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基于旋转双棱镜的光束复合跟踪控制技术
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作者 王俊尧 宋延嵩 +1 位作者 刘洋 张季丰 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2023年第2期225-236,共12页
提出一种基于旋转双棱镜的光束复合跟踪技术,用于取代传统伺服转台实现精密的光学跟踪。首先,建立双棱镜的光束偏转模型,详细推导光束偏转矢量与双棱镜转角间的转换关系,并对跟踪过程中的棱镜旋转非线性问题进行了分析。提出基于快速反... 提出一种基于旋转双棱镜的光束复合跟踪技术,用于取代传统伺服转台实现精密的光学跟踪。首先,建立双棱镜的光束偏转模型,详细推导光束偏转矢量与双棱镜转角间的转换关系,并对跟踪过程中的棱镜旋转非线性问题进行了分析。提出基于快速反射镜进行光轴修正的双棱镜光束复合跟踪方法,通过建立偏转光轴与光学基台间的扰动耦合关系,实现了对双棱镜转速的实时补偿,并改进棱镜控制器以提高光束控制性能。搭建实验系统,对旋转双棱镜复合跟踪技术进行验证。在动态跟踪实验中,采用改进控制器的双棱镜的控制精度明显提高,相较于比例-积分-微分控制器和线性自抗扰控制器,所提出的改进控制器使棱镜的控制精度分别提高58.33%和32.81%,并使跟踪误差由改进前的49.03μrad和38.88μrad降低为31.15μrad。开启视轴补偿后跟踪性能进一步提高,总跟踪误差降至7.49μrad,跟踪精度提高4.16倍。实验结果表明,光束复合控制能有效提高双棱镜的跟踪精度,验证了所提方法的有效性。 展开更多
关键词 旋转双棱镜 光束偏转 复合跟踪 光轴修正 跟踪精度
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测距激光的能量分布及其对光轴校正的影响 被引量:5
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作者 张雏 沈洪斌 +2 位作者 徐春梅 沈学举 任宏岩 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2008年第10期971-973,共3页
利用涂料墙面作为反射目标,采集、处理和分析脉冲激光测距机发射激光的光斑能量分布。结果表明:能量环带占比从中心到边沿呈现由高到低的变化趋势,80%以上的激光能量集中在占激光光斑总面积60%的中心区域内,而且某些型号的测距机激光能... 利用涂料墙面作为反射目标,采集、处理和分析脉冲激光测距机发射激光的光斑能量分布。结果表明:能量环带占比从中心到边沿呈现由高到低的变化趋势,80%以上的激光能量集中在占激光光斑总面积60%的中心区域内,而且某些型号的测距机激光能量分布存在较明显的区域不均衡性。因此,测距机要达到最大测程的指标要求,相关光轴的平行性校正必须更加严苛,而且光轴平行性校正方式也应加以改进。 展开更多
关键词 激光测距 能量分布 光轴平行性校正
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一种基于SPLAT的离轴照明成像算法的研究与实现 被引量:4
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作者 付萍 王国雄 +2 位作者 史峥 陈志锦 严晓浪 《微电子学》 CAS CSCD 北大核心 2003年第3期180-183,共4页
 如何提高光刻的分辨率已成为超深亚微米集成电路设计和制造的关键技术。文章简要介绍了分辨率提高技术之一的离轴照明的原理及其构造形式,介绍了部分相干的二维透射系统的仿真程序SPLAT的特点,并用SPLAT实现了一种新的照明结构,为实...  如何提高光刻的分辨率已成为超深亚微米集成电路设计和制造的关键技术。文章简要介绍了分辨率提高技术之一的离轴照明的原理及其构造形式,介绍了部分相干的二维透射系统的仿真程序SPLAT的特点,并用SPLAT实现了一种新的照明结构,为实际开发光学邻近校正(OPC,OpticalProximityCorrection)仿真工具增加了新的功能。 展开更多
关键词 光刻 深亚微米IC工艺 离轴照明 光学邻近校正 集成电路 SPLAT
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用于激光接收/目视瞄准镜的共光路光学系统设计 被引量:9
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作者 常伟军 陈姣 郑常青 《应用光学》 CAS CSCD 北大核心 2016年第2期267-270,共4页
