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微机电系统(MEMS)与纳机电系统(NEMS) 被引量:1
1
作者 周兆英 杨兴 熊继军 《测试技术学报》 2002年第z2期913-921,共9页
微机电系统(MEMS)和纳机电系统(NEMS)是微米/纳米技术的重要组成部分.MEMS已经在产业化道路上不断发展,NEMS还处于基础研究阶段.本文强调了制造技术是微/纳机电系统发展的基础,在简单地介绍了典型的MEMS和NEMS器件和系统后,讨论了MEMS和... 微机电系统(MEMS)和纳机电系统(NEMS)是微米/纳米技术的重要组成部分.MEMS已经在产业化道路上不断发展,NEMS还处于基础研究阶段.本文强调了制造技术是微/纳机电系统发展的基础,在简单地介绍了典型的MEMS和NEMS器件和系统后,讨论了MEMS和NEMS发展中的几个问题和MEMS和NEMS的发展前景. 展开更多
关键词 微机电系统(MEMS) 纳机电系统(nems) 微米纳米技术
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一种B/S架构下基于NEMS的网络实验室教学辅助系统 被引量:2
2
作者 刘捷 胡倩 《价值工程》 2014年第2期178-179,共2页
网络实验管理系统(NEMS)是一种专业的网络实验管理平台,可以对实验教学、实验学员、实验设备集中统一管理。B/S架构下基于NEMS的网络实验室教学辅助系统可以改变旧有的网络实验的方式,远程访问、配置逻辑组网,从而解决频繁进行物理组网... 网络实验管理系统(NEMS)是一种专业的网络实验管理平台,可以对实验教学、实验学员、实验设备集中统一管理。B/S架构下基于NEMS的网络实验室教学辅助系统可以改变旧有的网络实验的方式,远程访问、配置逻辑组网,从而解决频繁进行物理组网所导致的设备损耗和设备混乱,同时具有操作方便,配置简单、稳定可靠的特点,能够显著扩展网络实验空间、提升网络实验效率、改善实验室的管理。 展开更多
关键词 B S架构 网络实验管理系统 网络实验室 教学辅助系统 NETWORK EXPERIMENT MANAGEMENT System (nems)
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蓬勃发展的跨国公司非实体模式(NEMs)国际化生产 被引量:1
3
作者 王仁荣 《上海经济》 2011年第12期19-25,共7页
非实体模式(NEMs)国际化生产,因其低投资、低风险、高灵活性受到跨国公司的青睐。NEMs在帮助跨国公司整合其全球价值链,实现利润最大化的同时,也给发展中国家经济发展、促进就业、改善人民生活带来极大帮助,同时发展中国家也可以借此提... 非实体模式(NEMs)国际化生产,因其低投资、低风险、高灵活性受到跨国公司的青睐。NEMs在帮助跨国公司整合其全球价值链,实现利润最大化的同时,也给发展中国家经济发展、促进就业、改善人民生活带来极大帮助,同时发展中国家也可以借此提高技术水平,奠定制造业基础,并逐步向全球价值链的高端攀升。同时,NEMs也存在不可忽视的负面影响。发展中国家,包括中国要订立有关政策,扬长避短,趋利避害。 展开更多
关键词 非实体模式(nems)国际直接投资(FDI)OEM全球价值链(GVCs)
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低维纳米材料的力学性能测试技术研究进展 被引量:6
4
作者 张段芹 刘建秀 褚金奎 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2014年第7期451-457,共7页
低维纳米材料作为纳机电系统(NEMS)中重要的结构层材料,其力学性能与变形失效机理的研究直接影响NEMS的功能实现、可靠性分析与寿命预测。首先,介绍了现有低维纳米材料力学性能测试技术,如纳米压痕法、基于原子力显微镜(AFM)的纳米力学... 低维纳米材料作为纳机电系统(NEMS)中重要的结构层材料,其力学性能与变形失效机理的研究直接影响NEMS的功能实现、可靠性分析与寿命预测。首先,介绍了现有低维纳米材料力学性能测试技术,如纳米压痕法、基于原子力显微镜(AFM)的纳米力学测试法、基于电子显微镜(EM)的原位纳米力学测试法与基于微机电系统(MEMS)技术的片上纳米力学测试法,并讨论了各种测试方法的优缺点与存在的挑战性。然后,详细介绍了低维纳米材料力学测试,特别是片上纳米力学测试中的关键技术,如低维微纳米试样的拾取、操纵与固定技术、片上微驱动技术、片上微位移与微力检测技术。最后,得出基于MEMS技术的片上力学测试方法有望成为低维纳米材料力学测试的发展方向,并指出此方法中存在的问题。 展开更多
关键词 低维纳米材料 力学性能 测试技术 片上测试 纳机电系统(nems)
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移动互联网络时代MEMS技术的创新发展 被引量:6
5
作者 赵正平 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2013年第6期337-341,共5页
微电子机械系统(MEMS)技术是半导体微电子学的创新,利用Si基集成电路的平面工艺从两维加工向三维加工发展,开创了MEMS新的领域。综述并分析了与信息产业以及移动网络相关的MEMS主流产品(加速度计、陀螺仪、微麦克风、数字微镜器件(DMD)... 微电子机械系统(MEMS)技术是半导体微电子学的创新,利用Si基集成电路的平面工艺从两维加工向三维加工发展,开创了MEMS新的领域。综述并分析了与信息产业以及移动网络相关的MEMS主流产品(加速度计、陀螺仪、微麦克风、数字微镜器件(DMD)、喷墨头和RF MEMS)的技术发展现状和趋势,同时预测了MEMS新兴产品(光滤波器、微小电子鼻、微扬声器、微超声器、微能量采集器和纳机电系统(NEMS))的科研现状和面临的技术挑战。从当前世界MEMS技术发展的特点(系统集成、与CMOS工艺结合走向标准加工、纳米制造与微米、纳米融合和多应用领域扩展)出发,结合国内MEMS技术发展的现状,提出我国MEMS技术发展的建议。 展开更多
关键词 微机电系统(MEMS) 纳机电系统(nems) 加速度计 陀螺仪 微麦克风 数字微镜器件(DMD) 微能量采集器 喷墨头
