1
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紫外光催化辅助Ga面GaN化学机械抛光试验研究 |
杨友明
周海
胡士响
夏丽琴
任相璞
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《表面技术》
EI
CAS
CSCD
北大核心
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2024 |
0 |
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2
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干式抛光在减薄加工中的工艺研究 |
孙莉莉
衣忠波
王刚
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《电子工业专用设备》
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2024 |
0 |
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3
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一种应用于碳化硅全自动减薄机的定位巡边方法 |
袁晓春
孙莉莉
王刚
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《电子工业专用设备》
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2024 |
0 |
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4
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基于多源数据融合的半导体晶片CMP抛光材料去除率预测 |
方维
王宇宇
宋志龙
吕冰海
赵文宏
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《表面技术》
EI
CAS
CSCD
北大核心
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2024 |
0 |
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5
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单烷基磷酸酯钾盐和烷基糖苷对钴互连化学机械抛光的影响 |
田雨暄
王胜利
罗翀
王辰伟
孙纪元
张国林
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《电镀与涂饰》
CAS
北大核心
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2024 |
0 |
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6
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BTA与TT-LYK对铜CMP缓蚀效果和协同效应研究 |
孟妮
张祥龙
李相辉
谢顺帆
邱宇轩
聂申奥
何彦刚
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《润滑与密封》
CAS
CSCD
北大核心
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2024 |
0 |
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7
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聚甲基丙烯酸对STI CMP中SiO_(2)和Si_(3)N_(4)去除速率选择比的影响 |
李相辉
张祥龙
孟妮
聂申奥
邱宇轩
何彦刚
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《半导体技术》
北大核心
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2024 |
0 |
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8
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复合磨料的制备及其对层间介质CMP性能的影响 |
陈志博
王辰伟
罗翀
杨啸
孙纪元
王雪洁
杨云点
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《半导体技术》
CAS
北大核心
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2024 |
0 |
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9
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E1310P和FMEE复配对铜膜CMP性能的影响 |
孙纪元
周建伟
罗翀
田雨暄
李丁杰
杨云点
盛媛慧
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《微纳电子技术》
CAS
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2024 |
0 |
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10
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单晶SiC超精密加工研究进展 |
田壮智
班新星
韩少星
段天旭
郑少冬
朱建辉
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《微纳电子技术》
CAS
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2024 |
0 |
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11
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CMP抛光液中SiO_(2)磨料分散稳定性的研究进展 |
程佳宝
石芸慧
牛新环
刘江皓
邹毅达
占妮
何潮
董常鑫
李鑫杰
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《微纳电子技术》
CAS
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2024 |
0 |
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12
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半导体材料CMP过程中磨料的研究进展 |
何潮
牛新环
刘江皓
占妮
邹毅达
董常鑫
李鑫杰
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《微纳电子技术》
CAS
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2024 |
0 |
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13
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超精密磨削YAG晶体的脆塑转变临界深度预测 |
敖萌灿
黄金星
曾毓贤
吴跃勤
康仁科
高尚
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《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
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2024 |
0 |
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化学机械抛光垫在集成电路制造中的专利技术分析 |
王海
周文
史巍
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《首都师范大学学报(自然科学版)》
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2023 |
0 |
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15
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200mm超薄硅片边缘抛光技术 |
武永超
史延爽
王浩铭
龚一夫
张旭
赵权
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《半导体技术》
CAS
北大核心
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2023 |
0 |
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16
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石英晶片化学机械抛光工艺优化 |
贾玙璠
朱祥龙
董志刚
康仁科
杨垒
高尚
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《微纳电子技术》
CAS
北大核心
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2023 |
0 |
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17
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基于混合气体活化的硅基钽酸锂晶圆键合研究 |
刘等等
帅垚
黄诗田
吴传贵
张万里
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《电子元件与材料》
CAS
北大核心
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2023 |
0 |
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18
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晶圆直接键合预处理关键技术研究进展 |
吴硕
徐康
洪孟
吕麒鹏
蒲茜
戴家赟
吴超群
郭敏
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《固体电子学研究与进展》
CAS
北大核心
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2023 |
0 |
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19
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AT切型石英晶圆抛光工艺对材料去除速率及厚度非均匀性的影响 |
万杨
陈庚豪
栾兴贺
周龙早
吴丰顺
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《微纳电子技术》
CAS
北大核心
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2023 |
0 |
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20
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光刻与化学机械抛光技术原位集成制备SU-8微透镜阵列 |
张清泽
吴永进
马闯北
石现
孙云娜
丁桂甫
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《微纳电子技术》
CAS
北大核心
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2023 |
0 |
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