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高功率底发射VCSELs的制作与特性研究 被引量:15
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作者 孙艳芳 金珍花 +9 位作者 宁永强 秦莉 晏长岭 路国光 套格套 刘云 王立军 崔大复 李惠青 许祖彦 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 2004年第5期449-453,共5页
研究制作了大面积底发射氧化限制面发射激光器,并分析了器件特性。通过增加有源区面积,改进制作工艺,采用Al2O3作钝化膜和多层复合HfO2作增透膜等方法,提高了激光器输出功率。分析了最大输出功率与有源区直径和注入电流之间的依赖关系... 研究制作了大面积底发射氧化限制面发射激光器,并分析了器件特性。通过增加有源区面积,改进制作工艺,采用Al2O3作钝化膜和多层复合HfO2作增透膜等方法,提高了激光器输出功率。分析了最大输出功率与有源区直径和注入电流之间的依赖关系。结果表明:有源区直径分别为500μm和600μm的单管,室温下均达到连续输出功率1.95W,这也是目前国际上所实现的单管室温连续输出最高功率;实验所得最大输出功率与有源区直径和注入电流之间的依赖关系与理论计算所得结果一致。并特别讨论了直径200μm的器件的近场和远场光强分布,获得单横模工作。 展开更多
关键词 vcsels底发射 980nm 输出功率 近场 远场
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VCSELs高阶分岔及混沌行为的参数控制 被引量:9
2
作者 潘炜 张晓霞 +4 位作者 罗斌 邓果 李孝峰 张伟利 陈建国 《电子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第11期1789-1792,共4页
基于自发辐射在微腔激光器中的独特性 ,利用参数开关调制控制混沌的理论和技术 ,对VCSELs实施高频大信号深度调制和混沌控制的数值模拟 .结果表明 ,提高自发辐射因子可抑制VCSELs的非线性行为 ,通过对自发辐射因子的开关调制 ,可把系统... 基于自发辐射在微腔激光器中的独特性 ,利用参数开关调制控制混沌的理论和技术 ,对VCSELs实施高频大信号深度调制和混沌控制的数值模拟 .结果表明 ,提高自发辐射因子可抑制VCSELs的非线性行为 ,通过对自发辐射因子的开关调制 ,可把系统由混沌状态控制到平衡态和nP周期轨道 ,同时给出了VCSELS各种稳定周期态、分岔数。 展开更多
关键词 vcsels 自发辐射因子 分岔 混沌 参数控制
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多量子阱VCSELs阈值特性的分析 被引量:6
3
作者 潘炜 张晓霞 +2 位作者 罗斌 吕鸿昌 陈建国 《激光杂志》 CAS CSCD 北大核心 1999年第3期62-64,69,共4页
采用光增益与载流子浓度的对数关系,从理论上推导出多量子阱垂直腔面发射半导体激光器(VCSELs)的速率方程。讨论了阈值电流密度、最佳阱数等与器件参数(阱数、腔长和反射率等)之间的依赖关系,描述了微腔激光器中的自发辐射... 采用光增益与载流子浓度的对数关系,从理论上推导出多量子阱垂直腔面发射半导体激光器(VCSELs)的速率方程。讨论了阈值电流密度、最佳阱数等与器件参数(阱数、腔长和反射率等)之间的依赖关系,描述了微腔激光器中的自发辐射增强效应,比较了三维理想封闭腔与普通开腔中的特性曲线这将对于VCSELs的理论研究和优化器件结构有所裨益。 展开更多
关键词 垂直腔面发射 半导体激光器 阈值 vcsels
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基于非对称互注入VCSELs的双向双信道混沌保密通信研究 被引量:1
4
作者 顾庆传 《青岛大学学报(自然科学版)》 CAS 2016年第3期107-111,共5页
基于非对称互注入垂直腔面发射激光器(VCSELs)中两对应的线偏振模式间的混沌同步,提出了一种可实现双向双信道混沌保密通信的系统模型,并对该系统的混沌同步特性及通信性能进行了数值分析。研究结果表明,当互注入VCSELs中两个方向的注... 基于非对称互注入垂直腔面发射激光器(VCSELs)中两对应的线偏振模式间的混沌同步,提出了一种可实现双向双信道混沌保密通信的系统模型,并对该系统的混沌同步特性及通信性能进行了数值分析。研究结果表明,当互注入VCSELs中两个方向的注入光强度相差较大时,两个激光器相应的线偏振模式间能获得高质量的超前—滞后混沌同步。激光器内部参数失配对系统的同步质量有一定的影响,但系统对激光器间的参数失配有较好的容忍性。采用混沌隐藏(CMS)编码方式,成功实现了1Gbit/s信息的双向双信道保密通信。 展开更多
关键词 vcsels 非对称互注入 混沌同步 混沌保密通信
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椭圆偏振光注入下VCSELs的偏振开关特性研究
5
作者 刘贞莲 吴正茂 夏光琼 《激光杂志》 CAS CSCD 北大核心 2014年第3期14-15,共2页
本文基于自旋反转模型,理论研究了椭圆偏振光注入下垂直腔面发射激光器(VCSELs)的偏振开关特性。研究结果表明:在X偏振模占主导的VCSELs中,采用椭圆偏振光注入时,随着注入偏转角度θ的增大,VCSELs发生偏振开关所需的最小注入系数(ηin m... 本文基于自旋反转模型,理论研究了椭圆偏振光注入下垂直腔面发射激光器(VCSELs)的偏振开关特性。研究结果表明:在X偏振模占主导的VCSELs中,采用椭圆偏振光注入时,随着注入偏转角度θ的增大,VCSELs发生偏振开关所需的最小注入系数(ηin min)值将呈现减小的趋势;当注入偏转角度θ值固定时,随着注入光与VCSELs中心频率之间的频率失谐量从负值变化到正值,ηin min值总体呈现出先减小后增大的趋势,而ηin min的极小值出现在了注入光的频率靠近VCSELs的Y偏振模频率的附近。因此,改变注入偏转角度及注入频率失谐量均可以实现对VCSELs的偏振开关的有效调控。 展开更多