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石墨烯基电子学研究进展 被引量:7
6
作者 袁明文 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2010年第10期589-594,共6页
综述了石墨烯晶体的能带结构和独特的电子性质,如双极性电场效应、单双层石墨烯效应、衬底效应、石墨烯纳米带(GNR)带隙等特殊效应的研究现状。介绍了石墨剥落技术、外延生长和化学气相淀积(CVD)等石墨烯材料的制备以及表征方法。列举... 综述了石墨烯晶体的能带结构和独特的电子性质,如双极性电场效应、单双层石墨烯效应、衬底效应、石墨烯纳米带(GNR)带隙等特殊效应的研究现状。介绍了石墨剥落技术、外延生长和化学气相淀积(CVD)等石墨烯材料的制备以及表征方法。列举了石墨烯在电子、显示、太阳电池、传感器和氢存储等方面的应用,如在石墨烯场效应管、石墨烯纳米带场效应管(SET)、石墨烯单电子晶体管、石墨烯金属晶体管、石墨烯基纳米电子机械系统(NEMS)、石墨烯分子开关以及石墨烯基高电子迁移率晶体管(HEMT)制备方面的应用。人们已经研究出不同栅长的n/p型顶栅石墨烯场效应管(GFET),并采用标准的S参数直接表征器件的高频性能。理论和实验表明,所有石墨烯纳米带场效应管(GNRFET)在室温下工作的前提是GNR的带宽尺寸小于10nm,并具有半导体场效应管的性能。 展开更多
关键词 石墨烯 石墨烯纳米带(GNR) 场效应管(FET) 单电子晶体管(SET) 纳米电子机械系统(nems)
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MEMS结构中碳纳米管的电泳沉积及其场发射特性研究 被引量:1
7
作者 郭琳瑞 陈烽 +3 位作者 叶雄英 刘力涛 伍康 周兆英 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2006年第05B期2340-2343,共4页
利用电泳沉积的方法在MEMS结构特定位置上组装碳纳米管薄膜,以此作为发射体研制基于碳纳米管场发射的传感器,并对其场发射进行了测试和分析.电镜观测与场发射实验结果表明,利用电泳沉积方法可以只在MEMS结构的特定位置沉积碳纳米管薄膜... 利用电泳沉积的方法在MEMS结构特定位置上组装碳纳米管薄膜,以此作为发射体研制基于碳纳米管场发射的传感器,并对其场发射进行了测试和分析.电镜观测与场发射实验结果表明,利用电泳沉积方法可以只在MEMS结构的特定位置沉积碳纳米管薄膜,对于4μm的发射间隙、该薄膜的场发射开启电压约为3.6V^4V,发射电压20V时的发射电流可至28μA.这种"post-MEMS"的碳纳米管薄膜组装方法具有工艺简单的特点,同时避免了碳纳米管生长对MEMS工艺环境以及器件的污染、破坏,实现了纳米材料组装与MEMS工艺的兼容. 展开更多
关键词 微机电系统(MEMS) 纳机电系统(nems) 碳纳米管 场发射
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Optically manipulated nanomechanics of semiconductor nanowires
8
作者 Chenzhi Song Shize Yang +6 位作者 Xiaomin Li Xiao Li Ji Feng Anlian Pan Wenlong Wang Zhi Xu Xuedong Bai 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2019年第5期117-121,共5页
Opto–electromechanical coupling at the nanoscale is an important topic in new scientific studies and technical applications. In this work, the optically manipulated electromechanical behaviors of individual cadmium s... Opto–electromechanical coupling at the nanoscale is an important topic in new scientific studies and technical applications. In this work, the optically manipulated electromechanical behaviors of individual cadmium sulfide(CdS) nanowires are investigated by a customer-built optical holder inside transmission electron microscope, wherein in situ electromechanical resonance took place in conjunction with photo excitation. It is found that the natural resonance frequency of the nanowire under illumination becomes considerably lower than that under darkness. This redshift effect is closely related to the wavelength of the applied light and the diameter of the nanowires. Density functional theory(DFT) calculation shows that the photoexcitation leads to the softening of CdS nanowires and thus the redshift of natural frequency, which is in agreement with the experimental results. 展开更多
