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FINITE ELEMENT ANALYSIS OF SUBSTRATE LOCAL PLASTIC DEFORMATION INDUCED BY CRACKED THIN HARD FILM
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作者 ZhuYouli RozniatowskiK +2 位作者 KurzydtowskiK HuangYuanlin XuBinshi 《Chinese Journal of Mechanical Engineering》 SCIE EI CAS CSCD 2004年第3期364-367,共4页
It has been postulated that, with tensile loading conditions, micro-cracks on thin hard film act as stress concentrators enhancing plastic deformation of the substrate material in their vicinity. Under favorable condi... It has been postulated that, with tensile loading conditions, micro-cracks on thin hard film act as stress concentrators enhancing plastic deformation of the substrate material in their vicinity. Under favorable conditions the localized plastic flow near the cracks may turn into macroscopic plastic strain thus affects the plasticity behaviors of the substrate. This phenomenon is analyzed quantitatively with finite element method with special attention focused on the analysis and discussion of the effects of plastic work hardening rate, film thickness and crack depth on maximum plastic strain, critical loading stress and the size of the local plastic deformation zone. Results show that micro-cracks on thin hard film have unnegligible effects on the plasticity behaviors of the substrate material under tensile loading. 展开更多
关键词 有限因素分析法 硬质薄膜 变形现象 塑料 临界抗张应力
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Review on Alkali Element Doping in Cu(In,Ga)Se2 Thin Films and Solar Cells 被引量:2
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作者 Yun Sun Shuping Lin +4 位作者 Wei Li Shiqing Cheng Yunxiang Zhang Yiming Liu Wei Liu 《Engineering》 SCIE EI 2017年第4期452-459,共8页
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Elastic-plastic properties of thin film on elastic-plastic substrates characterized by nanoindentation test 被引量:3
3
作者 蒋丽梅 周益春 黄勇力 《Transactions of Nonferrous Metals Society of China》 SCIE EI CAS CSCD 2010年第12期2345-2349,共5页
