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Antireflective and Self-cleaning Properties of SiO2/TiO2 Double-Layer Films Prepared by Cost-Effective Sol-Gel Process
1
作者 Hui Zhang Duo-wang Fan +1 位作者 Tian-zhi Yu Cheng-long Wang 《Chinese Journal of Chemical Physics》 SCIE CAS CSCD 2015年第6期-,共4页
关键词 sio2/TiO2 double-layer films ANTIREFLECTIVE SELF-CLEANING Sol-gel process
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溶胶-凝胶SiO2薄膜氨热两步后处理 被引量：5
2
作者 章春来 祖小涛 +9 位作者 蒋晓东 袁晓东 王毕艺 宴良宏 张洪亮 徐世珍 田东斌 尹伟 赵松楠 吕海兵 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第6期956-960,共5页
以正硅酸乙酯为前驱体,氨水作催化剂,采用溶胶-凝胶法提拉镀制SiO2双面膜,对薄膜进行氨处理和热处理。采用椭偏仪、分光光度计、红外光谱、扫描探针显微镜、静滴接触角测量仪表征薄膜的特性。研究表明:经氨热两步后处理,膜厚持续减小,... 以正硅酸乙酯为前驱体,氨水作催化剂,采用溶胶-凝胶法提拉镀制SiO2双面膜,对薄膜进行氨处理和热处理。采用椭偏仪、分光光度计、红外光谱、扫描探针显微镜、静滴接触角测量仪表征薄膜的特性。研究表明:经氨热两步后处理,膜厚持续减小,折射率经氨处理先增大了0.236,再经热处理又减小了0.202,膜层透光性变好,透过率峰值持续向短波方向移动;经两步后处理的膜面平整度明显变好,与水的接触角先增大到58.92°后减小到38.07°。 展开更多
关键词 溶胶-凝胶 二氧化硅薄膜 氨处理 热处理 椭偏仪
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交联PVA／SiO2复合膜的制备及性能 被引量：23
3
作者 黄静 赵琦 +1 位作者 卓坚锐 包建军 《塑料》 CAS CSCD 北大核心 2010年第1期7-8,41,共3页
采用一种氮丙啶交联剂对聚乙烯醇(PVA)进行交联,通过红外等测试表征研究交联剂用量对交联膜化学结构、力学性能、溶胀性及耐水性的影响,从而确定薄膜性能最优时交联剂的用量。当交联剂用量质量分数为3%时,其拉伸强度和断裂伸长率分别提... 采用一种氮丙啶交联剂对聚乙烯醇(PVA)进行交联,通过红外等测试表征研究交联剂用量对交联膜化学结构、力学性能、溶胀性及耐水性的影响,从而确定薄膜性能最优时交联剂的用量。当交联剂用量质量分数为3%时,其拉伸强度和断裂伸长率分别提高25.9%和38.1%,力学性能得到明显改善。将性能最优交联膜与纳米SiO2复合,测试复合膜的力学性能,结果表明:其性能得到进一步提高。 展开更多
关键词 氮丙啶交联剂 PVA 交联 sio2 复合膜
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SiO2薄膜热应力模拟计算 被引量：10
4
作者 吴靓臻 唐吉玉 +3 位作者 马远新 孔蕴婷 文于华 陈俊芳 《华南师范大学学报（自然科学版）》 CAS 北大核心 2009年第1期52-55,共4页
