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9.3μm脉冲CO_2激光倍频实验 被引量:9
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作者 李殿军 杨贵龙 +2 位作者 谢冀江 孟范江 郭劲 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第11期2684-2691,共8页
介绍了利用9.3μm脉冲TEACO2激光通过AgGaSe2晶体二次谐波产生(SHG)技术实现4.65μm中红外波段激光输出的实验研究。根据非线性光学原理和倍频技术的基本要求,通过有针对性的技术手段选择TEACO2激光器的输出谱线并控制脉冲波形的时间分... 介绍了利用9.3μm脉冲TEACO2激光通过AgGaSe2晶体二次谐波产生(SHG)技术实现4.65μm中红外波段激光输出的实验研究。根据非线性光学原理和倍频技术的基本要求,通过有针对性的技术手段选择TEACO2激光器的输出谱线并控制脉冲波形的时间分布,使之满足激光倍频实验对泵浦脉冲光源在波长和输出时间分布上的基本要求,并以此为基波光源进行了产生二次谐波的实验研究。实验结果显示,即使是相同的AgGaSe2倍频晶体材料,也会由于生产厂商的不同而具有完全不同的表面破坏阈值行为,而相同点是体损伤阈值均大于表面损伤阈值。实验获得倍频输出最大能量为12.9mJ;倍频输出最高平均功率为940mW。 展开更多
关键词 二次谐波产生 CO2激光倍频 脉宽压缩 破坏阈值
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容性耦合等离子体腔室放电特性仿真研究 被引量:11
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作者 杨旺 刘学平 +2 位作者 夏焕雄 向东 牟鹏 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第6期639-645,共7页
容性耦合等离子体射频放电广泛应用于IC制造中的薄膜沉积、刻蚀工艺中,等离子体中的电子密度和平均电子温度直接影响离化及激发反应速率,其在放电腔室中径向分布的均匀性严重影响刻蚀和薄膜沉积的均匀性。以某12寸腔体为研究对象,采用Co... 容性耦合等离子体射频放电广泛应用于IC制造中的薄膜沉积、刻蚀工艺中,等离子体中的电子密度和平均电子温度直接影响离化及激发反应速率,其在放电腔室中径向分布的均匀性严重影响刻蚀和薄膜沉积的均匀性。以某12寸腔体为研究对象,采用Comsol软件仿真研究了功率电极电压、腔室气压和极板间距对等离子体的电子密度和平均电子温度的影响规律。仿真研究发现:在研究的气压、电压、极板间距范围内,电子密度和平均电子温度随电压的增加而增加,其均匀性随电压的增加而变差;电子密度随气压的增加而增加,平均电子温度随气压的增加而降低,电子密度的均匀性随气压的增加而改善,电子温度的均匀性随气压的增加先变差再变好;电子密度随极板间距的增加而增加,平均电子温度随极板的增加而降低,电子密度和平均电子温度的均匀性随极板间距的增加而变好。研究结果对指导等离子体参与的IC工艺腔室结构设计及工艺控制具有重要意义。 展开更多
关键词 容性耦合等离子体 放电参数 氩气放电 射频放电特性
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高功率TEA CO_2激光器的双波长免调切换结构 被引量:6
3
作者 邵春雷 宋晓峰 +2 位作者 张来明 谢冀江 郭劲 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第2期429-436,共8页
为在一台激光器上切换输出10.6/9.3μm两种波长高能激光,采用输出镜镀膜选支方法获得了9.3μm单谱线输出,其脉冲能量与原10.6μm波长基本相当。设计出双波长密闭免调切换输出结构,利用有限元分析软件MSC.Patran/Nastran对该结构的切换... 为在一台激光器上切换输出10.6/9.3μm两种波长高能激光,采用输出镜镀膜选支方法获得了9.3μm单谱线输出,其脉冲能量与原10.6μm波长基本相当。设计出双波长密闭免调切换输出结构,利用有限元分析软件MSC.Patran/Nastran对该结构的切换移动平台组件进行了静力学、热应力及热力耦合分析,并基于Matlab软件,运用最小二乘法对分析得到的位移变形量拟合出输出镜镜面绕坐标轴的偏转角度。分析计算得到结构的最大应力为101 MPa,镜面的最大变形量为6.95μm,镜面绕3个坐标轴的倾斜角度分别为0.07″,2.92″,0.009″。对研制出的实物装置进行发射试验,检测到两波长切换发射的指向性相对误差为8.7″。结果表明,该结构能够满足免调切换输出两种波长激光的性能参数要求。 展开更多