关键词 垂直腔面发射激光(vcsels) 椭圆偏振光注入 偏振开关
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VCSELs输出功率取得重大突破
6
作者 梅遂生 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2007年第9期848-848,共1页
关键词 vcsels 输出功率 垂直腔面发射激光器 连续输出 功率密度 固体激光器 二维阵列 芯片面积
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Large Aperture Low Threshold Current 980nm VCSELs Fabricated with Pulsed Anodic Oxidation
7
作者 CUI Jin-jiang1,2, NING Yong-qiang1, LI Te1,2, LIU Guang-yu1,2, ZHANG Yan1,2,PENG Biao1,2, SUN Yan-fang1,2, WANG Li-jun1 (1. Key Laboratory of Excited State Processes, Changchun Institute of Optics, Fine Mechanics and Physics, Chinese Academy of Sciences, Changchun 130033, China 2. Graduate School of Chinese Academy of Sciences, Beijing, 100039, China) 《光机电信息》 2007年第12期36-40,共5页
Pulsed anodic oxidation technique, a new way of forming current blocking layers, was successfully used in ridge-waveguide QW laser fabrication. This method was applied in 980 nm VCSELs fabrication to form a high-quali... Pulsed anodic oxidation technique, a new way of forming current blocking layers, was successfully used in ridge-waveguide QW laser fabrication. This method was applied in 980 nm VCSELs fabrication to form a high-quality native oxide current blocking layer, which simplifies the device process. A significant reduction of threshold current and a distinguished device performance are achieved. The 500 μm diameter device has a current threshold as low as 0.48 W. The maximum CW operation output power at room temperature is 1.48 W. The lateral divergence angle θ‖ and vertical divergence angle θ⊥ are as low as 15.3° and 13.8° without side-lobes at a current of 6 A. 展开更多
关键词 vcsels bottom-emitting PAO blocking layer low threshold native oxide SELF-ALIGNED MESA quantum well
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Power-induced polarization switching and bistability characteristics in 1550-nm VCSELs subjected to orthogonal optical injection 被引量:8
8
作者 陈建军 夏光琼 吴正茂 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2015年第2期186-190,共5页
The polarization switching(PS) and polarization bistability(PB) characteristics of a 1550-nm vertical-cavity surfaceemitting laser(VCSEL) subjected to orthogonal optical injection are systematically investigated.The s... The polarization switching(PS) and polarization bistability(PB) characteristics of a 1550-nm vertical-cavity surfaceemitting laser(VCSEL) subjected to orthogonal optical injection are systematically investigated.The simulated results show that the PS and polarization-resolved nonlinear dynamical states of the VCSEL are critically dependent on the changing