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机载压阻式压力传感器设计与加工 被引量:3
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作者 张栋 李永红 《仪表技术》 2007年第6期62-64,共3页
介绍一种压阻式压力传感器的设计原理和加工技术,设计出了敏感电路和硅膜结构,根据所设计压力传感器的结构特点和国内现有加工设备,采用了体硅加工技术和表面加工技术相结合的方法进行加工研究并给出了加工模型。
关键词 MEMS 压力传感器 加工工艺 光刻 腐蚀 扩散
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基于光雕技术的还原氧化石墨烯压力传感器制备 被引量:1
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作者 宋鹏鸿 张校亮 +1 位作者 谭慷 李晓春 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2018年第3期14-18,共5页
石墨烯目前已被广泛用于压力传感器的制备,但由于传统石墨烯制备方法的制约,大部分已报道的压力传感器都只在较低范围内具有高灵敏度,无法用于宽范围的压力检测。文中将氧化石墨烯涂覆在贴有柔性薄膜的光雕光盘表面,通过光雕技术将氧化... 石墨烯目前已被广泛用于压力传感器的制备,但由于传统石墨烯制备方法的制约,大部分已报道的压力传感器都只在较低范围内具有高灵敏度,无法用于宽范围的压力检测。文中将氧化石墨烯涂覆在贴有柔性薄膜的光雕光盘表面,通过光雕技术将氧化石墨烯进行了图案化还原,并将其用于制备测量宽压力范围的压力传感器。结果表明,此压力传感器对0~500 k Pa的压力范围有很好的线性响应,并且具有良好的稳定性。 展开更多
关键词 光雕技术 还原氧化石墨烯 宽压力范围 压力传感器
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基于MEMS加工技术压力传感器工艺研究
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作者 张栋 李永红 《传感器世界》 2007年第4期30-32,共3页
介绍了一种微压力传感器加工技术和加工工艺研究,根据所设计微压力传感器的结构特点和国内现有加工设备,采用了体硅加工技术和表面加工技术相结合的方法,并给进行详细加工步骤研究。
关键词 MEMS 压力传感器 加工工艺 光刻 腐蚀 扩散
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