为实现多传感器光轴校准并达到小型化轻量化的设计要求,将目视瞄准镜作为校轴光学基准,采用共用摄远型物镜组,并利用在立方棱镜斜面镀制光谱分光膜,实现高精度目视瞄准镜与激光接收的共光路系统设计。该目视瞄准镜放大倍率为7×、... 为实现多传感器光轴校准并达到小型化轻量化的设计要求,将目视瞄准镜作为校轴光学基准,采用共用摄远型物镜组,并利用在立方棱镜斜面镀制光谱分光膜,实现高精度目视瞄准镜与激光接收的共光路系统设计。该目视瞄准镜放大倍率为7×、视场为5°、出瞳直径为Φ3.7mm、出瞳距离不小于20mm;激光接收系统视场为1mrad、接收口径为Φ50mm,设计结果满足指标要求。 展开更多
关键词 激光接收/目视瞄准镜 共光路 多传感器光轴校正 摄远型结构
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193 nm光刻散射条技术研究 被引量:3
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作者 康晓辉 张立辉 +3 位作者 范东升 王德强 谢常青 刘明 《微电子学》 CAS CSCD 北大核心 2005年第4期360-363,共4页
介绍了193nm光刻中的散射条技术,并利用标量衍射和傅里叶光学理论,对掩模和光瞳平面上衍射图形的空间频率进行了深入的分析,从理论上解释了散射条的工作原理。通过商用光刻模拟软件PROLITH,对散射条的参数进行了优化,并总结出193nm光刻... 介绍了193nm光刻中的散射条技术,并利用标量衍射和傅里叶光学理论,对掩模和光瞳平面上衍射图形的空间频率进行了深入的分析,从理论上解释了散射条的工作原理。通过商用光刻模拟软件PROLITH,对散射条的参数进行了优化,并总结出193nm光刻中孤立线散射条的优化方法。 展开更多
关键词 光刻 亚分辨率辅助图形 散射条 离轴照明 分辨率增强 光学临近效应校正
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船载雷达光轴晃动对修正参数标定的影响 被引量:2
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作者 钟德安 茅永兴 +2 位作者 刘扬 包飞 冯鸿奎 《电讯技术》 北大核心 2016年第2期135-139,共5页
船载雷达标校望远镜光轴、标校电视光轴在天线不同状态下会产生不同程度的晃动,可达角分量级,在利用反向法标定雷达零位和轴系误差时,会给标定结果带来较大误差。针对此问题,提出了通过分别检测天线在正向、反向状态下标校望远镜光轴与... 船载雷达标校望远镜光轴、标校电视光轴在天线不同状态下会产生不同程度的晃动,可达角分量级,在利用反向法标定雷达零位和轴系误差时,会给标定结果带来较大误差。针对此问题,提出了通过分别检测天线在正向、反向状态下标校望远镜光轴与标校电视光轴间不平行度以判定光轴是否存在晃动的方法,同时提出了利用大地测量成果精确解算光轴俯仰晃动量的方法,给出了解算模型,试验表明解算精度满足雷达标校要求。在此基础上给出了当光轴存在俯仰晃动时,俯仰零位、俯仰光电偏差、天线重力下垂误差等相关参数标定的改进数据处理模型。 展开更多
关键词 船载雷达 光轴晃动 参数标定 误差修正模型
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复合轴结构的运动关系分析 被引量:10
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作者 任戈 《光电工程》 CAS CSCD 1995年第6期41-46,共6页
根据矢量旋转和坐标变换,以及反射镜变换的数学方法,讨论了基本复合轴结构中视线矢量在探测器坐标和基础坐标之间的变换关系。并分析了反射镜作用范围与需要校正的误差的关系,跟踪探测器输出误差信号与物方跟踪误差。
关键词 光学跟踪 复合轴 反射镜 光学仪器
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地基大口径望远镜重力弯曲引起的指向变化检测与修正
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作者 王洪浩 王建立 +2 位作者 陈涛 曹玉岩 陈宝刚 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2022年第23期3021-3030,共10页
