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复杂三维超微图形的复制加工技术的困难及对策 被引量：5
1
作者 田昭武 田中群 +1 位作者 林仲华 谢兆雄 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1996年第S1期14-19,共6页
现有用于批量复制的微加工技术较难用于加工复杂的三维图形元件（如微凹凸面镜、。微锥形齿轮等）。主要原因是：１．只能加工简单三维图形；２．只能控制刻蚀深度，刻蚀后的表面仍保留着刻蚀前的表面的粗糙度。针对上述问题，本课题组... 现有用于批量复制的微加工技术较难用于加工复杂的三维图形元件（如微凹凸面镜、。微锥形齿轮等）。主要原因是：１．只能加工简单三维图形；２．只能控制刻蚀深度，刻蚀后的表面仍保留着刻蚀前的表面的粗糙度。针对上述问题，本课题组首先提出用于三维超微图形复制加工的约束刻蚀剂层技术（ＣｏｎｆｉｎｅｄＥｔｃｈａｎｔＬａｙｅｒＴｅｃｈｎｉｑｕｅ，简称ＣＥＬＴ），该技术具有距离选择性并能控制保留量，可望用于批量复制加工微米乃至纳米级的复杂三维图形元件。 展开更多
关键词 微图形 微加工技术 约束刻蚀剂层技术 三维图形 刻蚀技术 抗蚀剂 高分辨图形 图形元件 连续曲面 方向选择性
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镍表面三维微图形的复制加工 被引量：2
2
作者 刘柱方 蒋利民 +5 位作者 汤儆 张力 田中群 田昭武 刘品宽 孙立宁 《电化学》 CAS CSCD 2004年第3期249-253,共5页
　运用约束刻蚀剂层技术(CELT)在金属镍(Ni)表面实现三维微图形加工,以规整的三维齿状微结构作模板,获得可有效CELT加工的化学刻蚀和捕捉体系,在Ni表面得到了与齿状结构互补的三维微结构并应用扫描电子显微镜(SEM)和原子力显微镜(AFM)... 　运用约束刻蚀剂层技术(CELT)在金属镍(Ni)表面实现三维微图形加工,以规整的三维齿状微结构作模板,获得可有效CELT加工的化学刻蚀和捕捉体系,在Ni表面得到了与齿状结构互补的三维微结构并应用扫描电子显微镜(SEM)和原子力显微镜(AFM)表征刻蚀图案,证实CELT可用于金属表面Ni的三维微图形刻蚀加工. 展开更多
关键词 镍 三维微图形 复制加工 约束刻蚀剂层技术 化学刻蚀 捕捉体系 微系统技术
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毫米波缝隙天线的三维非硅微加工制造技术 被引量：1
3
作者 陆闻静 宿智娟 丁桂甫 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2010年第4期242-248,共7页
讨论了面向毫米波缝隙天线集成制造应用的三维非硅微加工技术方案,重点解决多种材料兼容、多层复杂微结构集成和大悬空高度等独特难题。针对天线器件中金属和介质材料的结合,提出了加法工艺、减法工艺以及一种通用型图形化微加工工艺,... 讨论了面向毫米波缝隙天线集成制造应用的三维非硅微加工技术方案,重点解决多种材料兼容、多层复杂微结构集成和大悬空高度等独特难题。针对天线器件中金属和介质材料的结合,提出了加法工艺、减法工艺以及一种通用型图形化微加工工艺,其中通用型图形化工艺为各种非硅薄膜材料在MEMS体系中的灵活运用创造了条件;为了实现多层复杂微结构的加工,提出工艺整合和工艺兼容性设计,针对天线器件中的悬空结构对牺牲层工艺进行了研究;最后以一种单向宽带毫米波平面缝隙天线为例,阐述其具体工艺流程,验证了上述工艺的可行性。 展开更多
关键词 毫米波天线 缝隙天线 三维非硅微加工技术 通用型图形化工艺 集成制造
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柔性微图形成型技术研究
4
