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采用CCD的空间光通信光斑位置提取重心算法的分析及实验 被引量:11
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作者 李晓峰 罗彤 +2 位作者 邓科 何俊 胡渝 《光通信技术》 CSCD 北大核心 2004年第6期13-15,共3页
对采用CCD的空间光通信光斑位置提取重心算法进行了理论分析,对不同程度光束偏转的APT系统光斑位置定位及无空气扰动条件下背景光对光斑位置定位的影响进行了实验研究。
关键词 空间光通信 APT 光斑位置提取定位 重心算法
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光斑位置对靶丸辐照不均匀度时间行为的影响 被引量:3
2
作者 赖东显 冯庭桂 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 1996年第3期455-460,共6页
从数值模拟和定性分析两个方面研究了腔靶内光斑位置对靶丸辐照不均匀度随时间变化规律的影响.结果表明,光斑相对于靶丸的极点和赤道点的几何因子随其位置的变化规律不同.根据它们大小的比较,靶丸辐照不均匀度随时间变化的趋势可分... 从数值模拟和定性分析两个方面研究了腔靶内光斑位置对靶丸辐照不均匀度随时间变化规律的影响.结果表明,光斑相对于靶丸的极点和赤道点的几何因子随其位置的变化规律不同.根据它们大小的比较,靶丸辐照不均匀度随时间变化的趋势可分为三种类型,分别对应于光斑处于三个不同区域.定性分析与数值模拟给出一致的结果. 展开更多
关键词 光斑位置 几何因子 腔靶 激光试验
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光束线光斑位置监测系统
3
作者 刘斌 刘亚明 +1 位作者 周绍祥 王秋平 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第3期447-451,共5页
描述了基于CCD摄像的同步辐射光束线光斑位置监测系统·在光束线运行中实时监测光斑与入射狭缝的相对位置·已在国家同步辐射实验室多条光束线安装·对光斑位置及其角度监测的准确度分别达到10.53μm、2.3μrad,具有较高的... 描述了基于CCD摄像的同步辐射光束线光斑位置监测系统·在光束线运行中实时监测光斑与入射狭缝的相对位置·已在国家同步辐射实验室多条光束线安装·对光斑位置及其角度监测的准确度分别达到10.53μm、2.3μrad,具有较高的灵敏度·在线监测到同步辐射光斑的垂直抖动0.37mm、扭转角度83μrad·说明此时电子束流不稳定,偏离了预计的轨道·同时,为同步辐射光束线的调试和电子束流的诊断提供了可靠的依据· 展开更多
关键词 光斑位置监测 光束线 同步辐射
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高精度近红外光斑位置检测模型研究 被引量:4
4
作者 吴佳彬 陈云善 +1 位作者 高世杰 吴志勇 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2016年第7期205-211,共7页
为了提高1 550 nm近红外波段光斑位置的检测精度,提出了一种改进的积分无穷解算模型。以高斯光斑为入射光模型,深入分析了In Ga As四象限探测器(Quadrant Detector,QD)输出信号与光斑实际位置之间的关系,考虑探测器直径及沟道的影响,通... 为了提高1 550 nm近红外波段光斑位置的检测精度,提出了一种改进的积分无穷解算模型。以高斯光斑为入射光模型,深入分析了In Ga As四象限探测器(Quadrant Detector,QD)输出信号与光斑实际位置之间的关系,考虑探测器直径及沟道的影响,通过引入误差补偿因子,利用最小二乘拟合的方法得到有效光斑半径,从而获得新解算模型的解析表达式,最后在搭建的In Ga As QD光斑位置检测系统上对提出模型进行实验验证。仿真和实验结果表明:新模型可有效降低不同半径光斑下的位置检测误差;入射光总能量约为10μW,光斑半径0.75 mm时,在[-0.75~0.75 mm]检测范围内,新模型均方根误差为0.003 mm,最大误差为0.009 mm,较原有模型分别降低了78.6%和52.6%。新模型在激光通信和激光雷达等工程实际中具有较好的应用前景。 展开更多
关键词 1 550 nm近红外波段 In GA As四象限探测器 光斑位置检测