paths of the injected power.The polarization dynamics for different scanning directions of the injected power is presented to explain the polarization evolution during the formation of PS.In the case of forward scanning injected power,with the increase of frequency detuning level between the VCSEL and the injected light,the injected power required for PS gradually increases for negative frequency detuning but exhibits fluctuations for positive frequency detuning.In the case of reversely scanning injected power,the injected power required for PS displays fluctuant changes within the whole frequency detuning range.Specifically,PS may disappear under certain negative frequency detuning and large bias current.Furthermore,the hysteresis width as a function of the frequency detuning is calculated,and the regions for the appearance and disappearance of PB have been determined in the parameter space of the bias current and frequency detuning. 展开更多
关键词 VCSEL 稳态特性 光注入 功率 激发极化 正交 频率失谐 偏振开关
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Controllable all-optical stochastic logic gates and their delay storages based on the cascaded VCSELs with optical-injection 被引量:5
9
作者 钟东洲 罗伟 许葛亮 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2016年第9期342-354,共13页
Using the dynamical properties of the polarization bistability that depends on the detuning of the injected light,we propose a novel approach to implement reliable all-optical stochastic logic gates in the cascaded ve... Using the dynamical properties of the polarization bistability that depends on the detuning of the injected light,we propose a novel approach to implement reliable all-optical stochastic logic gates in the cascaded vertical cavity surface emitting lasers(VCSELs) with optical-injection.Here,two logic inputs are encoded in the detuning of the injected light from a tunable CW laser.The logic outputs are decoded from the two orthogonal polarization lights emitted from the optically injected VCSELs.For the same logic inputs,under electro-optic modulation,we perform various digital signal processing(NOT,AND,NAND,XOR,XNOR,OR,NOR) in the all-optical domain by controlling the logic operation of the applied electric field.Also we explore their delay storages by using the mechanism of the generalized chaotic synchronization.To quantify the reliabilities of these logic gates,we further demonstrate their success probabilities. 展开更多
关键词 垂直腔面发射激光器 光逻辑门 随机存储 光注入 级联型 延迟 VCSEL 可控
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VCSELs的时代正在来临 被引量:2
10
作者 秦莉 《光机电信息》 2005年第3期1-6,共6页
阐述了850nm垂直腔面发射激光器(VCSELs)在数据通信系统中目前的应用状况以及在其他领域中的应用前景,并重点介绍了Honeywell公司的最新实验结果和发展方向。