薄膜内应力严重影响薄膜在实际中的应用.该文采用有限元模型对S iO2薄膜热应力进行模拟计算,验证了模型的准确性.计算了薄膜热应力的大小和分布,分析了不同镀膜温度、不同膜厚和不同基底厚度生长环境下热应力的大小,得到了相应的变化趋... 薄膜内应力严重影响薄膜在实际中的应用.该文采用有限元模型对S iO2薄膜热应力进行模拟计算,验证了模型的准确性.计算了薄膜热应力的大小和分布,分析了不同镀膜温度、不同膜厚和不同基底厚度生长环境下热应力的大小,得到了相应的变化趋势图,对薄膜现实生长具有一定的指导意义. 展开更多
关键词 热应力 sio2薄膜 有限元 模拟
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1.064μm脉冲激光作用下SiO2薄膜纹波损伤的模拟 被引量：4
5
作者 袁晓东 李绪平 +8 位作者 郑万国 祖小涛 向霞 蒋晓东 尹烨 徐世珍 郭袁俊 田东斌 王毕艺 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第3期509-512,共4页
用1.064μm波长的单脉冲(6 ns)激光对K9玻璃基底上电子束沉积的单层SiO2薄膜进行了辐照损伤实验。以扫描电镜对K9基底的断面进行分析,并采用表面热透镜装置对膜层中的缺陷进行了检测,最后采用Matlab偏微分工具箱对缺陷的散射光光场进行... 用1.064μm波长的单脉冲(6 ns)激光对K9玻璃基底上电子束沉积的单层SiO2薄膜进行了辐照损伤实验。以扫描电镜对K9基底的断面进行分析,并采用表面热透镜装置对膜层中的缺陷进行了检测,最后采用Matlab偏微分工具箱对缺陷的散射光光场进行了有限元模拟。实验研究表明:膜层中存在缺陷,基底中也存在大量缺陷。模拟研究表明:缺陷的位置越深,形成的条纹间距也越宽;当缺陷的形状不规则时,在局部出现近似平行的纹波结构;当缺陷的数目增加时,这些缺陷的散射光的叠加就形成相互叠加的条纹。 展开更多
关键词 激光诱导损伤 sio2薄膜 电子束蒸发 纹波损伤
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溶胶-凝胶SiO2酸性膜与碱性膜的激光损伤行为 被引量：4
6
作者 郭袁俊 祖小涛 +5 位作者 蒋晓东 袁晓东 赵松楠 徐世珍 王毕艺 田东斌 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第6期939-942,共4页
采用溶胶-凝胶技术分别在K9基片上镀制了光学厚度相近的单层SiO2酸性膜和碱性膜。测试了两类薄膜的激光损伤阈值;分别采用透射式光热透镜技术、椭偏仪、原子力显微镜、扫描电镜和光学显微镜研究了两类薄膜的热吸收、孔隙率、微观表面形... 采用溶胶-凝胶技术分别在K9基片上镀制了光学厚度相近的单层SiO2酸性膜和碱性膜。测试了两类薄膜的激光损伤阈值;分别采用透射式光热透镜技术、椭偏仪、原子力显微镜、扫描电镜和光学显微镜研究了两类薄膜的热吸收、孔隙率、微观表面形貌、激光辐照前薄膜的杂质和缺陷状况以及激光辐照后薄膜的损伤形貌。实验结果表明:相对于碱性膜,酸性膜有更大的热吸收和更小的孔隙率,因此其激光损伤阈值较小;两类薄膜不同的损伤形貌与薄膜的热吸收系数与微观结构有关。 展开更多
关键词 激光损伤阈值 溶胶-凝胶 sio2薄膜 热吸收 孔隙率 损伤形貌
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溶胶-凝胶法制备TiO2-SiO2多层增透膜 被引量：7
7
作者 王永强 胡晓云 +3 位作者 苗仲海 周引穗 黄亚娜 马一平 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第6期1165-1168,共4页
