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∑HfF_5^- current monitoring with off-axis Faraday cup in AMS measurement of ^(182)Hf at CIAE 被引量:1
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作者 LI Zhenyu HE Ming +9 位作者 DONG Kejun LI Chaoli HE Guozhu HE Xianwen ZHANG Wei HU Hao ZHENG Guowen LI Heng WU Shaoyong JIANG Shan 《Nuclear Science and Techniques》 SCIE CAS CSCD 2012年第4期199-202,共4页
In order to reduce the systematic uncertainties caused by the sequential injection in AMS measurement of ^(182)Hf,a technique for instantaneous monitoring of off-axis∑HfF_5^- current was developed in the AMS laborato... In order to reduce the systematic uncertainties caused by the sequential injection in AMS measurement of ^(182)Hf,a technique for instantaneous monitoring of off-axis∑HfF_5^- current was developed in the AMS laboratory at China Institute of Atomic Energy(CIAE).The stability and reliability of this method have been experimentally verified.As a result,the accuracy for AMS measurement of^(182)Hf was significantly improved. 展开更多
关键词 中国原子能科学研究院 AMS 测量 法拉第杯 离轴 HF 监控 电流
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Study of plasma parameters of coaxial plasma source using triple Langmuir probe and Faraday cup diagnostics
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作者 Sunil KANCHI Rohit SHUKLA Archana SHARMA 《Plasma Science and Technology》 SCIE EI CAS CSCD 2024年第4期94-100,共7页
Coaxial plasma guns are a type of plasma source that produces plasma which propagates radially and axially controlled by the shape of the ground electrode, which has attracted much interest in several applications. In... Coaxial plasma guns are a type of plasma source that produces plasma which propagates radially and axially controlled by the shape of the ground electrode, which has attracted much interest in several applications. In this work, a 120° opening angle of CPG nozzle is used as a plasma gun configuration that operates at the energy of 150 J. The ionization of polyethylene insulator between the electrodes of the gun produces a cloud of hydrogen and carbon plasma.The triple Langmuir probe and Faraday cup are used to measure plasma density and plasma temperature. These methods are used to measure the on-axis and off-axis plasma divergence of the coaxial plasma gun. The peak values of ion densities measured at a distance of 25 mm on-axis from the plasma gun are(1.6±0.5)×10^(19)m^(-3)and(2.8±0.6)×10^(19)m^(-3)for hydrogen and carbon plasma respectively and the peak temperature is 3.02±0.5 eV. The mean propagation velocity of plasma is calculated using the transit times of plasma at different distances from the plasma gun and is found to be 4.54±0.25 cm/μs and 1.81±0.18 cm/μs for hydrogen and carbon plasma respectively. The Debye radius is obtained from the measured experimental data that satisfies the thin sheath approximation. The shot-to-shot stability of plasma parameters facilitates the use of plasma guns in laboratory experiments. These types of plasma sources can be used in many applications like plasma opening switches, plasma devices, and as plasma sources. 展开更多