关键词 VCSEL 垂直腔面发射激光器 数据通信系统 Honeywell公司 实验结果 时代 应用状况 领域
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Novel single-transverse-mode control of VCSELs with dielectric mode filter
11
作者 向磊 张星 +3 位作者 张建伟 黄佑文 宁永强 王立军 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2018年第7期362-365,共4页
We establish a novel method of controlling the transverse modes of vertical cavity surface emitting lasers(VCSELs)to achieve 1 mW single-fundamental-mode lasing. A dielectric mode filter is installed on top of the VCS... We establish a novel method of controlling the transverse modes of vertical cavity surface emitting lasers(VCSELs)to achieve 1 mW single-fundamental-mode lasing. A dielectric mode filter is installed on top of the VCSEL. The dielectric layer(SiO_2) is deposited and patterned to modify the mirror reflectivity across the oxide aperture via antiphase reflections.This mode selection is nondestructive and universally applicable for other structures under single transverse mode. Destructive etching techniques(dry/wet) or epitaxial regrowth are also not required. This method simplifies the preparation process and improves the repeatability of the device. Measurements show that under continuous-wave current injection, the side-mode suppression ratio exceeds 30 dB. 展开更多
关键词 VCSEL 过滤器 绝缘 控制 过氧化物 非破坏性 蚀刻技术 取向附生
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Study on the performance of thin-film VCSELs on composite metal substrate
12
作者 William Anderson Lee Sanchez Shreekant Sinha +1 位作者 Po‑Yu Wang Ray‑Hua Horng 《Frontiers of Optoelectronics》 EI CSCD 2023年第4期1-11,共11页
Thin film p-side up vertical-cavity surface-emitting lasers(VCSELs)with 940 nm wavelength on a composite metal(Copper/Invar/Copper;CIC)substrate has been demonstrated by twice-bonding transfer and substrate removing t... Thin film p-side up vertical-cavity surface-emitting lasers(VCSELs)with 940 nm wavelength on a composite metal(Copper/Invar/Copper;CIC)substrate has been demonstrated by twice-bonding transfer and substrate removing techniques.The CIC substrate is a sandwich structure with a 10µm thick Copper(Cu)layer/30µm thick Invar layer/10µm thick Cu layer.The Invar layer was composed of Iron(Fe)and Nickel(Ni)with a proportion of 70:30.The thermal expansion coefcient of the composite CIC metal can match that of the GaAs substrate.It results that the VCSEL layers can be successfully transferred to CIC metal substrate without cracking.At 1 mA current,the top-emitting VCSEL/GaAs and thin-flm VCSEL/CIC had a voltage of 1.39 and 1.37 V,respectively.The optical output powers of VCSEL/GaAs and VCSEL/CIC were 21.91 and 24.40 mW,respectively.The 50µm thick CIC substrate can play a good heat