关键词 opto–electromechanical coupling nano-electromechanical systems (nems) IN-SITU transmission electron MICROSCOPY (TEM) SEMICONDUCTOR NANOWIRES
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微/纳发电技术专利分析 被引量:1
9
作者 朱月仙 高利丹 +3 位作者 张娴 庞弘 付鑫金 方曙 《科学观察》 CSSCI 2012年第6期17-28,共12页
以微/纳型信息器件所需的能量供应技术为对象,对全球微/纳型发电技术相关专利产出进行定量分析,揭示当前专利活动特点,确定相关技术领域的重要研发方向与重点技术,并在综合分析基础上就今后发展提出了参考建议。主要分析工具包括汤森科... 以微/纳型信息器件所需的能量供应技术为对象,对全球微/纳型发电技术相关专利产出进行定量分析,揭示当前专利活动特点,确定相关技术领域的重要研发方向与重点技术,并在综合分析基础上就今后发展提出了参考建议。主要分析工具包括汤森科技信息集团的数据分析工具TDA(Thomson Data Analyzer)、TI(Thomson Innovation)分析平台、中国科学院国家科学图书馆专利在线分析系统2.0。 展开更多
关键词 纳发电 微电子系统(MEMS) 纳电子系统(nems)热电 专利 知识产权
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Hexagonal boron nitride nanomechanical resonators with spatially visualized motion
10
作者 Xu-Qian Zheng Jaesung Lee Philip X.-L.Feng 《Microsystems & Nanoengineering》 EI CSCD 2017年第1期196-203,共8页
Atomic layers of hexagonal boron nitride(h-BN)crystal are excellent candidates for structural materials as enabling ultrathin,two-dimensional(2D)nanoelectromechanical systems(NEMS)due to the outstanding mechanical pro... Atomic layers of hexagonal boron nitride(h-BN)crystal are excellent candidates for structural materials as enabling ultrathin,two-dimensional(2D)nanoelectromechanical systems(NEMS)due to the outstanding mechanical properties and very wide bandgap(5.9 eV)of h-BN.In this work,we report the experimental demonstration of h-BN 2D nanomechanical resonators vibrating at high and very high frequencies(from~5 to~70 MHz),and investigations of the elastic properties of h-BN by measuring the multimode resonant behavior of these devices.First,we demonstrate a dry-transferred doubly clamped h-BN membrane with~6.7 nm thickness,the thinnest h-BN resonator known to date.In addition,we fabricate circular drumhead h-BN resonators with thicknesses ranging from~9 to 292 nm,from which we measure up to eight resonance modes in the range of~18 to 35 MHz.Combining measurements and modeling of the rich multimode resonances,we resolve h-BN’s elastic behavior,including the transition from membrane to disk regime,with built-in tension ranging from 0.02 to 2 N m−1.The Young’s modulus of h-BN is determined to be EY≈392 GPa from the measured resonances.The ultrasensitive measurements further reveal subtle structural characteristics and mechanical properties of the suspended h-BN diaphragms,including anisotropic built-in tension and bulging,thus suggesting guidelines on how these effects can be exploited for engineering multimode resonant functions in 2D NEMS transducers. 展开更多
关键词 Hexagonal boron nitride(h-BN) multimode resonances nanoelectromechanical systems(nems) resonators spatial mapping Young’s modulus
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