1
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研磨方式对单晶蓝宝石亚表面损伤层深度的影响 |
王建彬
朱永伟
王加顺
徐俊
左敦稳
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《人工晶体学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
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2014 |
20
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2
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X射线回摆曲线定量检测SI-GaAs抛光晶片的亚表面损伤层厚度 |
曹福年
卜俊鹏
吴让元
郑红军
惠峰
白玉珂
刘明焦
何宏家
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《Journal of Semiconductors》
EI
CAS
CSCD
北大核心
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1998 |
7
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3
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超低亚表面损伤层GaAs抛光晶片的工艺 |
卜俊鹏
郑红军
赵冀
朱蓉辉
尹玉华
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《Journal of Semiconductors》
EI
CAS
CSCD
北大核心
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2003 |
3
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4
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GaAs化学机械抛光引入亚表面损伤层的分析 |
郑红军
卜俊鹏
何宏家
吴让元
曹福年
白玉珂
惠峰
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《固体电子学研究与进展》
CAS
CSCD
北大核心
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1999 |
2
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5
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磨粒尺寸对FAP研抛工件亚表面损伤层深度的影响 |
戴子华
朱永伟
王加顺
肖仁杰
朱琳
李军
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《人工晶体学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
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2015 |
1
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6
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具有亚表面损伤层基底表面的激光减反膜设计 |
刘华松
刘杰
王利栓
姜玉刚
冷健
季一勤
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《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
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2013 |
0 |
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7
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低亚表面损伤石英光学基底的加工和检测技术 |
马彬
沈正祥
张众
贺鹏飞
季一勤
刘华松
刘丹丹
王占山
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《强激光与粒子束》
EI
CAS
CSCD
北大核心
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2010 |
14
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8
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β-Ga_(2)O_(3)晶体金刚石线锯切割的表面质量研究 |
李晖
高鹏程
程红娟
王英民
高飞
张弛
王磊
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《人工晶体学报》
CAS
北大核心
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2022 |
1
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9
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芯片背面磨削减薄技术研究 |
王仲康
杨生荣
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《电子工业专用设备》
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2010 |
7
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10
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石英玻璃片的化学抛光工艺研究 |
汤英童
杨长城
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《光学与光电技术》
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2022 |
2
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