To characterize the elastic-plastic properties of thin film materials on elastic-plastic substrates,a simple theory model was proposed,which included three steps:dimensionless analysis,finite element modeling and data... To characterize the elastic-plastic properties of thin film materials on elastic-plastic substrates,a simple theory model was proposed,which included three steps:dimensionless analysis,finite element modeling and data fitting.The dimensionless analysis was applied to deriving two preliminary nondimensional relationships of the material properties,and finite element modeling and data fitting were carried out to establish their explicit forms.Numerical indentation tests were carried out to examine the effectiveness of the proposed model and the good agreement shows that the proposed theory model can be applied in practice. 展开更多
关键词 弹塑性性能 压痕试验 塑料基板 薄膜材料 弹性 无量纲分析 有限元建模 数据拟合
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NUMERICAL SIMULATION FOR MEASURING YIELD STRENGTH OF THIN METAL FILM BY NANOINDENTATION METHOD
4
作者 Ma, Dejun Xu, Kewei He, Jiawen 《中国有色金属学会会刊:英文版》 EI CSCD 1997年第3期66-69,共4页
NUMERICALSIMULATIONFORMEASURINGYIELDSTRENGTHOFTHINMETALFILMBYNANOINDENTATIONMETHOD①MaDejun,XuKewei,HeJiawenS... NUMERICALSIMULATIONFORMEASURINGYIELDSTRENGTHOFTHINMETALFILMBYNANOINDENTATIONMETHOD①MaDejun,XuKewei,HeJiawenStateKeyLaboratory... 展开更多
关键词 NANOINDENTATION METHOD thin METAL film mechanical properties finite element METHOD
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边缘空气层薄膜体声波谐振器的设计与制备
5
作者 朱宇涵 段兰燕 +4 位作者 陈志鹏 许锴镔 胡晗 衣新燕 李国强 《压电与声光》 CAS 北大核心 2024年第1期11-15,共5页
压电薄膜存在固有的对压电效应的非线性迟滞响应,并且声波有向边缘传播的横波分量,二者都会产生声波的能量损耗。该文设计了一种具有边缘空气层结构的单晶氮化铝薄膜体声波谐振器,可以减小非线性迟滞的机电损耗并阻止横波能量泄露,提高... 压电薄膜存在固有的对压电效应的非线性迟滞响应,并且声波有向边缘传播的横波分量,二者都会产生声波的能量损耗。该文设计了一种具有边缘空气层结构的单晶氮化铝薄膜体声波谐振器,可以减小非线性迟滞的机电损耗并阻止横波能量泄露,提高谐振器的品质因数。使用COMSOL对设计的器件进行有限元模拟仿真,并成功制备出具有边缘空气层结构的谐振器进行测试验证。 展开更多
关键词 单晶氮化铝薄膜体声波谐振器 边缘空气层 有限元仿真 压电非线性效应
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杂模抑制薄膜体声波谐振器的仿真分析
6
作者 罗恩雄 张必壮 +2 位作者 吴坤 马晋毅 李思忍 《压电与声光》 CAS 北大核心 2024年第2期159-163,共5页
该文研究了电极边界阶梯结构对薄膜体声波谐振器(FBAR)杂波的影响。采用有限元仿真法讨论了阶梯结构宽度尺寸对杂波的抑制效果,结合振型分析该结构能抑制声波能量的泄露,提高器件品质因数。为了进一步验证仿真结果,实验制备了FBAR器件... 该文研究了电极边界阶梯结构对薄膜体声波谐振器(FBAR)杂波的影响。采用有限元仿真法讨论了阶梯结构宽度尺寸对杂波的抑制效果,结合振型分析该结构能抑制声波能量的泄露,提高器件品质因数。为了进一步验证仿真结果,实验制备了FBAR器件。测试结果表明,当该阶梯结构凸起宽度为3μm,凹陷宽度为1.5μm时,谐振器杂波被有效抑制,反谐振频率处的品质因数约增大100。 展开更多
