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题名基于电子自准直仪的大口径准直波前检测系统
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作者
徐建程
陈曌
侯园园
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机构
浙江师范大学信息光学研究所
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出处
《浙江师范大学学报（自然科学版）》
CAS
2016年第1期43-47,共5页
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基金
国家自然科学青年基金资助项目(61205163)
"浙江师范大学创新团队"项目资助
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文摘
为测量大口径准直波前的准直性,开发了基于电子自准直仪的准直波前检测系统.介绍了大口径准直波前检测原理及检测装置,分析了主要误差源.采用800 mm口径参考面测量系统误差并进行校准,校准后,该系统的精度从0.91″提高到0.36″.用该系统测量610 mm口径相移干涉仪的准直波前,实验结果表明:该干涉仪的准直波前处于发散状态,最大发散角为24.53″.开发的波前准直检测系统能够满足大口径干涉仪准直波前的检测要求.
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关键词
大口径干涉仪
准直波前
电子自准直仪
系统误差
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Keywords
large-aperture interferometer
collimated wavefront
electronic autocollimator
system error
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分类号
O436.1
[机械工程—光学工程]
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题名五棱镜扫描法检测大口径近红外干涉仪准直波前
被引量：14
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作者
刘兆栋
于丽娜
韩志刚
陈磊
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机构
南京理工大学电子工程与光电技术学院
中国电子科技集团第
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出处
《中国激光》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2010年第4期1082-1087,共6页
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文摘
为了保证大口径近红外干涉仪的测试精度,必须严格控制其出射波前的准直性。采用五棱镜扫描系统将干涉仪的出射波前分割成若干个子波前,记录每个子波前在CCD上所成光斑质心的相对位置,计算得到各个子波前的法线方向以重构被测波前,从而实现对出射波前准直性的检测。实验测量了210 mm口径的近红外干涉仪准直物镜水平方向上的出射波前,计算重构了被测波前。分析了实验系统误差对于测试结果的影响。该方法成本低、精度高,特别适用于大口径近红外波前的准直性检测。
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关键词
光学测量
准直波前
五棱镜扫描
干涉仪
近红外
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Keywords
optical testing
collimated wavefront
scanning pentaprism
interferometer
near-infrared
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分类号
TH744.3
[机械工程—光学工程]
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