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CVD金刚石涂层硬质合金工具表面预处理新技术 被引量:7
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作者 苗晋琦 宋建华 +3 位作者 赵中琴 佟玉梅 唐伟忠 吕反修 《北京科技大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第5期441-444,共4页
研究了利用(KOH+K3(Fe(CN)6)+H2O和H2SO4+H2O2)两种溶液浸蚀硬质合金基体,分别选择性刻蚀WC和Co的表面预处理过程.在浸蚀过的硬质合金基体上,用强电流直流伸展电弧等离子体CVD法沉积金刚石薄膜涂层.结果表明,两步混合处理法不仅可以有... 研究了利用(KOH+K3(Fe(CN)6)+H2O和H2SO4+H2O2)两种溶液浸蚀硬质合金基体,分别选择性刻蚀WC和Co的表面预处理过程.在浸蚀过的硬质合金基体上,用强电流直流伸展电弧等离子体CVD法沉积金刚石薄膜涂层.结果表明,两步混合处理法不仅可以有效地去除硬质合金基体表面的钻,而且还显著粗化硬质合金基体表面,提高了金刚石薄膜的质量和涂层的附着力. 展开更多
关键词 硬质合金 两步法表面预处理 金刚石薄膜 附着力 等离子体CVD法
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