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低能强流离子束装置计算机控制系统 被引量:2
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作者 马瑞刚 李康宁 +5 位作者 崔宝群 姜冲 李立强 马鹰俊 唐兵 李爱玲 《原子能科学技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第5期461-464,共4页
为实现低能强流离子束装置自动化,提高抗干扰能力和稳定度,研究开发了低能强流离子束装置计算机控制系统。该控制系统采用西门子S7-300PLC,下位机使用STEP7 V5组态软件进行编程,控制界面用Lab Windows/CVI 6.0编制,控制位于3个不同电位... 为实现低能强流离子束装置自动化,提高抗干扰能力和稳定度,研究开发了低能强流离子束装置计算机控制系统。该控制系统采用西门子S7-300PLC,下位机使用STEP7 V5组态软件进行编程,控制界面用Lab Windows/CVI 6.0编制,控制位于3个不同电位的离子束系统。文章描述了控制系统的总体结构、硬件选取和软件实现的功能,讨论了系统在调试过程中抑制干扰的方法。 展开更多
关键词 低能强流离子系统 计算机控制 连锁保护
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低能离子束制备(Ga,Gd,As)薄膜
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作者 宋书林 陈诺夫 +3 位作者 周剑平 李艳丽 杨少延 刘志凯 《固体电子学研究与进展》 CAS CSCD 北大核心 2004年第2期258-261,共4页
室温条件下 ,用离子束外延设备制备 ( Ga,Gd,As)样品 ,X射线衍射 ( XRD)结果表明除了 Ga As衬底峰 ,没有发现其他新相的衍射峰。俄歇电子能谱 ( AES)分析了样品中元素随深度的变化 ,不同样品中元素的分布有着不同的特点。并运用原子力... 室温条件下 ,用离子束外延设备制备 ( Ga,Gd,As)样品 ,X射线衍射 ( XRD)结果表明除了 Ga As衬底峰 ,没有发现其他新相的衍射峰。俄歇电子能谱 ( AES)分析了样品中元素随深度的变化 ,不同样品中元素的分布有着不同的特点。并运用原子力显微镜 ( AFM)研究了样品表面的形貌特点 ,表明样品表面的粗糙度与 Gd注入过程中在样品表面沉积的多少有关。运用交变梯度磁强计 ( AGM)对薄膜进行磁性分析 ,结果表明有的样品在室温条件下出现铁磁性 ,但金属钆本身具有室温铁磁性 ,因而需要进一步分析。 展开更多
关键词 镓、钆、砷薄膜 低能离子束系统 砷化镓衬底
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