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题名全玻璃SS-AlN金属陶瓷真空太阳集热管
被引量：12
- 1
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作者
章其初
陈革
王双
池华敬
周旭
孟秀清
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机构
皇明太阳能股份有限公司镀膜研究所
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出处
《真空》
CAS
北大核心
2010年第4期27-32,共6页
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文摘
不锈钢-氮化铝(SS-AlN)金属陶瓷太阳选择性吸收涂层于1995年在实验室制备成功,采用真空磁控溅射沉积。太阳吸收复合膜采用干涉吸收型膜层结构,由不同金属含量的两层金属陶瓷层组成吸收层。金属陶瓷吸收层采用在镀膜室中SS和Al金属靶,在溅射气体Ar和反应气体N2中同时溅射运行,SS靶非反应溅射沉积SS金属组分,Al靶反应溅射沉积AlN陶瓷组分。实验室沉积的SS-AlN吸收涂层的太阳吸收比高达94%～96%,室温辐射比3.5%～4.0%。皇明公司2001年开始产业化生产全玻璃SS-AlN真空太阳集热管。我们开发了立式集热管连续镀膜线,第一条镀膜线于2007年调试成功,投入生产。集热管镀膜线真空系统长约41 m,高约3 m。每条线日产约为1.8～2.0万支。
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关键词
真空太阳集热管
太阳吸收涂层
金属陶瓷
磁控溅射
镀膜机
集热管镀膜线
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Keywords
vacuum solar collector tubes
solar absorbing coatings
cermet
vacuum magnetron sputtering
sputter coater
in-line sputter coater
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分类号
TB43
[一般工业技术]
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题名功率高压稳流源的设计应用
被引量：1
- 2
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作者
闵子建
刘兆龙
郑鹉
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机构
首都师范大学
北京理工大学
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出处
《电力电子技术》
CSCD
北大核心
2006年第3期99-101,共3页
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基金
国家自然科学基金资助项目(50071038)
北京市科委项目(Y0404013000011)~~
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文摘
介绍一种高压电流可调大功率稳流电路的设计方法,电路选用VMOS管作为功率器件,可实现工作电压800V以上或电流达数十安培的稳流电源,使用上限由VMOS管的最大额定值决定。电路简单可靠,可直接串联在直流供电回路中使用。该电路应用于溅射镀膜机上,可较精确地控制多层合金膜镀层。
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关键词
稳流电源
溅射
镀膜/功率金属氧化物场效应晶体管
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Keywords
current-stabilized source / power MOSFET
sputtering coater
alloy film
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分类号
TN86
[电子电信—信息与通信工程]
TN305
[电子电信—物理电子学]
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题名基于单片机的磁控溅射稳压开关电源设计
被引量：2
- 3
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作者
周志文
马安仁
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机构
西北民族大学电气工程学院
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出处
《工业仪表与自动化装置》
2014年第1期106-108,共3页
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基金
西北民族大学中央高校基本科研业务费专项资金资助项目(31920130013)
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文摘
磁控溅射真空镀膜技术与传统的化学电镀技术相比,具有环保、降耗、减排等优点,磁控电源是这种镀膜装置的关键部件之一。该文研究和设计了以高频开关电源技术为基础的高效率、大功率磁控稳压电源。文中介绍了主电路、控制电路的原理设计,用Matlab仿真软件搭建了电路模型,并进行了仿真实验,在此基础上完成了硬件电路、软件程序设计。通过AT89C51单片机实现了在不同工作方式下电源输出电压和电流的调节。实际应用证明该电源具有恒流控制效果好,可靠性高,工作稳定等优点。
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关键词
磁控溅射
开关电源
镀膜
SG3525
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Keywords
magnetron sputtering
switching power supply
coater
SG3525
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分类号
TP273
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
TB43
[一般工业技术]
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题名热像法研究基底材料与薄膜的发射率变化关系
被引量：1
- 4
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作者
顾孟扬
陈水桥
李海洋
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机构
浙江大学
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出处
《大学物理实验》
2011年第4期22-25,共4页
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基金
浙江大学2011年度本科教学方法改革研究立项课题(sy-1)
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文摘
介绍了镀膜技术和红外热像仪测量镀膜材料发射率的方法,并利用红外热像法分析了基底材料对薄膜发射率的影响。通过实验研究了镀膜时间与膜厚度变化导致的测量波段发射率的变化关系。
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关键词
发射率
基底材料
镀膜仪
红外热像仪
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Keywords
emissivity
backing material
auto sputter coater
infrared thermal imaging
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分类号
O484.41
[理学—固体物理]
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题名机器人系统在溅射镀膜设备中的应用
被引量：1
- 5
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作者
马东来
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机构
兰州真空设备有限责任公司
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出处
《真空》
CAS
北大核心
2008年第6期66-69,共4页
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文摘
现代工业的发展要求真空镀膜设备具有对复杂曲面零部件进行均匀镀膜的能力,要实现此类工件的镀膜要求,只有引进机器人技术才能达到。本文介绍了机器人系统在磁控溅射镀膜机中的应用,并对镀膜机器人应用条件和控制过程进行论述。
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关键词
机器人
溅射镀膜
镀膜设备
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Keywords
robot
sputtering coating
coater
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分类号
TB43
[一般工业技术]
TB75
[一般工业技术—真空技术]
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题名磁控溅射光学膜均匀性改进
- 6
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作者
刘思用
侯军民
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机构
武汉光迅科技股份有限公司
宝石机械成都装备制造分公司
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出处
《真空》
CAS
2017年第2期68-70,共3页
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文摘
随着光通讯的发展,对光学薄膜的性能要求越来越高,这对镀膜机的均匀性提出更高要求。本文通过设计一种新的夹具,使镀膜机的均匀性由1%优化为0.1%。
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关键词
磁控溅射
镀膜机
光学膜
均匀性
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Keywords
Magnetron sputtering
coater
Optical Film
Uniformity
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分类号
TB43
[一般工业技术]
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题名真空溅射镀膜机中工作气体对镀件色差的影响
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作者
曾志锋
阮毅
谢泽兵
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机构
广东省机械研究所有限公司
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出处
《机电工程技术》
2021年第4期151-152,165,共3页
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基金
国家重点研发计划资助(编号:2018YFB1404200)。
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文摘
真空溅射镀膜机镀件的色差是衡量一件镀件质量好坏的重要的指标,也是评估一台设备质量的重要技术指标。影响镀件色差有多种因素,工作气体是其中一个重要因素。从真空溅射机的工作原理、工作气体对膜层的影响及试验研究入手,从气体压力和气体分布均匀性两个方面探讨了真空溅射机镀膜过程中工作气体对镀件色差的影响。为镀件色差分析、真空溅射镀膜机工作气体进气管的设计和镀件质量的提高提供了新的思路和参考。
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关键词
真空溅射镀膜机
工作气体
色差
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Keywords
vacuum sputtering coater
working gas
chromatic aberration
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分类号
TG174.4
[金属学及工艺—金属表面处理]
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