关键词 薄膜体声波谐振器(FBAR) 阶梯结构 杂模抑制 有限元
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切削力在线测量系统刀柄结构设计
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作者 刘丽娟 武文革 +2 位作者 赵永娟 黄晓斌 成云平 《组合机床与自动化加工技术》 北大核心 2023年第8期150-152,159,共4页
在刀柄上直接嵌入或沉积薄膜传感器是实现在线测量切削力的有效方法之一,研究了螺钉紧固与法兰结构刀具系统,建立了10种刀杆截面图谱;螺钉紧固结构截面采用阶梯赛车道方案,在相同条件下,该结构输出电压是初始结构的2倍;法兰结构截面采... 在刀柄上直接嵌入或沉积薄膜传感器是实现在线测量切削力的有效方法之一,研究了螺钉紧固与法兰结构刀具系统,建立了10种刀杆截面图谱;螺钉紧固结构截面采用阶梯赛车道方案,在相同条件下,该结构输出电压是初始结构的2倍;法兰结构截面采用四面凸台方案,建立了刀具模型各分段长度与初始惯性矩的关系;利用ABAQUS对这两种结构进行了有限元仿真,螺钉紧固结构刀杆截面处应力是初始刀杆的两倍,法兰结构的应变分布关于形变中性层对称,结果表明两种结构均可提高测力系统输出特性。 展开更多
关键词 薄膜应变传感器 结构设计 切削力测量 有限元分析
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高温陶瓷薄膜热流传感器动态响应有限元分析
8
作者 张梅菊 郭怡雪 +3 位作者 黄漫国 杜子睿 康志鹏 张丛春 《测控技术》 2023年第11期1-5,39,共6页
航空、航天等领域的高速发展对精密热流测量技术提出了更严苛的挑战。ITO/In_(2)O_(3)陶瓷材料相比贵金属材料有着更高的塞贝克系数,并拥有低密度和优异的高温力学性能。基于有限元仿真方法,建立了ITO/In_(2)O_(3)热电堆型薄膜热流传感... 航空、航天等领域的高速发展对精密热流测量技术提出了更严苛的挑战。ITO/In_(2)O_(3)陶瓷材料相比贵金属材料有着更高的塞贝克系数,并拥有低密度和优异的高温力学性能。基于有限元仿真方法,建立了ITO/In_(2)O_(3)热电堆型薄膜热流传感器热电学仿真模型,设计了2种薄膜热流传感器结构,综合分析了热电堆在不同的热阻层分布、热阻层厚度和热流密度下的传热性能和输出动态响应变化,提出了ITO/In_(2)O_(3)薄膜热流传感器的优化设计方案。 展开更多
关键词 高温 薄膜热流传感器 ITO/In_(2)O_(3)热电堆 有限元分析 动态响应
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基于有限元模拟的薄膜热流计冲击振动分析
9
作者 康志鹏 张梅菊 +3 位作者 郭怡雪 王禹森 黄漫国 张丛春 《测控技术》 2023年第6期44-51,共8页
实现发动机热端部件热流的精准监测对于发动机的冷却设计和可靠性提高具有重要意义,而薄膜热流计具有结构简单、不影响被测件气动外形以及对流场干扰小等特点。针对航空发动机在运行时产生的高振动及高冲击载荷下的薄膜热流计结构可靠... 实现发动机热端部件热流的精准监测对于发动机的冷却设计和可靠性提高具有重要意义,而薄膜热流计具有结构简单、不影响被测件气动外形以及对流场干扰小等特点。针对航空发动机在运行时产生的高振动及高冲击载荷下的薄膜热流计结构可靠性问题,采用有限元方法,建立薄膜热流计的有限元模型,分析了冲击以及随机振动对热流计结构可靠性的影响,并且提出了优化建议。优化后的热流计的最大位移及最大应力都明显减少,结构的可靠性明显提升,冲击振动测试以及划痕测试的结果也验证了薄膜热流计结构的合理性。 展开更多
关键词 薄膜热流计 有限元 冲击振动 结构可靠性
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高品质因数薄膜体声波谐振器的仿真与制备 被引量:2
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作者 赵利帅 衣新燕 +3 位作者 欧阳佩东 张铁林 刘红斌 李国强 《压电与声光》 CAS 北大核心 2023年第1期18-20,共3页
该文研究了双层反射结构对薄膜体声波谐振器性能的影响。采用有限元方法建立了以氮化硅为支撑层,氮化铝为压电层,钼为电极的器件模型。首先探究反射层的宽度对输入阻抗的影响,为了进一步验证仿真结果,制备了空腔型薄膜体声波谐振器。研... 该文研究了双层反射结构对薄膜体声波谐振器性能的影响。采用有限元方法建立了以氮化硅为支撑层,氮化铝为压电层,钼为电极的器件模型。首先探究反射层的宽度对输入阻抗的影响,为了进一步验证仿真结果,制备了空腔型薄膜体声波谐振器。研究结果表明,当反射层的宽度为0.5μm时,器件的品质因数将得到极大增强。 展开更多
关键词 薄膜体声波谐振器 反射层 输入阻抗 ALN 有限元
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西牛支渠土工布计算分析