在酸催化体系中以钛酸丁酯为前驱体制得TiO2溶胶，以正硅酸乙酯（TEOS）为前驱体制得SiO2溶胶，采用提拉法在普通载玻片上镀膜．辅助MASS膜系设计软件进行模拟计算，得到了透射比为99％的膜片．根据理论模拟结果，实验采用交叉镀膜，制... 在酸催化体系中以钛酸丁酯为前驱体制得TiO2溶胶，以正硅酸乙酯（TEOS）为前驱体制得SiO2溶胶，采用提拉法在普通载玻片上镀膜．辅助MASS膜系设计软件进行模拟计算，得到了透射比为99％的膜片．根据理论模拟结果，实验采用交叉镀膜，制备出了宽带增透TiO2-SiO2多层膜．用紫外可见分光光度计测量了样品的透射光谱．实验发现，样品具有明显的宽带增透效果：在400～700nm波段，当光线垂直入射时，增透5．5％左右；45°角入射时，可增透10％． 展开更多
关键词 溶胶-凝胶法 增透膜 膜系设计 透射光谱 TiO2-sio2多层膜
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SiO2-TiO2薄膜的制备及光致超亲水性能研究 被引量：9
8
作者 吕德涛 郭宪英 +1 位作者 周娟 李荣超 《涂料工业》 CAS CSCD 北大核心 2010年第6期18-20,28,共4页
为了制备具有良好的光致超亲水性的SiO2-TiO2薄膜,实验用溶胶凝胶法结合超声技术以正硅酸乙酯(TEOS)和钛酸丁酯(TBOT)为前驱体制备SiO2-TiO2溶胶;采用浸渍提拉法在普通载玻片上涂膜;然后分别运用微波炉和马弗炉2种不同的烧结方式进行热... 为了制备具有良好的光致超亲水性的SiO2-TiO2薄膜,实验用溶胶凝胶法结合超声技术以正硅酸乙酯(TEOS)和钛酸丁酯(TBOT)为前驱体制备SiO2-TiO2溶胶;采用浸渍提拉法在普通载玻片上涂膜;然后分别运用微波炉和马弗炉2种不同的烧结方式进行热处理制得产品。将所得产品分别进行接触角、紫外-可见分光光度计、FT-IR、AFM测试。结果表明:马弗炉烧结得到的SiO2-TiO2薄膜亲水性要好于微波炉烧结,并且在V(TEOS)∶V(TBOT)=0.75∶1时,接触角最小,可达到4.3°,满足防污自清洁的要求;红外谱图说明有Ti—O—Si键的生成,证明SiO2和TiO2之间生成了复合氧化物。 展开更多
关键词 溶胶凝胶法 sio2-TIO2 亲水 薄膜 烧结
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溶胶凝胶法制备WS2-SiO2可饱和吸收体的探究 被引量：1
9
作者 林涛 孙航 +7 位作者 李晶晶 张天杰 郭恩民 孙锐娟 王茜 李璐 王勇刚 段玉鹏 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第1期85-93,共9页
WS2二维材料独特的光吸收体特性使其成为可饱和吸收体的优选材料。溶胶凝胶法具有操作方便、设备简单、成本低廉等优点。利用溶胶凝胶法在石英基片上制备SiO_2材料为主体的WS2-SiO_2薄膜是一种实现可饱和吸收体的新思路。本文通过改变... WS2二维材料独特的光吸收体特性使其成为可饱和吸收体的优选材料。溶胶凝胶法具有操作方便、设备简单、成本低廉等优点。利用溶胶凝胶法在石英基片上制备SiO_2材料为主体的WS2-SiO_2薄膜是一种实现可饱和吸收体的新思路。本文通过改变实验过程中原料配比、热处理条件、旋涂速度等实验参数确定出溶胶凝胶法制备SiO_2薄膜的最佳条件,在此基础上再加入WS2溶液制备出WS2-SiO_2薄膜可饱和吸收体,通过共聚焦显微镜、透射电子显微镜、拉曼光谱、X射线衍射等方法对制备的样品进行了测试分析,结果表明采用本文提出的制作方法可以得到外观良好的WS2-SiO_2薄膜可饱和吸收体、WS2在SiO_2薄膜中呈多层的多晶颗粒,晶面指数主要为(002)、(004)、(101)、(103)、(006)、(105)。 展开更多