dissipation function,which results in improving the electrical and optical characteristics of thin flm VCSELs/CIC.The VCSEL/CIC exhibited a superior thermal management capability as compared with VCSEL/GaAs.The obtained data suggested that VCSELs on a composite metal substrate not only afected signifcantly the characteristics of thin film VCSEL,but also improved considerably the device thermal performance. 展开更多
关键词 Thin film vcsels GaAs substrate Composite metal CIC substrate Twice-bonding transfer Electrical properties Heat dissipation
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降低VCSELs激射阈值途径的理论研究 被引量:10
13
作者 张晓霞 潘炜 +1 位作者 刘永智 陈建国 《光电子.激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第12期1211-1214,共4页
针对量子阱有源层的结构特点 ,考虑增益和载流子浓度呈对数关系 ,建立量子阱垂直腔面发射半导体激光器 (VCSEL )的速率方程 ,导出了阈值电流密度的解析表达式。运用 MATL AB软件中 Simulink可视化仿真系统对理论计算进行模拟仿真 ,研究... 针对量子阱有源层的结构特点 ,考虑增益和载流子浓度呈对数关系 ,建立量子阱垂直腔面发射半导体激光器 (VCSEL )的速率方程 ,导出了阈值电流密度的解析表达式。运用 MATL AB软件中 Simulink可视化仿真系统对理论计算进行模拟仿真 ,研究了降低 VCSEL 激射阈值的 3个基本途径 :有源层选用量子阱实现微腔结构 ;腔面采取多层介质反射膜提高光腔反射率 R;改进外延生长技术以降低各种损耗。 展开更多
关键词 vcsels 阈值电流密度 垂直腔面发射半导体激光器 有源区厚度 腔长 端面反射率 量子阱
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自发辐射因子对外光反馈下VCSELs非线性行为的影响 被引量:3
14
作者 李孝峰 潘炜 +2 位作者 罗斌 邓果 赵峥 《光电子.激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第5期524-527,共4页
利用构建在SIMULINK平台下垂直腔面发射激光器(VCSELs)动态仿真模型,研究了自发辐射因子对多次外光反馈下VCSEs非线性行为的影响。结果表明,随外腔长(外腔反射率)增加,VCSELs顺次(逆次)经历混沌、多周期、倍周期和单周期区域;进一步得出... 利用构建在SIMULINK平台下垂直腔面发射激光器(VCSELs)动态仿真模型,研究了自发辐射因子对多次外光反馈下VCSEs非线性行为的影响。结果表明,随外腔长(外腔反射率)增加,VCSELs顺次(逆次)经历混沌、多周期、倍周期和单周期区域;进一步得出,增大自发辐射因子可抑制系统的非线性行为,提高器件稳定性。 展开更多
关键词 垂直腔面发射激光器 vcsels 非线性动态特性 自发辐射因子 外光反馈 仿真模型
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深度调制下VCSELs典型结构参数的研究 被引量:3
15
作者 邓果 潘炜 罗斌 《光电子.激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第6期562-565,共4页
通过构建垂直腔表面发射半导体激光器(VCSELs)的动态仿真模型,研究了有源层孔径和厚度对VCSELs大信号深度调制特性的影响。仿真结果表明,在大信号调制下,较小的有源层孔径和厚度对系统的非线性效应显现出更好的抑制能力,而且具有更高的... 通过构建垂直腔表面发射半导体激光器(VCSELs)的动态仿真模型,研究了有源层孔径和厚度对VCSELs大信号深度调制特性的影响。仿真结果表明,在大信号调制下,较小的有源层孔径和厚度对系统的非线性效应显现出更好的抑制能力,而且具有更高的调制带宽;合理地控制有源层孔径和厚度可以抑制系统的非线性行为,提高调制带宽。 展开更多
关键词 深度调制 vcsels 垂直腔表面发射半导体激光器 结构参数 有源层 非线性效应
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煤矿氧气检测高精度VCSEL驱动及温控电路设计
16
作者 于庆 张华乾 郭清华 《矿业安全与环保》 CAS 北大核心 2024年第2期153-160,共8页
为解决当前常用煤矿氧气检测仪器易受交叉气体干扰且功耗大的问题,基于GD32F303RCT6微控制器和ADN8834热电冷却控制器,设计了一种软启动开关电路控制的垂直腔面发射激光器(Vertical-cavity Surface-emitting Laser,VCSEL)高精度驱动及... 为解决当前常用煤矿氧气检测仪器易受交叉气体干扰且功耗大的问题,基于GD32F303RCT6微控制器和ADN8834热电冷却控制器,设计了一种软启动开关电路控制的垂直腔面发射激光器(Vertical-cavity Surface-emitting Laser,VCSEL)高精度驱动及温控电路。驱动电路中,高频正弦波信号和低频锯齿波信号叠加的二进制数据由微控制器产生,经信号发生电路、电压电流转换电路转化成VCSEL高精度驱动电流信号;温控电路中,设计基于比例积分微分(Proportional Integral Differential,PID)补偿电路和数模转换控制器(Digital to Analog Converter,DAC)目标温度控制电路实现激光器温度自动调节。测试结果表明:驱动电路的电流输出区间为0.680~1.360 mA;锯齿波频率误差小于0.5%,正弦波频率误差小于0.1%;氧气吸收峰扫描精度高达0.07 pm,对应电流扫描精度为0.12μA;温控电路的温度控制精度为±0.012℃。满足了可调谐半导体激光吸收光谱(Tunable Diode Laser Absorption Spectroscopy,TDLAS)煤矿氧气检测应用需求。 展开更多