关键词 coaxial plasma source triple Langmuir probe faraday cup plasma density plasma temperature
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STUDY OF THE DETECTION ERROR OF A MODIFIED FARADAY CUP IN SOFT VACUUM FOR MEASURING ELECTRON ENERGY SPECTRA
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作者 罗宗南 崔一平 +1 位作者 陈松生 杨正名 《Journal of Southeast University(English Edition)》 EI CAS 1994年第1期29-33,共5页
A new modified Faradey Cup was used for measuring electron energydescriptions of the soft vacuum electron beam.In order to determine the accuracy ofthe new Faraday Cup, a special apparatus was used.The experimental re... A new modified Faradey Cup was used for measuring electron energydescriptions of the soft vacuum electron beam.In order to determine the accuracy ofthe new Faraday Cup, a special apparatus was used.The experimental results are re-ported. 展开更多
关键词 ENERGY spectrum SOFT VACUUM ELECTRON beam faraday cup
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Energy and flux measurements of laser-induced silver plasma ions by using Faraday cup
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作者 Muhammad Usman Aslam BHATTI Shazia BASHIR +4 位作者 Asma HAYAT Khaliq MAHMOOD Rana AYUB Mubashir JAVED Muhammad Shahzad KHAN 《Plasma Science and Technology》 SCIE EI CAS CSCD 2021年第8期188-198,共11页
Silver(Ag)plasma has been generated by employing Nd:YAG laser(532 nm,6 ns)laser irradiation.The energy and flux of ions have been evaluated by using Faraday cup(FC)using time of flight(TOF)measurements.The dual peak s... Silver(Ag)plasma has been generated by employing Nd:YAG laser(532 nm,6 ns)laser irradiation.The energy and flux of ions have been evaluated by using Faraday cup(FC)using time of flight(TOF)measurements.The dual peak signals of fast and slow Ag plasma ions have been identified.Both energy and flux of fast and slow ions tend to increase with increasing irradiance from 7 GW cm-2 to 17.9 GW cm-2 at all distances of FC from the target surface.Similarly a decreasing trend of energies and flux of ions has been observed with increasing distance of FC from the target.The maximum value of flux of the fast component is21.2×10^(10) cm^(-2),whereas for slow ions the maximum energy and flux values are 8.8 keV,8.2×10^(10) cm^(-2) respectively.For the analysis of plume expansion dynamics,the angular distribution of ion flux measurement has also been