关键词 溶胶凝胶法 WS2 可饱和吸收体 sio2薄膜
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改性纳米SiO2成膜复合涂层对混凝土疏水和抗碳化性能的影响 被引量：7
10
作者 韩建军 王俊伟 +3 位作者 李果 张雷 吕亚军 秦一鸣 《科学技术与工程》 北大核心 2019年第19期268-273,共6页
为了研究改性纳米SiO2+有机成膜涂层对混凝土疏水和抗碳化性能的影响,配制了6种改性和未改性纳米SiO2有机成膜复合涂料,测定了涂覆复合涂料后混凝土的表面接触角,确定了涂料中纳米SiO2的最佳添加量。通过测定涂层混凝土的吸水率发现,改... 为了研究改性纳米SiO2+有机成膜涂层对混凝土疏水和抗碳化性能的影响,配制了6种改性和未改性纳米SiO2有机成膜复合涂料,测定了涂覆复合涂料后混凝土的表面接触角,确定了涂料中纳米SiO2的最佳添加量。通过测定涂层混凝土的吸水率发现,改性和未改性纳米SiO2可以显著提高涂层混凝土的憎水性,其中改性纳米SiO2的改善幅度更大,同时混凝土的吸水率与其接触角呈一阶线性负相关的关系;通过涂层混凝土的加速碳化试验发现,改性和未改性纳米SiO2可以有效改善涂层混凝土的抗碳化性能,其中改性纳米SiO2的改善效果更好,而且还发现涂层混凝土的疏水能力和抗碳化性能之间存在正相关关系,即表面涂层疏水性能越强,混凝土抗碳化性能越好。 展开更多
关键词 混凝土 改性纳米sio2 有机成膜涂层 疏水性能 抗碳化性能
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不同nCu^2＋∶nCit^3-的Cu(Ⅱ)-Cit^3-SiO2溶胶中电沉积制备CuxO-SiO2复合薄膜 被引量：3
11
作者 吴亚珍 辜敏 《无机化学学报》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2016年第4期617-624,共8页
以醋酸铜(Cu(Ac)2)和正硅酸乙酯(TEOS)为前驱体,柠檬酸钠(Na_3Cit)为配合剂,在室温下制备出物质的量之比n_(Cu^(2+))∶n_(Cit^(3-)) 为1∶1和1∶2的2种透明稳定的Cu(Ⅱ)-Cit^(3-)-SiO_2复合溶胶。以此为电解液,采用恒电位方法,在ITO阴... 以醋酸铜(Cu(Ac)2)和正硅酸乙酯(TEOS)为前驱体,柠檬酸钠(Na_3Cit)为配合剂,在室温下制备出物质的量之比n_(Cu^(2+))∶n_(Cit^(3-)) 为1∶1和1∶2的2种透明稳定的Cu(Ⅱ)-Cit^(3-)-SiO_2复合溶胶。以此为电解液,采用恒电位方法,在ITO阴极上直接制备出了Cu_xO-SiO_2复合薄膜。CV(循环伏安)和XRD(X射线衍射)结果表明,在低过电位和高过电位分别得到Cu2_O-SiO_2和Cu/Cu_2O-SiO_2薄膜。XRD和EDX(X射线散射能谱)结果表明,相同沉积条件下,n_(Cu^(2+))∶n_(Cit^(3-)) 为1∶1溶胶中得到的薄膜中Cu含量较1∶2溶胶中的高。薄膜在2种溶胶中的电化学形成机理不同,其原因在于溶胶中Cu(Ⅱ)存在的形式不同。CA(计时安培)和SEM(扫描电镜)结果一致表明,Cu和Cu_2O在2种溶胶中的成核机理与电位有关,随着过电位增大,成核机理从三维连续成核逐渐转向瞬时成核。 展开更多
关键词 Cu/Cu2O-sio2 复合薄膜 复合溶胶 电化学沉积 成核机理
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SiO2薄膜对太阳电池电学性能的影响 被引量：1