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基于光斑位置传感器的长导轨准直系统 被引量:4
5
作者 罗凯 陈培锋 王英 《激光技术》 CAS CSCD 北大核心 2018年第1期30-33,共4页
为了检测长导轨的直线度,采用激光作为参考基准线,将2维光斑位置传感器作为光电转换器件。当固定在导轨滑块上的2维光斑位置传感器沿着导轨移动时,光斑的位置数据会通过蓝牙模块传输到终端上,输入位置信息之后,软件会自动绘制出导轨的2... 为了检测长导轨的直线度,采用激光作为参考基准线,将2维光斑位置传感器作为光电转换器件。当固定在导轨滑块上的2维光斑位置传感器沿着导轨移动时,光斑的位置数据会通过蓝牙模块传输到终端上,输入位置信息之后,软件会自动绘制出导轨的2维直线度曲线。结果表明,计算出激光偏角带来的误差远小于1μm;通过高精度位移平台,实验验证了系统的精度可达到3.4μm;实际使用中,检测了7.2m的长导轨,取得了长导轨的直线度数据,重复精度可达5μm。这一结果对长导轨直线度测量的研究是有帮助的。 展开更多
关键词 激光技术 激光准直 比对实验 光斑位置传感器
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基于位置敏感半导体光电器件的同步辐射光斑位置检测 被引量:2
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作者 孟楠 曾建荣 +1 位作者 李中亮 边风刚 《核技术》 CAS CSCD 北大核心 2020年第12期16-24,共9页
同步辐射的光斑位置及强度的稳定性对实验尤为重要,光束稳定性的定量评测是目前光束线站实验中需要解决的一个关键问题。二维Pin-cushion型光电位置灵敏探测器(Position Sensitive Detector,PSD)可同时检测两个方向的光斑位置变化和光... 同步辐射的光斑位置及强度的稳定性对实验尤为重要,光束稳定性的定量评测是目前光束线站实验中需要解决的一个关键问题。二维Pin-cushion型光电位置灵敏探测器(Position Sensitive Detector,PSD)可同时检测两个方向的光斑位置变化和光斑尺寸,且便于安装和使用。对于5.9 mm×2.0 mm的矩形光斑开展实验研究,获得探测器中心位置水平和垂直方向的分辨率分别达到1.5μm和1.4μm。利用该探测器的输出电流值,可同时监测光通量的变化,信噪比RSN可达4.3×10^6。该微型探测器能有效满足光束线站光斑位置、光斑尺寸和光通量的监测需求。 展开更多
关键词 光电位置传感器 光斑位置 同步辐射 二维探测
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基于Infinite integral的四象限探测器光斑位置检测算法 被引量:7
7
作者 苟晔鹏 刘星 +2 位作者 刘强 郭甲崇 邢博 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2021年第9期1249-1256,共8页
为了进一步提高基于四象限探测器的半主动式激光导引头的目标定位精度,本文以高斯分布的圆形光斑作为入射光斑模型,提出了一种基于Infinite integral拟合方法的改进算法(GII)。在Infinite integral拟合算法的基础上,考虑了外部光能和死... 为了进一步提高基于四象限探测器的半主动式激光导引头的目标定位精度,本文以高斯分布的圆形光斑作为入射光斑模型,提出了一种基于Infinite integral拟合方法的改进算法(GII)。在Infinite integral拟合算法的基础上,考虑了外部光能和死区带来的误差影响,采用最小二乘法获得最佳拟合的解析表达式。为了简化算法的计算量,对部分解析表达式进行分段式多项式拟合,优化拟合区间,并得到GII算法的解析表达式。GII算法相较于传统Infinite integral拟合算法和8次多项式拟合法,精度大幅度提升。仿真和实验表明,该算法在确保良好实时性的同时,能增加四象限探测器的有效探测范围,提高不同光斑半径下四象限探测器的定位精度,为战场环境下精准激光制导武器的发展提供了理论参考。 展开更多
关键词 光斑位置检测 四象限探测器 Infinite integral算法 分段多项式拟合
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基于计算机视觉的热物理激光光斑位置精确测量方法设计 被引量:1
8
作者 曹剑英 《激光杂志》 CAS 北大核心 2021年第3期70-73,共4页