performed.The overall analysis of both spatial and angular distributions of Ag ions revealed that the maximum flux of Ag plasma ions has been observed at an optimal angle of~15°.In order to confirm the ion acceleration by ambipolar field,the self-generated electric field(SGEF)measurements have also been performed by electric probe;these SGEF measurements tend to increase by increasing laser irradiance.The maximum value of 232 V m^(-1) has been obtained at a maximum laser irradiance of 17.9 GW cm^(-2). 展开更多
关键词 laser ablation laser-induced plasma ions faraday cup time of flight measurements self-generated electric field angular distribution
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LA-MC-ICP-MS微区原位Pb同位素的分析精度研究:以两种类型检测器为例
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作者 余红霞 张银慧 +2 位作者 刘希军 吴玲玲 洪路兵 《地球化学》 北大核心 2025年第1期114-125,共12页
根据样品的Pb含量,本研究建立了法拉第杯-离子计数器(FC-IC)和全法拉第杯(FC)两种杯结构模式微区原位分析Pb同位素比值的方法。因^(206)Pb、^(207)Pb和^(208)Pb在两种模式中均采用FC检测器分析,两种模式下^(20y)Pb/^(206)Pb(y=7、8)值... 根据样品的Pb含量,本研究建立了法拉第杯-离子计数器(FC-IC)和全法拉第杯(FC)两种杯结构模式微区原位分析Pb同位素比值的方法。因^(206)Pb、^(207)Pb和^(208)Pb在两种模式中均采用FC检测器分析,两种模式下^(20y)Pb/^(206)Pb(y=7、8)值的相对标准误差(2RSE)一致,仅与信号强度有关。同等信号强度下(IC线性范围内),^(20x)Pb/^(204)Pb(x=6、7、8)值的2RSE在FC-IC杯结构模式优于FC杯结构模式,且两种模式下^(20x)Pb/^(204)Pb值的2RSE差异随^(208)Pb信号强度的增加而减少,最终均趋于约0.06%。FC-IC杯结构模式分析在^(208)Pb信号强度为0.10~0.25 V时,或FC杯结构模式分析在^(208)Pb信号强度>0.50 V时,均可获得较好的Pb同位素比值的精度和准确度。对于Pb含量较高(>40μg/g)或者尺寸较大的样品,优先采用激光大束斑结合FC杯结构模式可获得高精度的Pb同位素比值;对于Pb含量较低(≈10μg/g)或者尺寸有限的样品,FC-IC杯结构模式获得的Pb同位素精度优于FC杯结构模式。利用建立的微区原位Pb同位素分析方法,本研究分析了不同Pb含量标样的Pb同位素组成,分析结果在误差范围内均与参考值一致。 展开更多
关键词 LA-MC-ICP-MS PB含量 原位Pb同位素分析 地质标准样品 法拉第型检测器-离子计数型检测器(FC-IC) 法拉第型检测器(FC)
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VIISta HCS离子注入机在离子束优化与检测期间的金属污染探究及改善
6
作者 李天清 《电子与封装》 2025年第2期74-78,共5页
针对半导体行业所面临的金属污染问题,VIISta HCS离子注入机虽已具备若干成熟的改进措施,然而在先进制程对离子注入工艺金属纯净度要求日益严格的当下,迫切需要明确该机型金属污染的其他潜在原因。该机型在进行离子束优化与检测的过程中... 针对半导体行业所面临的金属污染问题,VIISta HCS离子注入机虽已具备若干成熟的改进措施,然而在先进制程对离子注入工艺金属纯净度要求日益严格的当下,迫切需要明确该机型金属污染的其他潜在原因。该机型在进行离子束优化与检测的过程中,设备会进行气流、电压、电流以及其他硬件参数的调整。这些调整可能对机台的金属析出产生影响,从而导致污染。经验证,设备在对离子束参数进行检查后,注入的硅片中金属铝的含量有所上升。针对铝含量增加的问题进行了理论分析和实验验证。结果表明,通过多次手动移动图形法拉第杯,可以有效促进铝元素的提前析出。通过使用特定程序的挡片来执行离子束通道清洁作业,成功实现了铝洁净度34%的提升,显著缓解了在离子束参数检查过程中铝含量变差的问题,提高了工艺稳定性。 展开更多
关键词 离子注入 离子束 金属污染 法拉第杯
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Two-dimensional investigation of characteristic parameters and their gradients for the self-generated electric and magnetic fields of laser-induced zirconium plasma
7
作者 Tayyaba SAJID Shazia BASHIR +2 位作者 Mahreen AKRAM Maira RAZZAQ Khaliq MAHMOOD 《Plasma Science and Technology》 SCIE EI CAS CSCD 2024年第5期138-155,共18页