11
作者 黄健 《辽宁省交通高等专科学校学报》 2023年第1期9-14,共6页
本文采用ABAQUS提供的薄膜单元M3D4R (三维四节点缩减积分薄膜单元)来模拟土工布,土体、混凝土预制桩、梁采用三维八节点缩减积分实体单元(C3D8R)进行划分,土工布采用M3D4R进行划分,并在混凝土预制桩与土体、土工布与土体之间等设置接... 本文采用ABAQUS提供的薄膜单元M3D4R (三维四节点缩减积分薄膜单元)来模拟土工布,土体、混凝土预制桩、梁采用三维八节点缩减积分实体单元(C3D8R)进行划分,土工布采用M3D4R进行划分,并在混凝土预制桩与土体、土工布与土体之间等设置接触。整个计算模拟过程为:初始地应力平衡→预制混凝土桩、中粗砂、土工布的施工与铺设→蓄水至常水位114m。分析出西牛支渠混凝土预制桩与中粗砂之间土工布在完建与运行期的受力情况,在完建期和蓄水期土工布应力应变均小于土工布容许应力,满足强度和稳定性要求,较好地反映了土工布自身的基本力学特性。 展开更多
关键词 土工布 薄膜单元 有限元分析 变形 应力应变
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1.06μm连续激光辐照TiO_2/SiO_2/K_9薄膜元件温升规律研究 被引量:13
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作者 周维军 袁永华 +1 位作者 桂元珍 沈志学 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第9期1307-1311,共5页
利用1.06μm连续激光在不同强度下辐照TiO2/SiO2/K9薄膜元件,实验中用红外热像仪测量激光辐照在TiO2/SiO2/K9元件表面引起的温升随时间的变化,通过数据处理,获得激光辐照区域最高温度随辐照时间的增加而增加。同时,给出材料温升随材料... 利用1.06μm连续激光在不同强度下辐照TiO2/SiO2/K9薄膜元件,实验中用红外热像仪测量激光辐照在TiO2/SiO2/K9元件表面引起的温升随时间的变化,通过数据处理,获得激光辐照区域最高温度随辐照时间的增加而增加。同时,给出材料温升随材料发射率的变化关系。并用程序模拟不同激光强度下薄膜温度场的分布,通过实验测量数据校正数值模拟计算结果,给出TiO2/SiO2/K9薄膜元件温度随激光辐照强度和辐照时间的变化规律。并且获得在薄膜厚度方向:薄膜表面温度最高,基底与薄膜接触处温度最低;沿径向:激光辐照中心温度最高,边沿温度最低。 展开更多
关键词 连续激光 薄膜元件 温度场 数值模拟
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Numerical Simulation Using Boundary Element Method of the Mechanism to Enhance Heat Transport by Solitary Wave on Falling Thin Liquid Films
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作者 Wen-Qiang Lu Department of Physics, Dvision of Thermal Science, Graduate School, Chinese Academy of Sciences, P.O. Box 3908, Beijing 100039, China 《Journal of Thermal Science》 SCIE EI CAS CSCD 1993年第3期196-204,共9页
A boundary element method has been developed for analysing heat transport phenomena in solitary wave on falling thin liquid films at high Reynolds numbers.The divergence theorem is applied to the non-linear convective... A boundary element method has been developed for analysing heat transport phenomena in solitary wave on falling thin liquid films at high Reynolds numbers.The divergence theorem is applied to the non-linear convective volume integral of the boundary element formulation with the pressure penalty function.Consequently,velocity and temperature gradients are dliminated.and the