为了缩短热物理激光光斑位置的测量周期,提高热物理激光光斑位置的测量水平,提出了基于计算机视觉的热物理激光光斑位置精确测量方法设计。利用计算机视觉技术计算热物理激光光斑的初始位置,根据热物理激光光斑位置特征的提取流程,完成... 为了缩短热物理激光光斑位置的测量周期,提高热物理激光光斑位置的测量水平,提出了基于计算机视觉的热物理激光光斑位置精确测量方法设计。利用计算机视觉技术计算热物理激光光斑的初始位置,根据热物理激光光斑位置特征的提取流程,完成了热物理激光光斑位置特征的提取;利用热物理激光光斑质心位置与解算值的关系式,得到了热物理激光光斑的估计位置,结合热物理激光光斑位置测量算法流程,完成热物理激光光斑位置测量算法设计;最后通过热物理激光光斑位置的测量流程,实现了基于计算机视觉的热物理激光光斑位置的精确测量。实验结果证明,基于计算机视觉的热物理激光光斑位置测量方法与其他两种方法相比,热物理激光光斑位置的测量周期明显缩短了。 展开更多
关键词 计算机视觉 热物理 激光光斑位置 精确测量
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调焦调平探测光斑位置误差对测量准确度影响的研究 被引量:9
9
作者 廖飞红 李小平 +1 位作者 陈学东 李志丹 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第4期1041-1045,共5页
调焦调平测量系统(FLMS),实时测量硅片曝光视场区域与投影物镜焦面的相对位姿,其测量准确度影响光刻机曝光成像质量。调焦调平测量采用大入射角将3个以上的探测光斑投影到硅片曝光视场区域实现对硅片高度和倾斜的测量。如果光斑位置存... 调焦调平测量系统(FLMS),实时测量硅片曝光视场区域与投影物镜焦面的相对位姿,其测量准确度影响光刻机曝光成像质量。调焦调平测量采用大入射角将3个以上的探测光斑投影到硅片曝光视场区域实现对硅片高度和倾斜的测量。如果光斑位置存在误差,就会引起硅片测量准确度误差,进而造成硅片曝光视场区域离焦,影响曝光成像质量。根据调焦调平单点几何测量模型,建立了光斑位置误差模型。研究结果表明,调焦调平单光斑的测量高度误差与光斑水平位置误差成正比,经调整调焦调平的零平面与焦面近似平行,并精确校准光斑水平位置误差到0.05 mm,其造成的测量误差最大为10 nm。 展开更多
关键词 测量 光斑位置误差 调焦调平测量系统 光刻机
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可测量光斑位置的新型激光功率计
10
《物理》 CAS 北大核心 2008年第2期138-138,共1页
Coherent(相干)公司最新推出LabMax激光功率和能量计,可以与Coherent所有的功率和能量探头匹配,同时支持光斑位置探测,从而可以保证测量的精确度和长时间光束监测.
关键词 激光功率计 光斑位置 测量 位置探测 能量计 精确度 相干 光束
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一种可用于风速测量的CMOS光点位置检测传感器的设计 被引量:3
11
作者 孙萍 秦明 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2010年第10期1431-1434,共4页
介绍了一种可用于风速风向测量的光点位置检测传感器的结构、特点、工作原理,给出了传感器的理论模型,分析了传感器测量分辨率和灵敏度。该传感器在用于大风速测量有较高的测试灵敏度。在0~20m/s测试量程内,测得风向的灵敏度为7mV/度,... 介绍了一种可用于风速风向测量的光点位置检测传感器的结构、特点、工作原理,给出了传感器的理论模型,分析了传感器测量分辨率和灵敏度。该传感器在用于大风速测量有较高的测试灵敏度。在0~20m/s测试量程内,测得风向的灵敏度为7mV/度,风速的灵敏度为2.5mv/μm。。该传感器结构简单,工艺制作方便,能与CMOS工艺兼容,无温度漂移。 展开更多
关键词 光斑位置检测 CMOS 光电导效应 螺旋结构 风速测量
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激光束经凹球面反射镜偏转发散后光斑大小的近似计算
12
作者 蒋承溪 《四川激光》 1981年第1期21-26,共6页
本文采用几何光学方法,导出了激光束经凹球面反射镜偏转发数后在垂直于入射激光束对称轴平面上的光斑大小计算公式。对焦距f满足πωo^z1/λf≥1或Z1/f-1≥1的短焦距凹球面反射镜,用本文的结果,可以估算激光束经此凹球面镜偏转发散... 本文采用几何光学方法,导出了激光束经凹球面反射镜偏转发数后在垂直于入射激光束对称轴平面上的光斑大小计算公式。对焦距f满足πωo^z1/λf≥1或Z1/f-1≥1的短焦距凹球面反射镜,用本文的结果,可以估算激光束经此凹球面镜偏转发散后在垂直于入身激光束对称轴平面上的光斑位置、大小及平均功率密度。 展开更多