随望远镜口径的不断增大,望远镜的结构尺寸相应增加,重力场引起的望远镜光轴指向变化影响也愈发明显,对地基大口径望远镜的指向检测与修正是获取高精度轨道目标数据的必要前提。为了实现望远镜指向误差的估计、测量及主动修正,从望远镜... 随望远镜口径的不断增大,望远镜的结构尺寸相应增加,重力场引起的望远镜光轴指向变化影响也愈发明显,对地基大口径望远镜的指向检测与修正是获取高精度轨道目标数据的必要前提。为了实现望远镜指向误差的估计、测量及主动修正,从望远镜的光机系统结构出发,分析了引起望远镜光轴变化的因素,提出了光轴变化检测与修正方法。实验结果表明,在望远镜低仰角情况下,光轴最大相对变化为126″,望远镜桁架结构的重弯曲影响是引起俯仰角相关指向变化的主要因素。以4 m口径望远镜为例,提出基于次镜调整结构及卡式系统零彗差点理论的修正模型来提高望远镜的跟踪性能,修正后望远镜光轴的最大相对变化在3″内。该地基大口径望远镜指向变化检测与修正方法可应用于实际望远镜的标定和装调。 展开更多
关键词 地基望远镜 大口径 指向变化 跟踪精度 主动修正
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分孔径离轴同时偏振超分辨率成像光学系统像差校正 被引量:2
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作者 孙昇 王超 +2 位作者 史浩东 付强 李英超 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2022年第21期118-129,共12页
针对宽波段同时偏振高分辨率成像需求,提出一种基于反射式自由曲面光学系统和数字微镜器件的分孔径同时偏振超分辨率成像系统,其具有可用于任意光学波段、多个偏振态同时成像、单探测器、高分辨率、易轻量化等优势.给出了这种成像系统... 针对宽波段同时偏振高分辨率成像需求,提出一种基于反射式自由曲面光学系统和数字微镜器件的分孔径同时偏振超分辨率成像系统,其具有可用于任意光学波段、多个偏振态同时成像、单探测器、高分辨率、易轻量化等优势.给出了这种成像系统光学结构的像差校正原理及设计优化方法,将Wassermann-Wolf理论进一步发展,推导了可消除多种像差的反射式Wassermann-Wolf微分方程;同时结合赛德尔像差理论,在求解Wassermann-Wolf方程时加入消畸变的边界条件,通过迭代方式,得到同时消除球差、彗差、像散、畸变的光学初始结构.对该初始结构进行离轴处理并进一步优化,编写自定义优化评价函数,严格控制各子孔径和各视场在中间像面和最终像面上主光线落点位置,从而有效地抑制最终系统中的畸变,避免超分辨重建过程中的镜元和像元失配误差,提高重建质量.最终完成了四子孔径自由曲面离轴反射式超分辨成像光学系统的设计,其相对孔径大(F#=2.5),结构紧凑,各个偏振通道成像质量接近衍射极限.以上像差校正原理及像质优化方法可有效指导超宽波段同时偏振超分辨率成像光学系统的设计. 展开更多
关键词 像差校正 离轴光学系统 偏振成像 超分辨率成像
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离轴非球面零位补偿检验的非线性畸变校正 被引量:3
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作者 厉宏兰 袁吕军 +2 位作者 徐节速 李倩 康燕 《应用光学》 CAS CSCD 北大核心 2019年第4期638-643,共6页
在大口径、快焦比非球面的补偿检验中,入射光线在短距离内发生大角度急剧折转,导致干涉仪面形检验结果图像产生非线性畸变,严重影响了数控小磨盘抛光的位置精度和误差去除效率。为了校正离轴非球面在补偿检验中产生的图像畸变,提出了一... 在大口径、快焦比非球面的补偿检验中,入射光线在短距离内发生大角度急剧折转,导致干涉仪面形检验结果图像产生非线性畸变,严重影响了数控小磨盘抛光的位置精度和误差去除效率。为了校正离轴非球面在补偿检验中产生的图像畸变,提出了一种校正非线性畸变图像的方法,通过同心环带法确定畸变中心位置并利用光线追迹建立被检镜到干涉图的映射关系。针对某一光学系统的520 mm×250 mm的离轴抛物面主镜进行了畸变图像的校正,校正结果面形与工件面形的位置偏差降到1 mm以下,满足小磨盘抛光的工作要求。 展开更多
关键词 非线性光学 畸变校正 光线追迹 离轴非球面 零位补偿检验
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无人机空中光轴基准安装误差及磁偏差测量方法研究
11
作者 贾义海 孙淑梅 《光学与光电技术》 2011年第2期22-26,共5页
测定飞机与目标定位有关的机载设备的安装误差、磁偏角等固定误差,是无人机实际目标定位前必做的一项工作。现有测定、校正方法繁琐且实用性差。给出一种不同于现有工序,在无人机空中实际目标定位前,在空中利用飞行器本身光电平台的光... 测定飞机与目标定位有关的机载设备的安装误差、磁偏角等固定误差,是无人机实际目标定位前必做的一项工作。现有测定、校正方法繁琐且实用性差。给出一种不同于现有工序,在无人机空中实际目标定位前,在空中利用飞行器本身光电平台的光轴作为基准,对预先测定好经纬度的地面目标进行定位,反向推算来测量出飞机的固定安装误差及磁偏角,再进行校正的方法。该方法具有工序简单、精度高、实用的特点,有较大的实际应用价值。 展开更多