关键词 高功率TEA CO2激光器 双波长切换结构 有限元分析 最小二乘法
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CO_2激光诱导局域化学镀铜的研究 被引量:7
4
作者 刘建国 陈存华 +2 位作者 郑家燊 黄维玲 李亚华 《激光技术》 CAS CSCD 北大核心 2003年第1期16-18,共3页
利用CO2 激光诱导液相沉积技术 ,首次从水溶液中在环氧树脂基体的正面局域沉积出了金属铜线。并运用扫描电子显微镜、电子探针等仪器 ,观察到了激光照射后基体上催化沉积活性中心的存在 ,分析了所沉积的铜线的微观形貌。
关键词 局域化学镀铜 CO2激光 激光诱导液相沉积 微观形貌
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有正支共焦非稳腔二氧化碳激光器的模场计算 被引量:5
5
作者 张虎 彭玉峰 +2 位作者 朱遵略 刘兰石 孙金锋 《河南师范大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 2002年第2期33-36,共4页
本文利用快速傅立叶变换 (FFT)法 ,对有正支共焦非稳腔的二氧化碳激光器模场进行了计算 ,给出了在不同谐振腔 (放大倍数M =2 .5 (M =1.45 ) ,等效菲涅耳数Neq=1.5 (Neq=1.2 9) )下的模分布图 ,与类似的结果进行了比较 ,符合的较好 ,并... 本文利用快速傅立叶变换 (FFT)法 ,对有正支共焦非稳腔的二氧化碳激光器模场进行了计算 ,给出了在不同谐振腔 (放大倍数M =2 .5 (M =1.45 ) ,等效菲涅耳数Neq=1.5 (Neq=1.2 9) )下的模分布图 ,与类似的结果进行了比较 ,符合的较好 ,并分析了形成模分布的原因 。 展开更多
关键词 模场计算 正支共焦共稳腔 快速傅立叶变换 二氧化碳激光器 光束质量 模分布图
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TEA CO_2激光脉冲整形用等离子体开关技术的进展 被引量:4
6
作者 任德明 胡孝勇 +2 位作者 周波 曲彦臣 刘逢梅 《激光技术》 CAS CSCD 北大核心 2001年第6期449-453,共5页
TEACO2 激光脉冲整形技术是高功率、高重复率、捷变频的TEACO2 激光器研究和用TEACO2 激光产生倍频、高次谐波技术的必不可少的重要技术。等离子体开关是目前应用较广的一种简单可行的激光脉冲整形技术。综述了等离子开关技术的原理和... TEACO2 激光脉冲整形技术是高功率、高重复率、捷变频的TEACO2 激光器研究和用TEACO2 激光产生倍频、高次谐波技术的必不可少的重要技术。等离子体开关是目前应用较广的一种简单可行的激光脉冲整形技术。综述了等离子开关技术的原理和技术的发展过程 ,并对其作了简要分析 ,展望了其广泛的应用前景。 展开更多
关键词 TEACO2激光器 脉冲整形 等离子体开关 倍频 高次谐波 工作原理 输出波形
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脉宽可控的腔倒空射频波导CO_2激光器 被引量:6
7
作者 王建银 周鼎富 +3 位作者 陈建国 孙鹏 杨泽后 陈涌 《激光技术》 CAS CSCD 北大核心 2007年第1期25-28,共4页
为了得到脉宽可控的腔倒空射频波导CO2激光器,采用了在陶瓷板上直接开波导槽的方法,构成了多通道Z折叠主本振激光器结构,并在主振波导进行CdTe电光晶体腔内调Q。在理论上计算了加载在CdTe上的高压脉冲下降时间的长短对腔倒空激光脉冲宽... 为了得到脉宽可控的腔倒空射频波导CO2激光器,采用了在陶瓷板上直接开波导槽的方法,构成了多通道Z折叠主本振激光器结构,并在主振波导进行CdTe电光晶体腔内调Q。在理论上计算了加载在CdTe上的高压脉冲下降时间的长短对腔倒空激光脉冲宽度的影响,并通过对高压脉冲电源等效负载参数的调整,得到了脉冲宽度可控的高重频腔倒空激光脉冲。在20kHz,40kHz,65kHz及70kHz的重频工作下,得到了半峰全宽约30ns、峰值功率在2kW以上的腔倒空激光脉冲。结果表明,这种新型腔倒空射频波导CO2激光器满足激光外差成像雷达系统参数要求。 展开更多
关键词 激光器 射频波导CO2激光器 腔倒空 脉冲宽度 CdTe电光调制器
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高功率TEA CO_2激光器控制系统设计 被引量:5
8
作者 于德洋 郭立红 +3 位作者 陈飞 孟范江 杨贵龙 邵明振 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2016年第7期54-59,共6页