12
作者 胡宇 孟凡英 +2 位作者 汪建强 李翔 黄建华 《上海交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第11期1828-1831,共4页
研究了SiO2薄膜对晶体硅片的钝化作用及其对太阳电池电学性能的影响.基于PC1D软件,对SiO2/SiNx双层膜结构的硅太阳电池进行模拟,分析了硅片前表面复合速率和体寿命对电学特性的影响.模拟结果表明,当前表面复合速率大于104cm/s时,电池输... 研究了SiO2薄膜对晶体硅片的钝化作用及其对太阳电池电学性能的影响.基于PC1D软件,对SiO2/SiNx双层膜结构的硅太阳电池进行模拟,分析了硅片前表面复合速率和体寿命对电学特性的影响.模拟结果表明,当前表面复合速率大于104cm/s时,电池输出特性线性衰降;当体寿命小于30μs时,电池的开路电压和短路电流随体寿命的增加而线性增加.对比研究了SiO2、SiNx和SiO2/SiNx3种薄膜对晶体硅片的钝化效果.结果表明,SiO2/SiNx钝化的硅片在退火处理后有效少子寿命提高,具有这种双层膜的太阳电池短路电流、开路电压、光电转换效率和量子效率都有明显改善. 展开更多
关键词 二氧化硅 钝化 双层膜 太阳电池
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卡拉胶/魔芋胶复合膜保鲜纳米SiO2修饰工艺优化 被引量：8
13
作者 张荣飞 王相友 《中国食品学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第7期184-191,共8页
利用绿色合成方法以卡拉胶/魔芋胶为基膜,添加纳米SiO2和甘油对其进行修饰,并通过正交试验设计优化卡拉胶/魔芋胶/纳米SiO2复合涂膜的制备工艺条件,且通过电子扫描显微镜(SEM)、红外光谱分析(FTIR)、X射线衍射光谱分析(XRD)和紫外光谱分... 利用绿色合成方法以卡拉胶/魔芋胶为基膜,添加纳米SiO2和甘油对其进行修饰,并通过正交试验设计优化卡拉胶/魔芋胶/纳米SiO2复合涂膜的制备工艺条件,且通过电子扫描显微镜(SEM)、红外光谱分析(FTIR)、X射线衍射光谱分析(XRD)和紫外光谱分析(UV)对复合膜的微观结构进行表征。结果表明,当纳米SiO2添加量、卡拉胶与魔芋胶质量比、甘油添加量分别为0.03%,1∶3,0.7%时,复合膜具有最佳综合性能,其透光率为84.26%,透氧性为0.15g/(m^2·d),透CO2性为0.207g/(m^2·d),水溶性值为51.78%,溶胀度为76.90%,透水率为62.31%。比未修饰的卡拉胶/魔芋胶复合膜的性能更优。纳米SiO2的添加使复合膜中的氢键加强。将制备的纳米复合膜用于双孢蘑菇的保鲜,保鲜质量和保鲜时间比对照组均有明显提高。 展开更多
关键词 纳米sio2 涂膜 保鲜 纳米复合膜 双孢蘑菇
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对偶表面粗糙度对Nano-SiO2改性PTFE复合材料摩擦学性能的影响 被引量：10
14
作者 高贵 李瑞红 +4 位作者 龚俊 王宏刚 杨东亚 任俊芳 陈生圣 《工程科学与技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第2期207-214,共8页