关键词 球面反射镜 光斑位置 近似计算 激光束 发散 偏转 光学方法 功率密度 轴平面 短焦距
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结合激光准直的二维转角动态测量系统 被引量:9
13
作者 楼志斌 赵辉 +2 位作者 刘权 郑超 陶卫 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第3期561-568,共8页
为了克服现有二维转角动态测量方法结构复杂、成本昂贵的缺点,提出了结合激光准直的二维转角动态测量方法。首先,根据二维转角测量的关键问题提出基于激光准直的测量方法,采用准直激光作为测量基准,以远端的位置探测器作为检测器件。接... 为了克服现有二维转角动态测量方法结构复杂、成本昂贵的缺点,提出了结合激光准直的二维转角动态测量方法。首先,根据二维转角测量的关键问题提出基于激光准直的测量方法,采用准直激光作为测量基准,以远端的位置探测器作为检测器件。接着,设计测量系统和各组成模块,根据测量要求对系统中的关键模块进行设计和优化。然后,具体设计系统中的测量算法,完成测量模型建立。最后,在±2°范围内进行实验测试和分析。实验结果表明:系统可动态测量,稳定性好,测量重复性误差为1μrad,X轴非线性误差为1.8%,Y轴非线性误差为1.7%,动态带载响应频率在±0.01°内优于200Hz,基本满足二维转角测量的高精度、高重复性、高稳定性的要求。 展开更多
关键词 激光准直 二维转角 动态测量 光斑位置
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基于PSD的长跨度孔系同轴度误差测量系统 被引量:10
14
作者 余厚云 赵转萍 陆永华 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2013年第2期70-73,共4页
以激光作为准直基准,研制了基于位置敏感探测器(PSD)的长跨度孔系同轴度误差测量系统。多功能测头在孔系内通过自定心机构确定各被测截面,测头前端的PSD检测激光光斑位置以确定各孔截面中心坐标,并进而评定出孔系同轴度误差。推导出激... 以激光作为准直基准,研制了基于位置敏感探测器(PSD)的长跨度孔系同轴度误差测量系统。多功能测头在孔系内通过自定心机构确定各被测截面,测头前端的PSD检测激光光斑位置以确定各孔截面中心坐标,并进而评定出孔系同轴度误差。推导出激光自准直数学模型,根据该模型由四自由度工作台调整激光器位置,实现了激光自准直。使用本测量系统完成了激光自准直实验和孔系同轴度误差测量实验。实验结果表明:经准直后激光束与工件两端孔中心连线之间的偏差在±0.032 mm以内,与三坐标测量机相比,本系统同轴度误差测量的相对误差为8%,具备了较高的准直精度和同轴度误差测量精度。 展开更多
关键词 长跨度孔系 同轴度误差 位置敏感探测器 激光自准直 激光光斑位置检测
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航空透明件光学角偏差测试仪的光学系统设计 被引量:8
15
作者 赵成强 徐文东 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第2期437-441,共5页
光学角偏差为航空透明件的一个最重要光学性能指标。介绍了一种航空透明件光学角偏差测试仪,其光学系统采用LED光源、双光路、千兆网面阵相机等技术,实现了光学角偏差自动检测,并增加了分辨率检测功能。光斑位置检测为角偏差测试中的关... 光学角偏差为航空透明件的一个最重要光学性能指标。介绍了一种航空透明件光学角偏差测试仪,其光学系统采用LED光源、双光路、千兆网面阵相机等技术,实现了光学角偏差自动检测,并增加了分辨率检测功能。光斑位置检测为角偏差测试中的关键技术,其判断精度直接决定了仪器的精度。在模板匹配算法的基础上提出了一种新的检测光斑位置的亚像素算法,提高了仪器的测量精度。仪器的角偏差测量范围为±42.6′,测量的绝对误差≤±7″。 展开更多
关键词 航空透明件 角偏差 分辨率 光斑位置
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高精度二维激光测角装置的设计与实现 被引量:3
16
作者 汪立新 李忠科 戚堂友 《弹箭与制导学报》 CSCD 北大核心 2007年第3期290-291,294,共3页