随着高功率TEA CO_2激光器技术的快速发展,及其在工业加工、科学研究、航空航天等领域的广泛应用,对其自身控制系统也提出了更高的性能要求。针对所研制的高功率TEA CO_2激光器,设计了一种基于DSP数字信号处理器技术的控制系统,分别从... 随着高功率TEA CO_2激光器技术的快速发展,及其在工业加工、科学研究、航空航天等领域的广泛应用,对其自身控制系统也提出了更高的性能要求。针对所研制的高功率TEA CO_2激光器,设计了一种基于DSP数字信号处理器技术的控制系统,分别从硬件、软件两方面对控制系统的核心单元做了详细的介绍;为了克服激光器在工作过程中产生的强电磁干扰,对控制系统采取了屏蔽箱体结构、电源滤波、安全接地、数字滤波、关键数据存储自恢复、抗复位干扰等设计。经过激光器长时间运行试验,控制系统工作稳定、可靠,控制响应速度快,同时满足了抗强电磁干扰的设计要求,具有很好的实用和推广价值。 展开更多
关键词 TEA CO2激光器 DSP 控制系统 电磁干扰
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大能量长脉冲TECO2激光器 被引量:5
9
作者 卢远添 吴谨 +4 位作者 王东蕾 刘世明 柯常军 万重怡 谭荣清 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第9期1437-1440,共4页
研制了一台基于pulser/sustainer放电技术,增益体积为2.48 L的大能量长脉冲紫外预电离TE CO2激光器。利用14 nF的pulser电容控制200 nF的sustainer电容,通过优化激光器激励电路网络参数以及张氏电极进行修正,实现了稳定的辉光放电,获得... 研制了一台基于pulser/sustainer放电技术,增益体积为2.48 L的大能量长脉冲紫外预电离TE CO2激光器。利用14 nF的pulser电容控制200 nF的sustainer电容,通过优化激光器激励电路网络参数以及张氏电极进行修正,实现了稳定的辉光放电,获得了最高达135 J的能量注入。在激光工作气体CO2,N2,He混合体积比为1∶2.5∶13,气压为40 kPa的条件下,最大激光输出脉冲能量达18.51 J,激光脉冲宽度约为30μs,电光转换效率高达14.3%。 展开更多
关键词 激光技术 长脉冲TE CO2激光器 紫外预电离 pulser/sustainer放电
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放电电场对SO_2气相传质过程的影响 被引量:5
10
作者 王祖武 曾汉才 +1 位作者 梅欢 吴冲 《中国电机工程学报》 EI CSCD 北大核心 2006年第4期21-24,共4页
研究了SO2在放电电场中的气相传质过程。通过模拟试验,研究了外加电压、放电区长度、放电空间大小等与放电电场相关的参数对SO2电迁移和脱硫效率的影响。试验结果表明:放电电场对SO2传质过程具有促进作用,这种促进作用和系统脱硫效率随... 研究了SO2在放电电场中的气相传质过程。通过模拟试验,研究了外加电压、放电区长度、放电空间大小等与放电电场相关的参数对SO2电迁移和脱硫效率的影响。试验结果表明:放电电场对SO2传质过程具有促进作用,这种促进作用和系统脱硫效率随电压升高、放电区长度和单位能耗增加、放电空间减小而增加。放电电场之后的辅助匀强电场有助于改善SO2的电迁移效果。系统脱硫效率可达95%以上,由放电电场促进SO2传质而引起的脱硫效率增量接近50%。 展开更多
关键词 烟气脱硫 电晕放电 电迁移 SO2负离子 气相 传质
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微秒级激光荧光寿命测量 被引量:5
11
作者 潘利华 杜继贤 +1 位作者 董向明 王淑英 《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 1995年第1期5-8,共4页
本文描述了由氮分子激光器,小型光栅单色器,光电倍增管(PMT),记忆示波器等组装成的激光荧光寿命测量装置。讨论了该装置的测量原理和方法,并测定了YAG晶体,钒磷酸盐等样品的荧光寿命,测定的结果与标准样品值相符。
关键词 激光 荧光 寿命 YAG PMT 氮分子激光器
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约束放电激励千瓦级基模CO_2激光器 被引量:6
12
作者 陈清明 周风晴 +5 位作者 李晓平 孙洪 卢宏 冯功和 许强华 李军 《激光技术》 CAS CSCD 1995年第5期261-263,共3页