作者 刘伟庭 陈裕泉 《传感技术学报》 CAS CSCD 2003年第4期480-482,486,共4页
柔性微图形成型技术是微细加工技术的一个新的方向。介绍了一种新的柔性成型系统———三维定位压控微流系统 ,并用它制作了柔性微五边形。
关键词 柔性微图形成型技术 微细加工技术 三维定位压控微流系统 柔性电子器件 光刻技术
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新型智能电化学微加工系统的研究 被引量：4
5
作者 刘品宽 孙立宁 +2 位作者 荣伟彬 蒋利民 田昭武 《高技术通讯》 EI CAS CSCD 2002年第6期83-87,共5页
约束刻蚀剂层技术是三维超微图形复制加工的新型技术。本文根据约束刻蚀剂层技术的工艺特点 ,介绍了约束刻蚀剂层电化学微加工仪器的组成 ,讨论了具有微力传感的纳米级微定位系统的研究与开发。利用研制的加工仪器 ,在半导体GaAs进行刻... 约束刻蚀剂层技术是三维超微图形复制加工的新型技术。本文根据约束刻蚀剂层技术的工艺特点 ,介绍了约束刻蚀剂层电化学微加工仪器的组成 ,讨论了具有微力传感的纳米级微定位系统的研究与开发。利用研制的加工仪器 ,在半导体GaAs进行刻蚀加工 ,复制出微孔阵列 ,其排列周期与模板的微锥阵列的排列周期吻合得很好 。 展开更多
关键词 智能电化学微加工系统 约束刻蚀剂层技术 压电陶瓷驱动器 半导体 三维超微图形复制加工技术
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纳米压印加工技术发展综述 被引量：13
6
作者 崔铮 陶佳瑞 《世界科技研究与发展》 CSCD 2004年第1期7-12,共6页
纳米技术是一项有望为 2 1世纪人类生活的各个方面带来革命的技术。纳米技术不是在一夜之间产生出来的 ;它是在业已发展多年的、为我们带来了微芯片和其它微米产品的基础上产生的。任何纳米技术均依赖通过纳米加工技术将物体加工至纳米... 纳米技术是一项有望为 2 1世纪人类生活的各个方面带来革命的技术。纳米技术不是在一夜之间产生出来的 ;它是在业已发展多年的、为我们带来了微芯片和其它微米产品的基础上产生的。任何纳米技术均依赖通过纳米加工技术将物体加工至纳米尺度。许多具有 10 0纳米以下加工能力的技术已被开发出来。纳米压印技术就是其中的一项很有希望的技术 ;它具有低成本、高产量和高分辨率的特点。本文对纳米压印技术的发展进行了综述 ,描述了纳米压印的基本原理 ,然后对近年的新进展进行了介绍 ,并特别强调了纳米压印的产业化问题。我们希望这篇综述能够引起国内工业界和学术界的关注 ,并致力于在中国发展纳米压印技术。 展开更多
关键词 纳米压印加工技术 纳米技术 纳米结构 微纳米加工技术 图形复制 分辨率
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LIGA技术
7
作者 孙洪强 徐宇新（审核） 《导航与控制》 2005年第4期34-34,共1页
LIGA这一词来源于德文缩写，LI（Lithographie意即深度X射线刻蚀），G（Gulvanik意即电铸成型），A（Abformung意即塑料铸模），即深度X射线刻蚀、电铸成型、塑料铸模等技术相结合的一种综合性加工技术，它是进行非硅材料三维立体微细... LIGA这一词来源于德文缩写，LI（Lithographie意即深度X射线刻蚀），G（Gulvanik意即电铸成型），A（Abformung意即塑料铸模），即深度X射线刻蚀、电铸成型、塑料铸模等技术相结合的一种综合性加工技术，它是进行非硅材料三维立体微细加工的首选工艺。LIGA技术制作各种微图形的过程主要由两步关键工艺组成。 展开更多
关键词 LIGA技术 电铸成型 关键工艺 加工技术 微细加工 三维立体 技术制作 X射线 硅材料 微图形
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