为了实现二维微小角度的精度测量,采用了激光准直测角技术,并利用二维(面阵列)CCD或CMS器件作为光斑位置传感器,自动捕捉反射光斑位置,自动解算二维角度值。而选用线阵CCD光斑位置传感器,可提高测量速度、测量范围和精度。进行了理论分... 为了实现二维微小角度的精度测量,采用了激光准直测角技术,并利用二维(面阵列)CCD或CMS器件作为光斑位置传感器,自动捕捉反射光斑位置,自动解算二维角度值。而选用线阵CCD光斑位置传感器,可提高测量速度、测量范围和精度。进行了理论分析和实验验证,取得了满意结果,具有工程应用价值。 展开更多
关键词 仪器测量 激光测角 光斑位置传感器 自动捕捉
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PSD精密测量中的二维表检索算法 被引量:4
17
作者 易亚星 李忠科 邓方林 《计算机测量与控制》 CSCD 2002年第5期284-285,共2页
根据PSD非线性失真特点,设计出二维表的两种快速检索算法。
关键词 能量重心型光斑位置敏感探测器 PS 精密测量 二维表检索算法
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长跨度孔系直径与同轴度误差测量系统 被引量:5
18
作者 赵转萍 余厚云 《工业仪表与自动化装置》 2013年第5期20-23,83,共5页
针对飞机铰链件长跨度、小直径孔系的直径和同轴度误差高精度测量问题,研制了基于光电传感器的综合测量系统。多功能测头中的直流电机驱动自定心机构确定孔截面测量位置,光电编码器记录电机有效转动量,通过与标准环规进行比较间接测量... 针对飞机铰链件长跨度、小直径孔系的直径和同轴度误差高精度测量问题,研制了基于光电传感器的综合测量系统。多功能测头中的直流电机驱动自定心机构确定孔截面测量位置,光电编码器记录电机有效转动量,通过与标准环规进行比较间接测量各孔直径。以激光作为准直基准,安装在多功能测头前端的PSD检测激光光斑位置以确定各孔截面中心坐标,并进而评定出孔系的同轴度误差。使用该测量系统完成了孔系直径测量试验和PSD光斑检测线性及重复性试验。试验结果表明,与三坐标测量机测量结果相比,孔径测量相对误差小于10μm,PSD光斑位置检测重复性误差小于13μm,具备了较高的检测精度。 展开更多
关键词 长跨度孔系 同轴度误差 PSD 光电编码器 激光光斑位置检测
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光刻镜头象质测试方法
19
作者 周明宝 杜春雷 +1 位作者 林大键 郭勇 《光电工程》 CAS CSCD 1998年第1期39-44,共6页
提出了一种用于测量紫外光或深紫外光光斑位置的新方法,并将这种方法同传统的哈特曼检验法结合起来形成了一种测试光刻镜头象质的新方法。这种方法测量原理简单、测量精度高。在不采取隔振和恒温措施的实验室环境下,横向象差的测量精... 提出了一种用于测量紫外光或深紫外光光斑位置的新方法,并将这种方法同传统的哈特曼检验法结合起来形成了一种测试光刻镜头象质的新方法。这种方法测量原理简单、测量精度高。在不采取隔振和恒温措施的实验室环境下,横向象差的测量精度为-1.2~+1.1μm,重复测量精度为-1.7μm<3σ<1.7μm。 展开更多
关键词 光刻镜头 象差测量 光斑位置 紫外光
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大视场阵列探测器归心算法研究 被引量:1
20
作者 刘好伟 吴志勇 +3 位作者 吴佳彬 陈云善 高世杰 霍力 《光电工程》 CAS CSCD 北大核心 2021年第6期50-57,共8页
为了实现空间光通信系统小型化、一体化设计,建立了基于阵列探测器和快速偏转镜的一体化跟踪系统,通过分析阵列探测器的光斑位置检测原理提出了一种归心算法。首先通过设置阈值,设计了光斑不完全覆盖探测器的粗归心策略;然后采用数据库... 为了实现空间光通信系统小型化、一体化设计,建立了基于阵列探测器和快速偏转镜的一体化跟踪系统,通过分析阵列探测器的光斑位置检测原理提出了一种归心算法。首先通过设置阈值,设计了光斑不完全覆盖探测器的粗归心策略;然后采用数据库查询的方法完成精归心,最后采用无穷积分法使光斑归至原点附近;通过搭建试验平台验证了算法的正确性和可行性。实验结果表明:跟踪视场可达70.3 mrad,较原算法视场扩大了约3倍,跟踪最大误差优于1.8μrad,为空间光通信系统的进一步工程化应用奠定了基础。 展开更多
关键词 阵列探测器 光斑位置检测 归心算法 快速偏转镜
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