本文研究了约束放电激励千瓦级基模CO_2激光器。约束放电激励的思想核心是:利用正交或基本正交的电场或者电磁场在阴极位降区附近形成对带电粒子的捕集阱,由此产生对放电过程中从阴极发出的带电粒子的约束作用从而影响整个气体放... 本文研究了约束放电激励千瓦级基模CO_2激光器。约束放电激励的思想核心是:利用正交或基本正交的电场或者电磁场在阴极位降区附近形成对带电粒子的捕集阱,由此产生对放电过程中从阴极发出的带电粒子的约束作用从而影响整个气体放电激励过程。 展开更多
关键词 约束放电激励 气体激光 捕集阱 二氧化碳激光器
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高功率激光实时检测与控制系统的研究 被引量:11
13
作者 彭登峰 王又青 李波 《激光技术》 CAS CSCD 北大核心 2006年第5期483-485,共3页
为了提高激光功率的稳定性和控制精度,设计了一种新颖的高功率激光实时检测与控制装置。该系统由光功率采样单元和反馈控制单元两部分组成。采样单元利用尾镜的微量透射光进行激光采样,经衰减后再由探测器进行接收并对其加以处理;然后... 为了提高激光功率的稳定性和控制精度,设计了一种新颖的高功率激光实时检测与控制装置。该系统由光功率采样单元和反馈控制单元两部分组成。采样单元利用尾镜的微量透射光进行激光采样,经衰减后再由探测器进行接收并对其加以处理;然后将处理信号送到反馈控制单元去自动调节放电电流,以保证输出激光功率的稳定。实验表明,该系统能够实时监控激光的输出功率,有效提高激光功率的控制精度和稳定性。在4kW轴快流CO2激光器上的实际运行结果表明,该系统可使得激光功率稳定度达到±0.1%水平。 展开更多
关键词 激光器 激光功率 尾镜取样 衰减器 反馈控制
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声光调Q CO_2激光器波长调谐理论分析与实验研究 被引量:5
14
作者 潘其坤 陈飞 +4 位作者 石宁宁 李殿军 谢冀江 何洋 郭劲 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2017年第7期73-77,共5页
采用旋转光栅法实现了声光调Q CO_2激光器可调谐脉冲激光输出。理论分析了CO_2激光波长调谐特性,发现调节各支谱线腔内损耗是实现激光波长调谐的有效方法。进而理论计算了特定设计波长闪耀光栅的衍射效率与激光波长间的关系,结果显示光... 采用旋转光栅法实现了声光调Q CO_2激光器可调谐脉冲激光输出。理论分析了CO_2激光波长调谐特性,发现调节各支谱线腔内损耗是实现激光波长调谐的有效方法。进而理论计算了特定设计波长闪耀光栅的衍射效率与激光波长间的关系,结果显示光栅调谐的激光谱线自准直角与光栅闪耀角一致时具有最高的衍射效率。采用闪耀角分别为31.97°(闪耀波长10.59μm)和28.71°(闪耀波长9.60μm)的光栅实验研究了声光调Q CO_2激光器波长调谐特性,分别获得了65条和75条激光谱线。实验结果显示:光栅设计闪耀波长处于弱激光增益分支时可获得更多条激光谱线,该实验与理论计算结果相符。在脉冲重复频率为1 k Hz时,获得10.59μm激光脉冲宽度为160 ns,平均功率4.2 W,脉冲峰值功率26.25 k W,且稳定性良好。 展开更多
关键词 CO2激光器 波长调谐 闪耀光栅 声光调Q
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横流CO_2激光器的折叠式谐振腔研究 被引量:8
15
作者 卢宏 陈清明 +1 位作者 李晓平 胡菁 《激光杂志》 EI CAS CSCD 北大核心 1999年第1期31-34,共4页
在横流CO2激光器中采用折叠式谐振腔,不仅能改善光束质量,而且能提高转换效率。文章对折叠式谐振腔的折数确定,转折镜的选择,谐振腔的总体结构进行了分析研究,并设计了一种七折光学折叠腔,在大功率横流激光器上取得了良好的实... 在横流CO2激光器中采用折叠式谐振腔,不仅能改善光束质量,而且能提高转换效率。文章对折叠式谐振腔的折数确定,转折镜的选择,谐振腔的总体结构进行了分析研究,并设计了一种七折光学折叠腔,在大功率横流激光器上取得了良好的实验效果。 展开更多
关键词 折叠式 共振腔 增益 二氧化碳激光器
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非均匀增益对激光模式的影响 被引量:5
16
作者 张虎 彭玉峰 程祖海 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第6期685-688,共4页
利用快速傅里叶变换 ( FFT)法对有正支共焦非稳腔、流动增益介质的化学氧碘激光器 ( COIL )与二氧化碳激光器的模场进行了数值模拟 ,在此基础上分析了介质的非均匀增益对激光模式的影响 ,为新的腔型设计和光束质量的改善提供了依据 .