complete formulation is written in terms of velocity and temperature,This provides considerable reduction is storage and computational requirements while improving accuracy.The non-linear equation systems of boundary element discretization are solved by the quasi-Nweton iterative scheme with Broyden's update.The streamline maps and the temperature distributions in solitary wave and wavy film flow have been obtained,and the variations of Nusselt numbers along the wall-liquid interface are also given.There are large cross-flow velocities and S-shape temperature distributions in the recirculating region of solitary wave.This special flow and thermal process can be a mechanism to enhance heat transport. 展开更多
关键词 液态薄膜 孤子波 传热增强 机制 数字模拟
原文传递
SiO2薄膜热应力模拟计算 被引量:10
14
作者 吴靓臻 唐吉玉 +3 位作者 马远新 孔蕴婷 文于华 陈俊芳 《华南师范大学学报(自然科学版)》 CAS 北大核心 2009年第1期52-55,共4页
薄膜内应力严重影响薄膜在实际中的应用.该文采用有限元模型对S iO2薄膜热应力进行模拟计算,验证了模型的准确性.计算了薄膜热应力的大小和分布,分析了不同镀膜温度、不同膜厚和不同基底厚度生长环境下热应力的大小,得到了相应的变化趋... 薄膜内应力严重影响薄膜在实际中的应用.该文采用有限元模型对S iO2薄膜热应力进行模拟计算,验证了模型的准确性.计算了薄膜热应力的大小和分布,分析了不同镀膜温度、不同膜厚和不同基底厚度生长环境下热应力的大小,得到了相应的变化趋势图,对薄膜现实生长具有一定的指导意义. 展开更多
关键词 热应力 SIO2薄膜 有限元 模拟
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压电薄膜微传感器振动模态的仿真分析 被引量:16
15
作者 娄利飞 杨银堂 +1 位作者 樊永祥 李跃进 《振动与冲击》 EI CSCD 北大核心 2006年第4期165-169,共5页
以压电本构方程为基础,建立了压电薄膜微传感器机电耦合的有限元模型,采用有限元分析软件ANSYS7.0对压电薄膜微传感器进行了模态分析,同时分析了压电薄膜微传感器的结构尺寸对振动模态的影响,探讨了影响压电薄膜微传感器工作稳定性和响... 以压电本构方程为基础,建立了压电薄膜微传感器机电耦合的有限元模型,采用有限元分析软件ANSYS7.0对压电薄膜微传感器进行了模态分析,同时分析了压电薄膜微传感器的结构尺寸对振动模态的影响,探讨了影响压电薄膜微传感器工作稳定性和响应速度的关键因素,结果表明为了提高压电薄膜微传感器的工作稳定性和响应速度,应该在符合工艺要求和保证其它特性的前提下,尽量减小微悬臂梁结构长度,增加多晶硅层厚度,限制PZT层厚度,而微悬臂梁宽度的影响较小。 展开更多
关键词 压电薄膜 有限元分析 耦合场 微传感器 模态分析
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复合钒钼酸干凝胶薄膜湿敏元件的感湿机理 被引量:11
16
作者 李莉 童茂松 翁爱华 《电子元件与材料》 CAS CSCD 北大核心 2006年第6期30-32,共3页
采用sol-gel法,制备了复合钒钼酸H2V8.5Mo3.5O32·nH2O干凝胶薄膜湿敏元件。测试频率为1kHz时,元件全湿范围内线性响应好,灵敏度高,最大湿滞约为RH2.74%,响应、恢复时间分别为8s和20s,283-303K温度范围内的感湿温度系数为... 采用sol-gel法,制备了复合钒钼酸H2V8.5Mo3.5O32·nH2O干凝胶薄膜湿敏元件。测试频率为1kHz时,元件全湿范围内线性响应好,灵敏度高,最大湿滞约为RH2.74%,响应、恢复时间分别为8s和20s,283-303K温度范围内的感湿温度系数为RH0.4%/℃;H2V8.5Mo3.5O32·nH2O干凝胶薄膜湿敏元件的导电机理为电子和离子导电共存,低湿时以电子导电为主,湿度增加,离子导电增强。 展开更多
关键词 电子技术 复合钒钼酸 干凝胶薄膜 湿敏元件 复阻抗
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AlN电子薄膜材料的研究进展 被引量:12