为了研究干摩擦条件下对偶面粗糙度对纳米粒子填充改性聚四氟乙烯(PTFE)摩擦学性能的影响,采用冷压成型、热烧结的工艺方法制备nano-SiO2填充改性PTFE复合材料;采用LSR–2M型往复摩擦磨损试验机评价了nano-SiO2改性PTFE复合材料与具有3... 为了研究干摩擦条件下对偶面粗糙度对纳米粒子填充改性聚四氟乙烯(PTFE)摩擦学性能的影响,采用冷压成型、热烧结的工艺方法制备nano-SiO2填充改性PTFE复合材料;采用LSR–2M型往复摩擦磨损试验机评价了nano-SiO2改性PTFE复合材料与具有3种不同表面粗糙度的对偶钢块(GCr15)之间的摩擦学特性;利用光学显微镜(OM)、扫描电子显微镜(SEM)和能谱仪(EDS)分别表征了转移膜及磨屑的形貌、微观结构以及化学成分,从微观角度揭示nano-SiO2改性PTFE复合材料的摩擦转移机理。试验结果表明:纯PTFE及不同含量nano-SiO2改性PTFE复合材料的摩擦系数随着对偶钢块表面粗糙度的增大整体呈现增大趋势,在粗糙度Ra为0.1的对偶表面上复合材料的摩擦系数随着nano-SiO2含量的增加变化相对较小;在3种不同粗糙度对偶表面上,nano-SiO2的加入均有效降低了PTFE的磨损体积,当填充比例为0.5%时复合材料在粗糙度Ra为1.2的对偶面上摩擦学性能最佳,磨合时间比纯PTFE缩短了近10 min,耐磨性比纯PTFE提高了33.3%;复合材料中nano-SiO2的含量与对偶表面粗糙度存在一定的协同效应,即填充适量nano-SiO2的PTFE复合材料与具有一定表面粗糙度的对偶钢块组成的摩擦配副能有效促进复合材料的摩擦转移,并能在对偶表面形成覆盖率高、均匀、连续、表面较粗糙且与摩擦方向趋向一致的转移膜,有利于降低材料的磨损。 展开更多
关键词 聚四氟乙烯 NANO-sio2 对偶表面粗糙度 摩擦转移 转移膜
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改性纳米SiO2有机成膜涂层对混凝土抗氯离子渗透性能的影响 被引量：7
15
作者 韩建军 王俊伟 吕亚军 《混凝土与水泥制品》 北大核心 2019年第7期9-12,共4页
为了研究改性纳米SiO2有机成膜涂层对混凝土抗氯离子渗透性能的影响。选择氯化橡胶(CR)、丙烯酸(AA)、醇酸磁漆(AR)三种有机成膜涂料,制备出了6种改性和未改性纳米SiO2有机成膜复合涂层混凝土,并采用电通量方法对涂层混凝土进行抗氯离... 为了研究改性纳米SiO2有机成膜涂层对混凝土抗氯离子渗透性能的影响。选择氯化橡胶(CR)、丙烯酸(AA)、醇酸磁漆(AR)三种有机成膜涂料,制备出了6种改性和未改性纳米SiO2有机成膜复合涂层混凝土,并采用电通量方法对涂层混凝土进行抗氯离子渗透能力测试。试验结果表明:在不同涂层材料中掺入未改性纳米SiO2的掺量为1%、2%以及改性纳米SiO2的掺量为2%、3%时,成膜复合涂层混凝土的抗氯离子渗透性能最好,且改性比未改性纳米SiO2的改善效果要好。接触角测试结果表明:涂层混凝土的抗氯离子渗透能力与涂层的疏水能力之间存在正相关关系,即表面涂层的疏水性能越强,涂层混凝土的抗氯离子渗透性能越好。 展开更多
关键词 混凝土 改性纳米sio2 有机成膜涂层 抗氯离子渗透性能
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溶胶-凝胶法制备高透光SiO2/ATO-SiO2双层疏尘薄膜 被引量：3
16
作者 刘俊成 高亚男 董北平 《天津工业大学学报》 CAS 北大核心 2021年第1期6-11,共6页