关键词 非均匀增益 激光模式 正支共焦非稳腔 FFT COIL 二氧化碳激光器 光束质量 化学氧碘激光器 模场 腔型设计 数值模拟
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准分子激光等离子体开关控制脉宽研究 被引量:6
17
作者 李红霞 楼祺洪 +1 位作者 董景星 魏运荣 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第7期1090-1094,共5页
利用准分子激光等离子体技术,在紫外预电离XeCl准分子激光器上获得了最短1.58 ns的短脉冲激光输出。实验中分析了聚焦到薄膜表面的光束能量密度对所产生的等离子体密度的影响,并对不同等离子体密度及维持时间情况下脉冲压缩效果进行了讨... 利用准分子激光等离子体技术,在紫外预电离XeCl准分子激光器上获得了最短1.58 ns的短脉冲激光输出。实验中分析了聚焦到薄膜表面的光束能量密度对所产生的等离子体密度的影响,并对不同等离子体密度及维持时间情况下脉冲压缩效果进行了讨论,给出了激光器谐振腔在稳定腔及非稳腔两种工作方式下的实验结果。激光器在稳定腔工作时,脉宽可压缩至2.87 ns;采用非稳腔结构时,在脉冲能量不变情况下减小聚焦光斑面积,提高入射到薄膜表面的能量密度,得到了最短1.58 ns的短脉冲激光输出。该技术适用于任何其它准分子器件。 展开更多
关键词 准分子激光 等离子体 脉冲压缩 谐振腔
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小型TEA CO_2激光器的快速调谐技术研究 被引量:5
18
作者 曲彦臣 任德明 +1 位作者 胡孝勇 刘逢梅 《激光技术》 CAS CSCD 北大核心 2003年第6期547-550,共4页
报道了两种快速调谐技术的研究——— 6面转镜 +固定光栅法和高频步进电机驱动光栅法。实验表明 ,高频步进电机法优于转镜法。实验得到激光器的一级调谐输出谱线 5 0余条 ,激光输出能量 (30~ 10 0 )mJ。在单台CO2 激光器上实现快速调... 报道了两种快速调谐技术的研究——— 6面转镜 +固定光栅法和高频步进电机驱动光栅法。实验表明 ,高频步进电机法优于转镜法。实验得到激光器的一级调谐输出谱线 5 0余条 ,激光输出能量 (30~ 10 0 )mJ。在单台CO2 激光器上实现快速调谐输出波长不同的激光脉冲 ,其时间间隔达到≤ 10ms。 展开更多
关键词 CO2激光器 快速调谐 单片机 差分吸收雷达
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微小型高功率CO_2气体激光器的新进展 被引量:5
19
作者 黄元庆 陈永明 朱立秒 《厦门大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 2001年第2期293-296,共4页
简要介绍了 CO2 气体激光器、波导 CO2 激光器件微小型化的现状 ,着重介绍了自己研制的全金属环状波导管 CO2 激光器件 .该器件按增益体积整体缩放 ,扩散冷却型新技术、新概念 .并指出 ,该新技术、新概念将是今后气体 CO2 激光器微小型... 简要介绍了 CO2 气体激光器、波导 CO2 激光器件微小型化的现状 ,着重介绍了自己研制的全金属环状波导管 CO2 激光器件 .该器件按增益体积整体缩放 ,扩散冷却型新技术、新概念 .并指出 ,该新技术、新概念将是今后气体 CO2 激光器微小型高功率化的最有效途径之一 . 展开更多
关键词 微小型 高功率 环状波导管 进展 二氧化碳气体激光器 光电转换效率
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电子束泵浦KrF激光器进行超短脉冲的单束放大实验研究 被引量:3
20
作者 汤秀章 张海峰 +3 位作者 龚堃 马维义 单玉生 王乃彦 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第5期641-645,共5页
电子束泵浦KrF激光器口径大、泵浦率高 ,可直接用于进行超短脉冲激光的放大。用天光一号电子束泵浦KrF激光器进行超短脉冲激光放大 ,将超短脉冲激光放大到 2~ 3J、1.2 ps,激光功率达到 2TW。
关键词 实验研究 超短脉冲激光 电子束泵浦 KRF激光 激光放大 准分子激光器
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