Two-dimensional diagnosis of laser-induced zirconium(Zr)plasma has been experimentally performed using the time-of-flight method by employing Faraday cups in addition to electric and magnetic probes.The characteristic... Two-dimensional diagnosis of laser-induced zirconium(Zr)plasma has been experimentally performed using the time-of-flight method by employing Faraday cups in addition to electric and magnetic probes.The characteristic parameters of laser-induced Zr plasma have been evaluated as a function of different laser irradiances ranging from 4.5 to 11.7 GW cm-2 at different axial positions of 1–4 cm with a fixed radial distance of 2 cm.A well-supporting correlation between the plume parameters and the laser-plasma-produced spontaneous electric and magnetic(E and B)fields was established.The measurements of the characteristic parameters and spontaneously induced fields were observed to have an increasing trend with the increasing laser irradiance.However,when increasing the spatial distance in both the axial and radial directions,the plasma parameters(electron/ion number density,temperature and kinetic energy)did not show either continuously increasing or decreasing trends due to various kinetic and dynamic processes during the spatial evolution of the plume.However,the E and B fields were observed to be always diffusing away from the target.The radial component of electron number densities remained higher than the axial number density component,whereas the axial ion number density at all laser irradiances and axial distances remained higher than the radial ion number density.The higher axial self-generated electric field(SGEF)values than radial SGEF values are correlated with the effective charge-separation mechanism of electrons and ions.The generation of a self-generated magnetic field is observed dominantly in the radial direction at increasing laser irradiance as compared to the axial one due to the deflection of fast-moving electrons and the persistence of two-electron temperature on the radial axis. 展开更多
关键词 faraday cup axial and radial expansion space-charge effect laser-induced zirconium plasma two-electron temperature distribution self-generated electric and magnetic fields
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用偏压法拉第筒测量强流脉冲离子束 被引量:13
8
作者 何小平 石磊 +1 位作者 张嘉生 邱爱慈 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2000年第6期753-755,共3页
分析了偏压法拉第筒测量强流脉冲离子束的原理和影响测量准确度的主要因素 ,研制了一种结构简单的偏压离子法拉第筒阵列 ,利用该装置测量了 2 0 0 k V小型强流脉冲离子束源的束流密度分布 ,束流中心密度最大值约为 1 70 A/cm2 。
关键词 脉冲离子束 偏压法拉第筒 束流密度分布 测量原理
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测量电子束流的小型法拉第筒 被引量:8
9
作者 刘金亮 李传胪 +2 位作者 何一平 谭启美 刘存华 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 1993年第4期629-632,共4页
介绍一种测量束流强度不大于50kA,能量不超过0.8MeV的小型法拉第筒。经标定,此法拉第筒上升前沿小于6ns。已用于契伦柯夫自由电子激光的传输束流测量。
关键词 法拉第筒 束流强度 电子束 测量
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用于FAIMS系统的法拉第筒离子检测器 被引量:12