为了避免灰尘在户外玻璃上的粘附导致透过率下降的现象,采用溶胶-凝胶法在石英玻璃上制备高透光SiO2/ATO-SiO2双层疏尘薄膜,研究SiO2基层薄膜对薄膜组织和性能的影响;利用原子力显微镜、紫外-可见-近红外分光光度计、霍尔效应测量仪、... 为了避免灰尘在户外玻璃上的粘附导致透过率下降的现象,采用溶胶-凝胶法在石英玻璃上制备高透光SiO2/ATO-SiO2双层疏尘薄膜,研究SiO2基层薄膜对薄膜组织和性能的影响;利用原子力显微镜、紫外-可见-近红外分光光度计、霍尔效应测量仪、自制落灰实验装置对薄膜的三维表面形貌进行表征,并对其光电性能、疏尘性能进行了测试。结果表明:SiO2基层影响SiO2/ATO-SiO2双层薄膜的表面形貌,但对表层ATO-SiO2薄膜的方块电阻影响不大;SiO2/ATO-SiO2双层薄膜呈柱状结构生长,透过率高于单层ATO-SiO2薄膜的透过率,约4.15%,并且具有良好的疏尘性能,疏尘性能略优于单层ATO-SiO2薄膜;随着SiO2基层碱催化剂含量的增加,SiO2/ATO-SiO2双层薄膜的粗糙度显著增加,平均可见光透过率先增加后减小,方块电阻先减小后增加,其中,B-2/ATO-SiO2双层薄膜的平均可见光透过率最高,为86.952%,方块电阻最小,为3.74×10^6Ω/sq,疏尘性能最好。 展开更多
关键词 溶胶-凝胶 sio2/ATO-sio2双层薄膜 高透光 疏尘
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SiO2薄膜涂覆层数对304不锈钢抗高温氧化性能的影响 被引量：1
17
作者 马静 王瑞阳 温宁 《河北科技大学学报》 CAS 北大核心 2021年第1期75-81,共7页
为提高304不锈钢的抗高温氧化性能,以正硅酸乙酯(TEOS)为原料,采用溶胶-凝胶法,在不锈钢表面制备了SiO2薄膜,通过氧化动力学,XRD,SEM和EDS分析,研究了涂覆层数对不锈钢900℃抗高温氧化性能的影响。结果表明,SiO2薄膜与不锈钢基体的附着... 为提高304不锈钢的抗高温氧化性能,以正硅酸乙酯(TEOS)为原料,采用溶胶-凝胶法,在不锈钢表面制备了SiO2薄膜,通过氧化动力学,XRD,SEM和EDS分析,研究了涂覆层数对不锈钢900℃抗高温氧化性能的影响。结果表明,SiO2薄膜与不锈钢基体的附着性良好,促进了不锈钢表面发生选择性氧化,生成保护作用的Cr2O3和NiCr2O4氧化层,不锈钢的抗高温氧化性能显著提高,其中涂覆3层SiO2薄膜试样的抗高温氧化性能最佳,经900℃循环氧化100 h后氧化增重与氧化剥落仅为未涂覆试样的58.1%和41.4%。SiO2薄膜涂覆有效提高了不锈钢的抗高温氧化性能,是表面处理方法应用于高温环境的又一尝试,为溶胶-凝胶法制备其他薄膜提供了借鉴和参考。 展开更多
关键词 材料失效与保护 溶胶-凝胶法 sio2薄膜 涂覆层数 高温氧化 选择氧化
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SiO2薄膜红外波段介电常数谱的高斯振子模型研究
18
作者 刘华松 杨霄 +5 位作者 王利栓 姜承慧 刘丹丹 季一勤 张锋 陈德应 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2017年第5期161-167,共7页
在无定形SiO_2非晶材料红外波段反常色散区介电常数研究中,复合高斯振乎模型是介电常数重要的色散模型之一,复合振子中振子的数量和物理意义是重要的研究内容.基于化学计量学中的因子分析技术,提出将SiO_2薄膜特征振动峰的数量等效为化... 在无定形SiO_2非晶材料红外波段反常色散区介电常数研究中,复合高斯振乎模型是介电常数重要的色散模型之一,复合振子中振子的数量和物理意义是重要的研究内容.基于化学计量学中的因子分析技术,提出将SiO_2薄膜特征振动峰的数量等效为化学姐分的振子数量的方法.采用离子束漉射沉积方法制备了厚度分别为100,200,...,800 mn的8种SiO_2薄膜样品,以这8个样品的红外光谱透射率作为光谱矩阵元素.通过因子分析技术确定了400—4000 cm^(-1)波数范围内高斯振子数量为9个,使SiO_2薄膜的介电常数反横计算结果具有明确的物理意义.通过对3000—4000 cm^(-1)波数范围内介电常数的分析,确定了薄膜中具有明显的含水(或择基)化学缺陷,并且这种缺陷影响到整个红外波段内的介电常数. 展开更多