关键词 无人机 光电平台 光轴 磁偏差 安装误差 测量 校正 目标定位
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Off-axis Fresnel numbers in laser systems
12
作者 Yudong Yao Junyong Zhang +2 位作者 Yanli Zhang Qunyu Bi Jianqiang Zhu 《High Power Laser Science and Engineering》 SCIE CAS 2014年第3期50-55,共6页
The physical meaning and essence of Fresnel numbers are discussed,and two definitions of these numbers for offaxis optical systems are proposed.The universal Fresnel number is found to be N =(a2/λz) * C1+ C2.The Rayl... The physical meaning and essence of Fresnel numbers are discussed,and two definitions of these numbers for offaxis optical systems are proposed.The universal Fresnel number is found to be N =(a2/λz) * C1+ C2.The Rayleigh–Sommerfeld nonparaxial diffraction formula states that a simple analytical formula for the nonparaxial intensity distribution after a circular aperture can be obtained.Theoretical derivations and numerical calculations reveal that the first correction factor C1 is equal to cos θ and the second factor C2 is a function of the incident wavefront and the shape of the diffractive aperture.Finally,some diffraction phenomena in off-axis optical systems are explained by the off-axis Fresnel number. 展开更多
关键词 correction factor OFF-axis FRESNEL number OFF-axis optical system Rayleigh–Sommerfeld DIFFRACTION INTEGRAL
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基于平面方程旋转变化方法的车载经纬仪测角误差修正 被引量:5
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作者 江波 梅超 +2 位作者 梁元庆 姜凯 周泗忠 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第A01期172-177,共6页
车载经纬仪平台的变形和自身不平会导致经纬仪的测角误差变大,为了保证车载经纬仪的测量精度,需要对其测量误差进行修正。采用角度测量仪器可以测量平台与水平面的倾角,在此基础上提出了平面方程旋转变化的方法将测量平台与水平面的... 车载经纬仪平台的变形和自身不平会导致经纬仪的测角误差变大,为了保证车载经纬仪的测量精度,需要对其测量误差进行修正。采用角度测量仪器可以测量平台与水平面的倾角,在此基础上提出了平面方程旋转变化的方法将测量平台与水平面的倾角转化为相对于测量坐标系的垂直轴倾斜角和倾斜方位角,并分析了该计算方法对测量中对准误差的影响。分析了综合测角误差与对准误差以及平台倾角的关系,并进行了仿真分析和实验验证。通过分析可知:在载车调平精度300″以内,车载经纬仪综合测角误差小于16″,可实现高精度测量。 展开更多
关键词 光学测量 车载经纬仪 误差修正 垂直轴倾角测量 倾斜方向角测量
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