10
作者 王晓浩 张亮 唐飞 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第1期208-212,共5页
介绍了一种应用于FAIMS系统的法拉第筒离子检测器。法拉第筒采用电阻率为1.678×10-8Ω·m的紫铜材料。屏蔽壳尺寸为40×43×37mm3,壁厚为3mm。气路设计为T型,进气口直径Φ6,出气口为双排8×Φ1.6均布小孔。铜敏感... 介绍了一种应用于FAIMS系统的法拉第筒离子检测器。法拉第筒采用电阻率为1.678×10-8Ω·m的紫铜材料。屏蔽壳尺寸为40×43×37mm3,壁厚为3mm。气路设计为T型,进气口直径Φ6,出气口为双排8×Φ1.6均布小孔。铜敏感极经过化学处理,以提高表面质量与抗氧化能力。与KEITHLEY237电流表级联,测得系统的噪声水平在50fA以下。实验测得FAIMS输出信号为480pA,远远大于系统噪声。该法拉第筒满足了现有FAIMS系统对离子检测器的要求。 展开更多
关键词 FAIMS 法拉第筒 离子检测器 微弱电流 屏蔽
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法拉第筒用于大面积电子束均匀性诊断 被引量:6
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作者 唐影 钱航 +7 位作者 易爱平 黄欣 于力 刘晶儒 苏建仓 丁臻捷 丁永忠 俞建国 《核电子学与探测技术》 CAS CSCD 北大核心 2008年第3期667-670,630,共5页
在电子束泵浦气体激光实验中,大面积均匀电子束是获得高效能激光输出的必要条件。本文介绍了利用SPG-200脉冲功率源产生大面积均匀电子束实验中,利用法拉第筒进行大面积电子束均匀性诊断的研究工作。重点介绍了法拉第筒的测量原理、结... 在电子束泵浦气体激光实验中,大面积均匀电子束是获得高效能激光输出的必要条件。本文介绍了利用SPG-200脉冲功率源产生大面积均匀电子束实验中,利用法拉第筒进行大面积电子束均匀性诊断的研究工作。重点介绍了法拉第筒的测量原理、结构及标定,给出了大面积电子束发射均匀性曲线,并对实验结果进行了分析。 展开更多
关键词 法拉第筒 电子束均匀性 收集体 取样电阻
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法拉第筒阵列探测器在电子束束流均匀度测量中的应用 被引量:7
12
作者 徐治国 王金川 +4 位作者 肖国青 郭忠言 武丽杰 张力 毛瑞士 《核电子学与探测技术》 CAS CSCD 北大核心 2005年第4期439-441,375,共4页
描述一种法拉第筒阵列探测器,其由拦截式法拉第筒、抑制电极、绝缘层和底座等组成。应用该探测器测量了电子加速器的束流均匀度,计算了被辐照样品的吸收剂量,将为电子加速器的改造、生物辐照、材料辐照提供重要参数。
关键词 法拉第筒阵列 束流均匀度 吸收剂量
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限口法拉第筒的研制 被引量:3
13
作者 苏丹 林敏 +4 位作者 陈义珍 孟宪芳 陈克胜 徐利军 徐进章 《核技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第10期766-768,共3页
自行研制了一种限口法拉第筒,用于确定20 MeV以下能量质子入射到不同材料中的吸收剂量。与传统法拉第筒相比,限口法拉第筒的改进在于:抑制电极由外筒和回弯环两部分构成,回弯环改变了法拉第筒的电场分布,增强了电场对次级电子的束缚能力... 自行研制了一种限口法拉第筒,用于确定20 MeV以下能量质子入射到不同材料中的吸收剂量。与传统法拉第筒相比,限口法拉第筒的改进在于:抑制电极由外筒和回弯环两部分构成,回弯环改变了法拉第筒的电场分布,增强了电场对次级电子的束缚能力.减小了对入射离子束的影响,提高了测量的准确度。 展开更多
关键词 法拉第筒 次级电子 抑制电压 吸收剂量
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一种微型FAIMS传感器芯片的研制 被引量:10
14
作者 李华 王晓浩 +4 位作者 唐飞 张亮 杨吉 吝涛 丁力 《物理化学学报》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2010年第5期1355-1363,共9页
基于微机电系统(MEMS)技术,研制了一种微型高场非对称波形离子迁移谱(FAIMS)传感器芯片.芯片尺寸为18.8mm×12.4mm×1.2mm,由离子化区、迁移区、离子检测区组成.采用真空紫外灯离子源在大气压环境下对样品进行离子化,经过离子... 基于微机电系统(MEMS)技术,研制了一种微型高场非对称波形离子迁移谱(FAIMS)传感器芯片.芯片尺寸为18.8mm×12.4mm×1.2mm,由离子化区、迁移区、离子检测区组成.采用真空紫外灯离子源在大气压环境下对样品进行离子化,经过离子化区中聚焦电极的电场作用,实现离子在进入迁移区之前的聚焦,提高离子信号的强度.通过在上下玻璃上溅射Au/Cr(300nm/30nm)金属,并与厚度为200μm、采用感应耦合等离子体(ICP)工艺刻蚀的硅片键合,形成迁移区的矩形通道,尺寸为10mm×5mm×0.2mm.离子检测区为三排直径200μm、间距100μm交错排列的圆柱阵列式微法拉第筒,能同时检测正负离子.采用频率为2MHz,最大电压为364V,占空比为30%的高场非对称方波电压进行FAIMS芯片实验.以丙酮和甲苯为实验样品,载气流速80L·h-1,补偿电压从-10V到3V以0.1V的步长进行扫描,得到了丙酮和甲苯的FAIMS谱图,验证了FAIMS芯片的性能.丙酮和甲苯的FAIMS-MS实验进一步表明FAIMS系统实现了离子分离和过滤功能. 展开更多
关键词 高场非对称波形离子迁移谱 微机电系统 高场非对称方波 微法拉第杯
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MOS器件在不同源辐照下总剂量效应的异同性研究 被引量:2
15
作者 王桂珍 何宝平 +2 位作者 姜景和 张正选 罗尹虹 《微电子学》 CAS CSCD 北大核心 2004年第5期532-535,共4页