关键词 煤矿 氧气检测 VCSEL 高精度驱动及温控电路 PID补偿电路 DAC目标温度控制电路
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增厚DBR型894 nm窄线宽VCSEL
17
作者 范屹梁 孙玉润 +3 位作者 付秋雪 于淑珍 仇伯仓 董建荣 《半导体技术》 CAS 北大核心 2024年第5期449-454,共6页
垂直腔面发射激光器(VCSEL)是芯片级原子钟(CSAC)的主流光源,其光束质量会影响CSAC的各项性能。扩展VCSEL内部有效腔长能够以压缩冷腔线宽的方式压窄器件最终辐射激光的线宽,从而可以减小CSAC短时间内的计时频率噪声。根据所计算的VCSE... 垂直腔面发射激光器(VCSEL)是芯片级原子钟(CSAC)的主流光源,其光束质量会影响CSAC的各项性能。扩展VCSEL内部有效腔长能够以压缩冷腔线宽的方式压窄器件最终辐射激光的线宽,从而可以减小CSAC短时间内的计时频率噪声。根据所计算的VCSEL表面反射谱,将VCSEL中4层下分布式布拉格反射镜(DBR)的厚度由常规的四分之一波长增加至404 nm,压缩了VCSEL冷腔线宽,并生长了对应的外延结构,制备了通过增厚DBR扩展有效腔长的894 nm窄线宽VCSEL。测试结果表明,研制的VCSEL在90℃下波长为893.1 nm,功率为0.335 mW,线宽约为32 MHz,且具有稳定的偏振特性。 展开更多
关键词 垂直腔面发射激光器(VCSEL) 芯片级原子钟(CSAC) 有效腔长 分布式布拉格反射镜(DBR) 线宽
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外光反馈下VCSELs噪声灵敏性的理论研究 被引量:5
18
作者 张伟利 潘炜 +1 位作者 罗斌 邓果 《光电子.激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第8期896-899,共4页
从速率方程出发,仿真得到VCSELs在不同腔体结构、自发辐射因子和线宽限制因子情况下,相对强度噪声随外光反馈水平的变化规律。结果表明:减小电流孔径或线宽增强因子可以降低VCSELs对外光反馈的灵敏性,改变自发辐射因子对此影响不大。而... 从速率方程出发,仿真得到VCSELs在不同腔体结构、自发辐射因子和线宽限制因子情况下,相对强度噪声随外光反馈水平的变化规律。结果表明:减小电流孔径或线宽增强因子可以降低VCSELs对外光反馈的灵敏性,改变自发辐射因子对此影响不大。而传统边发射激光器不属于微腔结构,对外光反馈的抑制能力较弱。 展开更多
关键词 VCSEL 光反馈 自发辐射因子 线宽 相对强度噪声 边发射 微腔 小电流 灵敏性 腔体
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车用垂直腔面发射激光器模组整板金锡共晶焊接工艺
19
作者 周浩 吴丰顺 +3 位作者 周龙早 孙平如 魏冬寒 张志超 《半导体技术》 北大核心 2024年第1期50-55,102,共7页
激光雷达及飞行时间(ToF)传感器中垂直腔面发射激光器(VCSEL)模组使用的银胶固晶工艺存在银迁移及硫化问题,亟需开发一种可靠性高并可量产的整板金锡共晶焊接工艺。以单颗焊接模式下单因素实验及正交实验为基础,借助Ansys热仿真工具,探... 激光雷达及飞行时间(ToF)传感器中垂直腔面发射激光器(VCSEL)模组使用的银胶固晶工艺存在银迁移及硫化问题,亟需开发一种可靠性高并可量产的整板金锡共晶焊接工艺。以单颗焊接模式下单因素实验及正交实验为基础,借助Ansys热仿真工具,探究整板焊接中基板与压头之间合适的匹配温度。单因素控制变量实验发现,固晶芯片推力随共晶温度、压头行程、共晶时间的增加先增大后减小,正交实验得到最佳工艺参数为共晶温度320℃、压头行程500μm、共晶时间4 s。采用优选工艺参数500μm、4 s、270~350℃进行整板焊接,平均固晶芯片推力为821 N,相较银胶固晶工艺提高了139%。 展开更多
关键词 垂直腔面发射激光器(VCSEL)模组 金锡共晶焊料 整板焊接 正交实验 有限元模拟
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Improvement of Injection-Locked VCSELs for Analog and Digital Communication Systems 被引量:1
20
作者 Chih-Hao Chang Lukas Chrostowski Connie J. Chang-Hasnain 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第S1期369-370,共2页
VCSEL Injection locking is demonstrated to increase laser bandwidth and reduce non-linearity and chirp. All these properties enhance analog and digital modulation performance.
关键词 for VCSEL SFDR Improvement of Injection-Locked vcsels for Analog and Digital Communication Systems of
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