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提高晶圆扫描效率的方法研究
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作者 罗杨 《电子工业专用设备》 2014年第3期42-47,共6页
从测试晶圆上未划切的手机摄像头芯片引出一个问题:如何快速确定晶圆的有效测试范围,提出了"全片扫描"和"边缘扫描"两种方法,阐述实现原理后,分析各自的优缺点,利用实验数据进行效率对比,发现"边缘扫描"... 从测试晶圆上未划切的手机摄像头芯片引出一个问题:如何快速确定晶圆的有效测试范围,提出了"全片扫描"和"边缘扫描"两种方法,阐述实现原理后,分析各自的优缺点,利用实验数据进行效率对比,发现"边缘扫描"效率更高。 展开更多
关键词 晶圆测试 晶圆扫描 扫描效率 全片扫描 边缘扫描
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