 介绍了加固型CMOS电路在60Co-γ射线源、10MeV以下的质子、1~2MeV的电子等辐射源辐照下的总剂量效应实验。结果表明,在相同吸收剂量和+5V栅压的偏置条件下,1MeV的电子与60Co-γ射线源对器件的损伤相当。质子与60Co-γ射线源对器件的...  介绍了加固型CMOS电路在60Co-γ射线源、10MeV以下的质子、1~2MeV的电子等辐射源辐照下的总剂量效应实验。结果表明,在相同吸收剂量和+5V栅压的偏置条件下,1MeV的电子与60Co-γ射线源对器件的损伤相当。质子与60Co-γ射线源对器件的辐射损伤,在不同的栅压偏置下有不同的结果。+5V栅压下,能量在10MeV以下的质子对器件的损伤小于60Co-γ射线源,且质子对器件的辐射损伤随着质子能量的增加而增加;在零栅压的偏置条件下,质子对器件的损伤与60Co-γ射线源对器件的损伤相当。通过对实验结果的分析认为,用实验室常用的60Co-γ射线源可以模拟MOS器件在质子、电子辐射环境下的最劣总剂量效应。 展开更多
关键词 辐射效应 faraday 阈值电压 MOS器件 CMOS电路
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行波管电子注测量分析系统 被引量:5
16
作者 韦宇祥 黄明光 +1 位作者 刘濮鲲 郝保良 《微波学报》 CSCD 北大核心 2010年第S1期512-515,共4页
初步提出了一台行波管电子注测量分析系统的设计方案。进一步分析了基于法拉第筒探针的脉冲测量的方法,并考虑脉冲上升沿的抖动特性造成电子注的不稳定性,减少测量误差。分别对测量电子注纵向速度分布的两种方法进行了探讨。
关键词 电子注剖面参数 法拉第筒探针 纵向速度分布 能量分布分析器
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利用法拉第筒测试环形强流电子束束流 被引量:2
17
作者 朱晓欣 谭维兵 +3 位作者 苏兆峰 宋玮 胡祥刚 李小泽 《太赫兹科学与电子信息学报》 北大核心 2019年第3期536-540,共5页
通过优化设计法拉第筒的响应电阻和分布电感,在“TPG700”平台上对无箔二极管阴极发射的环形电子束束流进行轴向测试。结果表明,无波二极管工作在低磁场(<1 T)条件下,在二极管电压较低时,优化后的法拉第筒测试获得的电子束束流前沿较... 通过优化设计法拉第筒的响应电阻和分布电感,在“TPG700”平台上对无箔二极管阴极发射的环形电子束束流进行轴向测试。结果表明,无波二极管工作在低磁场(<1 T)条件下,在二极管电压较低时,优化后的法拉第筒测试获得的电子束束流前沿较慢,随着二极管电压的升高,电子束束流前沿明显变快;在强磁场(>2 T)条件下,法拉第筒测试结果与罗果夫斯基线圈测试结果一致。该结果表明,相比于罗果夫斯基线圈,法拉第筒更能准确地测试出无箔二极管的前向电子束束流。 展开更多
关键词 束流测量 法拉第筒 二极管电压 二极管电流
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法拉第筒法校准丙氨酸对质子吸收剂量技术研究 被引量:2
18
作者 林敏 苏丹 +2 位作者 陈义珍 徐利军 陈克胜 《宇航计测技术》 CSCD 2010年第1期70-74,共5页
从低能质子入手,采用基于法拉第筒的质子吸收剂量校准方法,满足空间辐射对质子吸收剂量的校准需求。建立了一套法拉第筒法对薄膜剂量计的质子吸收剂量校准系统,该系统由束斑观测单元、束流散射单元、束流监测单元、旋转靶室以及法拉第... 从低能质子入手,采用基于法拉第筒的质子吸收剂量校准方法,满足空间辐射对质子吸收剂量的校准需求。建立了一套法拉第筒法对薄膜剂量计的质子吸收剂量校准系统,该系统由束斑观测单元、束流散射单元、束流监测单元、旋转靶室以及法拉第筒探测单元组成,同时开展了法拉第筒法对丙氨酸薄膜剂量计的质子吸收剂量校准技术研究。 展开更多
关键词 法拉第筒 丙氨酸薄膜 质子 吸收剂量
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动态粉体静电测量技术的研究进展 被引量:6
19
作者 王芳 王靖岱 阳永荣 《化工自动化及仪表》 CAS 2008年第5期1-6,11,共7页
综述了气力输送和气固流态化过程中绝缘粉体的静电测量技术,包括法拉第筒法和静电探头法,分析了这两种方法的优缺点,指出应在发展新型粉体静电测量手段的基础上,着力于探究静电产生的机理及主要影响因素,从而在根本上减少静电的产生和... 综述了气力输送和气固流态化过程中绝缘粉体的静电测量技术,包括法拉第筒法和静电探头法,分析了这两种方法的优缺点,指出应在发展新型粉体静电测量手段的基础上,着力于探究静电产生的机理及主要影响因素,从而在根本上减少静电的产生和积累。 展开更多
关键词 气固流化床 绝缘粉体 静电 法拉第筒 静电探头
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上海原子核研究所的6MV串列静电加速器质谱计及其应用 被引量:2
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作者 程晓伍 刘联璠 +9 位作者 赖伟全 斯厚智 盛树刚 易惟熙 周慰囡 张维忠 朱希恺 沈承德 孙国燕 王纳秀 《核技术》 CAS CSCD 北大核心 1993年第8期511-512,共2页
加速器质谱计(AMS)是70年代末发展起来的超微量分析技术,它与常规质谱计比较,可以利用某些元素不能形成负离子的性质和将待测同位素加速至较高能量(~MeV/A)用粒子鉴别器排除同质异位素的干扰,并在剥离器将分子离子破裂成原子离子,然后... 加速器质谱计(AMS)是70年代末发展起来的超微量分析技术,它与常规质谱计比较,可以利用某些元素不能形成负离子的性质和将待测同位素加速至较高能量(~MeV/A)用粒子鉴别器排除同质异位素的干扰,并在剥离器将分子离子破裂成原子离子,然后被电磁元件排除。它与测量放射性方法比较,具有探测效率较高、不需要对样品作放化提纯、对非放射性同位素也同样有效等优点。因此它具有灵敏度高(10^(-12) 展开更多
关键词 加速器质谱计 溅射源 质谱仪
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