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作者 周继承 石之杰 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第5期14-16,24,共4页
AlN是一种在热、电、光和机械等方面具有良好综合性能的材料,作为电子薄膜材料在微电子、电子元件、高频宽带通信以及功率半导体器件等领域有广泛应用。简介了AlN薄膜的制备方法,评述了国内外各科研团体的最新研究成果和进展,阐述了AlN... AlN是一种在热、电、光和机械等方面具有良好综合性能的材料,作为电子薄膜材料在微电子、电子元件、高频宽带通信以及功率半导体器件等领域有广泛应用。简介了AlN薄膜的制备方法,评述了国内外各科研团体的最新研究成果和进展,阐述了AlN薄膜的应用,并综述了近年来AlN薄膜作为缓冲层、SOI结构的绝缘埋层和吉赫兹级声表面波器件压电薄膜的研究现状。 展开更多
关键词 AIN电子薄膜材料 电子元器件 应用 进展
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球面元件表面AlF_3薄膜的光学特性和微观结构表征 被引量:5
18
作者 时光 梅林 张立超 《中国光学》 EI CAS 2013年第6期906-911,共6页
在模拟球面元件曲率半径的仿面形夹具上镀制了AlF3单层薄膜,并对不同口径位置上的薄膜进行了比较,以表征球面元件表面镀制薄膜的光学特性和微观结构。首先,采用紫外可见光分光光度计测量了不同口径位置上薄膜样品的透射和反射光谱,反演... 在模拟球面元件曲率半径的仿面形夹具上镀制了AlF3单层薄膜,并对不同口径位置上的薄膜进行了比较,以表征球面元件表面镀制薄膜的光学特性和微观结构。首先,采用紫外可见光分光光度计测量了不同口径位置上薄膜样品的透射和反射光谱,反演得出AlF3的折射率和消光系数。然后,使用原子力显微镜观察了样品的表面形貌和表面粗糙度。最后,使用X射线衍射仪对薄膜的内部结构进行了表征。实验结果表明:在球面不同位置镀制的AlF3单层薄膜样品的光学损耗随着所在位置口径的增大而增大。口径为280 mm处的消光系数是中心位置处消光系数的1.8倍,表面粗糙度是中心位置的17.7倍。因此,球面元件需要考虑由蒸汽入射角不同带来的光学损耗的差异。 展开更多
关键词 热蒸发 AlF3薄膜 球面元件 微观结构特性
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类金刚石薄膜残余应力的研究进展 被引量:14
19
作者 张婷 何娟 +1 位作者 任瑛 邹文俊 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第1期84-87,95,共5页
类金刚石薄膜由于存在很大的残余应力,在实际应用中薄膜易产生裂纹、破裂甚至脱落。这些问题导致类金刚石薄膜在使用过程中过早失效。因此,缓解残余应力是类金刚石薄膜急需解决的问题和实际应用的需要。介绍了类金刚石薄膜残余应力的产... 类金刚石薄膜由于存在很大的残余应力,在实际应用中薄膜易产生裂纹、破裂甚至脱落。这些问题导致类金刚石薄膜在使用过程中过早失效。因此,缓解残余应力是类金刚石薄膜急需解决的问题和实际应用的需要。介绍了类金刚石薄膜残余应力的产生,对国内外调控残余应力的途径以及研究进展进行综述。使用有限元分析法模拟薄膜的残余应力可为类金刚石薄膜的制备和工艺设计提供参考。 展开更多
关键词 DLC薄膜 残余应力 有限元分析法
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微型NiFe磁性薄膜元件中Neel畴壁极性的转变过程 被引量:1
20
作者 余晋岳 朱军 +4 位作者 周狄 禹金强 俞爱斌 蔡炳初 魏福林 《金属学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2000年第4期359-363,共5页
观察和分析了300μm×40μm×40nm的 NiFe磁性薄膜元件在难轴方向反磁化时磁畴结构转变,特别是 Neel畴壁从正极性壁(N_+)转变为负极性壁(N_)的全过程.磁畴结构的转变包含畴壁合并、封闭畴转变、... 观察和分析了300μm×40μm×40nm的 NiFe磁性薄膜元件在难轴方向反磁化时磁畴结构转变,特别是 Neel畴壁从正极性壁(N_+)转变为负极性壁(N_)的全过程.磁畴结构的转变包含畴壁合并、封闭畴转变、钩形畴转变及Neel畴壁极性转变等不可逆因素.对畴壁极性转变的两种方式(即 N_+→N_直接转变及经由十字壁(N_ct)的 N_+→N_ct→N_间接转变)进行了分析讨论. N_往往在元件末端新生封闭畴和正极性主畴壁的连结点成核,然后向中间扩展. N_+→N_ct的转变是通过 N_+ 壁的数次分裂来实现的. 展开更多
关键词 磁性薄膜元件 反磁化 磁畴 Neel畴壁
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