关键词 sio2薄膜 因子分析 高斯振子模型 红外波段介电常数
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Ar/SiCl4大气压等离子体射流沉积SiO2薄膜
19
作者 袁强华 常小伟 +1 位作者 李娇娇 殷桂琴 《西北师范大学学报（自然科学版）》 CAS 北大核心 2016年第2期38-42,共5页
以氩气为携带气体,SiCl4为源材料,使用双频(50kHz/33 MHz)组合功率源大气压等离子体射流(APPJ)装置,以空气中的氧气作为氧化物质沉积SiO2薄膜.用发射光谱检测等离子体组成物种,并研究了随源材料(SiCl4)含量的不同,体系内各主要物种的变... 以氩气为携带气体,SiCl4为源材料,使用双频(50kHz/33 MHz)组合功率源大气压等离子体射流(APPJ)装置,以空气中的氧气作为氧化物质沉积SiO2薄膜.用发射光谱检测等离子体组成物种,并研究了随源材料(SiCl4)含量的不同,体系内各主要物种的变化情况并以此得到较优的沉积条件.分别用扫描电子显微镜(SEM)、X射线光电子能谱(XPS)以及傅里叶红外光谱(FT-IR)对所沉积薄膜的形貌、化学成分和化学结构进行检测.XPS表明薄膜主要组成元素为Si、O以及少量的Cl.FT-IR显示薄膜化学结构主要为Si-O-Si和Si-OH键. 展开更多
关键词 大气压等离子体射流 双频激发 sio2薄膜
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Bi1.5Zn1.0Nb1.5O7栅绝缘层的SiO2修饰对ZnO-TFTs性能的影响
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作者 叶伟 崔立堃 常红梅 《电子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第6期1344-1351,共8页
具有高介电常数的栅绝缘层材料存在某种极化及耦合作用,使得ZnO-TFTs具有高的界面费米能级钉扎效应、大的电容耦合效应和低的载流子迁移率.为了解决这些问题,本文提出了一种使用SiO 2 修饰的Bi 1.5 Zn 1.0 Nb 1.5 O 7 作为栅绝缘层的ZnO... 具有高介电常数的栅绝缘层材料存在某种极化及耦合作用,使得ZnO-TFTs具有高的界面费米能级钉扎效应、大的电容耦合效应和低的载流子迁移率.为了解决这些问题,本文提出了一种使用SiO 2 修饰的Bi 1.5 Zn 1.0 Nb 1.5 O 7 作为栅绝缘层的ZnO-TFTs结构,分析了SiO 2 修饰对栅绝缘层和ZnO-TFTs性能的影响.结果表明,使用SiO 2 修饰后,栅绝缘层和ZnO-TFTs的性能得到显著提高,使得ZnO-TFTs在下一代显示领域中具有非常广泛的应用前景.栅绝缘层的漏电流密度从4.5×10^-5 A/cm^2 降低到7.7×10^-7 A/cm^2 ,粗糙度从4.52nm降低到3.74nm,ZnO-TFTs的亚阈值摆幅从10V/dec降低到2.81V/dec,界面态密度从8×10^13 cm^-2 降低到9×10 12 cm^-2 ,迁移率从0.001cm^2 /(V·s)升高到0.159cm^2 /(V·s). 展开更多
关键词 sio2薄膜 氧化锌薄膜晶体管 修饰层 Bi1.5Zn1.0Nb1.5O7薄膜 射频磁控溅射
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