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题名真空电阻凸焊预压阶段的有限元数值模拟
被引量：5
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作者
王成刚
卢霞
汪学方
甘志银
张鸿海
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机构
华中科技大学微系统研究中心
武汉工程大学机电学院
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出处
《焊接技术》
北大核心
2008年第5期9-11,共3页
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基金
国家863高技术发展资助项目(2005AA404260)
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文摘
许多MEMS元件需要在真空条件下才能保持良好的性能,采用真空电阻凸焊技术可以达到相当好的真空密封效果。真空电阻凸焊预压阶段采用不同凸焊筋角度和不同预压力对凸焊最终质量都有很大的影响。根据MEMS元件凸焊的具体情况,建立了一个二维有限元凸焊模型,通过对不同预压力和不同角度凸焊筋顶角的有限元接触分析,得出不同预压力和凸焊筋顶角的凸焊筋塑性变形和接触压力分布状况等结果,并通过分析结果得出预压力和凸焊筋顶角对预压变形和接触应力分布的影响规律。文中的结果为凸焊机理研究和MEMS元件凸焊封装外壳的优化设计打下了良好的基础。
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关键词
真空凸焊
有限元法
电极压力
凸焊筋角度
接触分析
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Keywords
projection welding,finite element method,electrode forces,projection welding tendons angle,contact analysis
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分类号
TG456
[金属学及工艺—焊接]
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题名真空电阻凸焊过程的有限元模拟分析
被引量：2
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作者
喻九阳
卢霞
王仕仙
王成刚
杨侠
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机构
武汉工程大学机电工程学院
武汉工程大学邮电与信息工程学院
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出处
《焊接学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2010年第12期21-24,共4页
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基金
国家"863"高技术研究发展计划资助项目(2005AA404260)
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文摘
采用真空电阻凸焊进行MEMS器件的封装,可以提高成品率,降低成本.针对MEMS真空电阻凸焊过程建立热、电、结构三场耦合的有限元模型,通过分析得到凸焊筋的压溃过程、焊核的形成过程等一系列结果.结果表明,凸焊筋的压溃主要发生在通电过程的前半部分时间内,而以后的通电时间主要是凸焊筋部分金属熔化,最终形成凸焊焊核的过程.在此基础上分析凸焊筋角度对焊接质量的影响,凸焊筋角度为60°时得到的焊核较大.最后进行焊接以及焊后拉伸试验,试验结果与模拟结果一致.
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关键词
真空电阻凸焊
热、电、结构三场耦合
凸焊筋角度
有限元法
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Keywords
vacuum projection welding
thermal-electric-stress coupled field
projection tendon angle
finite element method
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分类号
TG115.28
[金属学及工艺—物理冶金]
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