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薄金属膜光学常数的椭偏法测定 被引量：3
1
作者 薛建华 韩丹 +1 位作者 杨秀文 魏江南 《河北科技大学学报》 CAS 2003年第2期77-80,共4页
依据椭偏测光法的原理,采用内外反射法测量透明基底上薄金属膜的光学常数的厚度,并在计算机上利用单纯形法计算得到薄金属膜的折射率、消光系数和几何厚度,并对数据进行了系统误差的修正。
关键词 薄金属膜 光学常数 椭偏测光法 单纯形法 内外反射法 折射率 消光系数 几何厚度
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使用修正的模拟退火数据处理以提高椭偏测量中薄膜参数的精度 被引量：1
2
作者 王芳宁 王植恒 姜明 《西南民族大学学报（自然科学版）》 CAS 2006年第4期783-787,共5页
数据处理一直是椭偏测量术获取高精度薄膜结构参数的一个难点.有研究者曾将模拟退火算法引入到单波长消光椭偏仪的数据处理中,针对该模拟退火数据处理在获取实验薄膜样品结构参数准确解时出现的困难,本文对其进行了一定的修正:提出了在... 数据处理一直是椭偏测量术获取高精度薄膜结构参数的一个难点.有研究者曾将模拟退火算法引入到单波长消光椭偏仪的数据处理中,针对该模拟退火数据处理在获取实验薄膜样品结构参数准确解时出现的困难,本文对其进行了一定的修正:提出了在利用模拟退火算法反演求解薄膜结构参数时引入两种不同测量误差的方法;考虑到多角度测量法在不恰当增加入射角时极易破坏求解的收敛性而得到多解伪解情况,故改选用内外反射法测量吸收薄膜样品.通过大量的模拟计算和实验测量,其结果表明修正后的模拟退火数据处理方法在模拟计算和实验测量中均适用,且能有效避开伪解,得到高精度真值,是提高薄膜参数精度的有效方法之一;同时采用两种不同测量误差的方法还可作为解稳定性和正确性的判据之一. 展开更多
关键词 椭偏测量术 精度 修正的模拟退火数据处理 内外反射法 薄膜
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