为1.4%。 展开更多
关键词 光纤光栅 结构健康监测 古建筑 LabVIEW 对称解调 M-Z干涉仪 应变
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基于光相干外差检测的布里渊散射DOFS的研究 被引量：15
16
作者 宋牟平 范胜利 +2 位作者 陈好 章献民 叶险峰 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第2期233-236,共4页
对布里渊散射分布式光纤传感器(DOFS)检测原理进行了分析,针对布里渊散射光信号的特点,应用光相干和外差技术来检测布里渊散射光信号 具体采用微波电光调制产生频率可调的参考光,和布里渊散射光进行相干检测,根据布里渊频移特性取出布... 对布里渊散射分布式光纤传感器(DOFS)检测原理进行了分析,针对布里渊散射光信号的特点,应用光相干和外差技术来检测布里渊散射光信号 具体采用微波电光调制产生频率可调的参考光,和布里渊散射光进行相干检测,根据布里渊频移特性取出布里渊散射光信号,从而得到分布式传感信号 分别实现了 25km光纤的分布式温度和应变传感,达到 3℃的温度分辨率、100με的应变分辨率和 10m的空间分辨率. 展开更多
关键词 分布式光纤传感 布里渊散射 光相干 外差检测
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LD泵浦瓦级单模高掺铒中红外光纤激光器(英文) 被引量：11
17
作者 沈炎龙 黄珂 +7 位作者 朱峰 于力 王飞 何中敏 姜畅 冯国斌 易爱平 叶锡生 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第3期75-79,共5页
中红外激光在激光医疗、激光光谱学和红外对抗等领域有着广泛的应用前景.为了获得结构紧凑、便携性好的中红外激光源,采用975nm半导体激光器泵浦高掺铒氟化物双包层光纤实现了2.8μm的中红外光纤激光输出.将光纤耦合输出的中心波长为97... 中红外激光在激光医疗、激光光谱学和红外对抗等领域有着广泛的应用前景.为了获得结构紧凑、便携性好的中红外激光源,采用975nm半导体激光器泵浦高掺铒氟化物双包层光纤实现了2.8μm的中红外光纤激光输出.将光纤耦合输出的中心波长为975nm的半导体激光,经过消像差非球面透镜系统耦合进双包层光纤,激光谐振腔由高反镜和具有4%菲涅耳反射率的光纤端面组成,当注入到增益光纤的泵浦功率高于0.37 W时,获得了中红外激光输出.实验结果表明:中红外光纤激光器中心波长为2.785μm,谱宽0.9nm;工作阈值为0.37W,最大输出功率为0.98W,斜率效率为17%,激光工作模式为单模.利用高掺杂浓度铒离子间的能量转移上转换,获得了高效率瓦级单模中红外光纤激光输出. 展开更多
关键词 中红外 LD泵浦 掺铒 单模 光纤激光器
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增益开关锁模2μm铥/钬共掺光纤激光器 被引量：9
18
作者 杨未强 张斌 +2 位作者 侯静 宋锐 刘泽金 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第11期2521-2522,共2页
首次报道了中心波长为1958nm的增益开关锁模铥/钬共掺光纤激光器,增益开光脉冲包络和锁模次脉冲的重复频率分别为20kHz和14.8MHz。将此增益开关锁模光纤激光作为种子源,在掺铥光纤放大器中产生了平坦的超连续谱光源。超连续谱的最大输... 首次报道了中心波长为1958nm的增益开关锁模铥/钬共掺光纤激光器,增益开光脉冲包络和锁模次脉冲的重复频率分别为20kHz和14.8MHz。将此增益开关锁模光纤激光作为种子源,在掺铥光纤放大器中产生了平坦的超连续谱光源。超连续谱的最大输出功率为2.17 W,其长波长边已扩展到2750nm,10dB带宽约为640nm(光谱范围1953～2593nm)。 展开更多
关键词 光纤激光器 增益开关 锁模 掺铥光纤放大器 超连续谱产生
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LED白光源用Pr^(3+),Ce^(3+):YAG光纤制备与特性 被引量：7
19
作者 叶林华 周小芬 +2 位作者 宋丽 李刚 刘相芳 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第8期2059-2062,共4页
采用激光加热基座法制备LED白光源用Pr3+,Ce3+:YAG单晶光纤荧光材料,对所制备材料的荧光光学特性进行了实验分析结果表明,在Pr3+和Ce3+共掺发光过程中,Pr3+离子的发光可以通过Ce3+敏化作用使得其610nm谱线荧光强度得到有效增强;利用所制... 采用激光加热基座法制备LED白光源用Pr3+,Ce3+:YAG单晶光纤荧光材料,对所制备材料的荧光光学特性进行了实验分析结果表明,在Pr3+和Ce3+共掺发光过程中,Pr3+离子的发光可以通过Ce3+敏化作用使得其610nm谱线荧光强度得到有效增强;利用所制备Pr3+,Ce3+:YAG单晶光纤荧光材料与蓝色LED合成产生高效LED光纤白光源,光源的色坐标为(x=0.322,y=0.335),显色指数84.3,表明光源品质良好,有望用于未来高效大功率光纤白光源. 展开更多
关键词 白光源 单晶光纤 荧光材料 Pr3+ Ce3+:YAG 敏化
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一种可直接脉冲调制的MEMS红外激发源 被引量：11
20
作者 纪新明 吴飞蝶 +3 位作者 王建业 周嘉 谢海芬 黄宜平 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第2期144-150,共7页
针对红外气体探测器对光源的要求,结合现有MEMS(微机电系统)工艺及与其兼容的IC工艺,研制了一种可用于红外多气体传感器的脉冲式MEMS辐射光源.该光源主要有Si3N4/SiO2的复合支撑层和铂金发热电极组成,可以产生相当于黑体300～800 K的红... 针对红外气体探测器对光源的要求,结合现有MEMS(微机电系统)工艺及与其兼容的IC工艺,研制了一种可用于红外多气体传感器的脉冲式MEMS辐射光源.该光源主要有Si3N4/SiO2的复合支撑层和铂金发热电极组成,可以产生相当于黑体300～800 K的红外辐射,在温度T＝1 106 K时有λ=2.62 μm峰值辐射波长;并且光源有足够强的辐射强度和2～15 μm红外辐射波段,能够满足大部分气体在2～14 μm波长范围内特征的吸收谱线的要求.经过对辐射元的动态测量可知,辐射源的动态调制频率可达到50 Hz,完全能够满足气体测量对所需红外光源调制频率的要求. 展开更多
关键词 红外传感 微机电系统 辐射系数
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