期刊导航
期刊开放获取
重庆大学
退出
期刊文献
+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
检索
高级检索
期刊导航
共找到
1
篇文章
<
1
>
每页显示
20
50
100
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
显示方式：
文摘
详细
列表
相关度排序
被引量排序
时效性排序
气体放电等离子体(DPP)极紫外光源研究进展
1
作者
赵红军
李昊罡
+1 位作者
颜亮
李川
《微型机与应用》
2016年第9期8-11,共4页
极紫外光刻技术被认为是下一代最有潜力的光刻技术,对推动集成电路发展具有重要作用。极紫外光源是极紫外光刻技术的源头,其技术水平直接制约了光刻技术的发展。气体放电等离子体极紫外光源结构简单,转换效率高,适合大规模工业应用,具...
极紫外光刻技术被认为是下一代最有潜力的光刻技术,对推动集成电路发展具有重要作用。极紫外光源是极紫外光刻技术的源头,其技术水平直接制约了光刻技术的发展。气体放电等离子体极紫外光源结构简单,转换效率高,适合大规模工业应用,具备良好的应用前景。现有气体放电等离子体光源包括毛细管放电等离子体极紫外光源、激光辅助等离子体极紫外光源、等离子聚焦极紫外光源和中空阴极管放电等离子体极紫外光源等。近年来,极紫外光光刻技术工业化进展较快,该文对气体放电等离子体技术做了综述,掌握最新研究进展有助于推动我国相关领域研究。
展开更多
关键词
极紫外光源
气体放电
等离子体
毛细管放电
激光辅助放电
等离子体
聚焦
中空阴极触发等离子体箍缩
下载PDF
职称材料
题名
气体放电等离子体(DPP)极紫外光源研究进展
1
作者
赵红军
李昊罡
颜亮
李川
机构
绵阳职业技术学院信息工程系
西安交通大学电力设备电气绝缘国家重点实验室
南方电网综合能源有限公司
出处
《微型机与应用》
2016年第9期8-11,共4页
基金
四川省自然科学基金项目(14ZB0267)
文摘
极紫外光刻技术被认为是下一代最有潜力的光刻技术,对推动集成电路发展具有重要作用。极紫外光源是极紫外光刻技术的源头,其技术水平直接制约了光刻技术的发展。气体放电等离子体极紫外光源结构简单,转换效率高,适合大规模工业应用,具备良好的应用前景。现有气体放电等离子体光源包括毛细管放电等离子体极紫外光源、激光辅助等离子体极紫外光源、等离子聚焦极紫外光源和中空阴极管放电等离子体极紫外光源等。近年来,极紫外光光刻技术工业化进展较快,该文对气体放电等离子体技术做了综述,掌握最新研究进展有助于推动我国相关领域研究。
关键词
极紫外光源
气体放电
等离子体
毛细管放电
激光辅助放电
等离子体
聚焦
中空阴极触发等离子体箍缩
Keywords
EUV source
DPP
capillary discharge
laser assisted discharge
dense plasma focus
hollow cathode triggered plasma pinc
分类号
TN23 [电子电信—物理电子学]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
气体放电等离子体(DPP)极紫外光源研究进展
赵红军
李昊罡
颜亮
李川
《微型机与应用》
2016
0
下载PDF
职称材料
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
上一页
1
下一页
到第
页
确定
用户登录
登录
IP登录
使用帮助
返回顶部
