功能薄膜材料的制备方法对比与应用前景 被引量：3

1

作者 辛凤 张效华 +1 位作者 胡跃辉 陈义川 《陶瓷学报》 CAS 北大核心 2015年第3期237-242,共6页

伴随电子信息技术的爆炸性发展,微电子与固体电子技术发展也日新月异,从而促进了薄膜材料在不同领域的广泛应用。反之,高性能薄膜材料的出现也直接促进信息技术的飞跃。电子元器件的发展趋势呈现高速运行,微型与轻薄化,可靠性高,高度集... 伴随电子信息技术的爆炸性发展,微电子与固体电子技术发展也日新月异,从而促进了薄膜材料在不同领域的广泛应用。反之,高性能薄膜材料的出现也直接促进信息技术的飞跃。电子元器件的发展趋势呈现高速运行,微型与轻薄化,可靠性高,高度集成等趋势,同时与微电子工艺兼容。薄膜材料正好满足多层布线与高度集成等工艺要求。本文综合介绍功能薄膜的制备方法以及优缺点对比。同时也简要介绍了薄膜材料的种类,研究进展以及可能的用途。 展开更多

关键词 功能薄膜材料 薄膜技术 制备方法 表面处理

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功能薄膜材料多晶硅的制备及光电特性研究 被引量：1

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作者 吴萍 林旋英 +1 位作者 姚若河 余楚迎 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 1999年第6期62-64,共3页

用等离子体化学气相沉积(PCVD)制备掺杂和本征的a-Si:H薄膜,用固相晶化法制备多晶硅薄膜。通过X射线衍射分析多晶硅的晶粒大小与a-Si:H的沉积条件及退火条件的关系,测量了多晶硅薄膜的室温暗电导率和光能隙,讨论了影响暗电导率和光能隙... 用等离子体化学气相沉积(PCVD)制备掺杂和本征的a-Si:H薄膜,用固相晶化法制备多晶硅薄膜。通过X射线衍射分析多晶硅的晶粒大小与a-Si:H的沉积条件及退火条件的关系,测量了多晶硅薄膜的室温暗电导率和光能隙,讨论了影响暗电导率和光能隙的因素。 展开更多

关键词 多晶硅 固相晶化 光电特性 功能薄膜材料

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高技术功能薄膜材料电阻率测试新法及微机测试系统

3

作者 唐森 李荣志 朱鹤孙 《功能材料》 EI CAS CSCD 1993年第3期256-260,共5页

介绍一种适于测量几何形状无规则的薄形样品电阻率的改进直流四探针法(IFPM),同时提出了带背底样品的测试实验修正原理和方法。采用具有标准IEEE—488接口和24路I/0控制接口的PC/XT微机和智能数字仪表组成测试实施系统,在Solartron35 sy... 介绍一种适于测量几何形状无规则的薄形样品电阻率的改进直流四探针法(IFPM),同时提出了带背底样品的测试实验修正原理和方法。采用具有标准IEEE—488接口和24路I/0控制接口的PC/XT微机和智能数字仪表组成测试实施系统,在Solartron35 system上用范德堡法(VDPM)和在本系统上用IFPM法对同一块硅单晶片进行了对比测试,二者偏差为4.3％。采用该法还测试研究了直流电弧等离子体喷射技术在陶瓷基底上制备的1μm厚铜-聚丙炔腈(Cu-PPN)金属有机导电薄膜的电阻率与温度的关系,结果表明Cu-PPN薄膜具有非晶半导体的扩展传导机制。研究表明,IFPM法对目前不能沿用传统技术的高技术薄膜材料电阻率测试是一条有效的途径。 展开更多

关键词 功能薄膜材料 电阻率 探针法 微机

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功能薄膜材料的环境协调性制备技术研究进展

4

作者 史芳 赖欣 +3 位作者 崔春华 何见超 毕剑 高道江 《科学技术与工程》 2006年第9期1226-1231,1247,共7页

在对环境协调性制备技术进行了概述的基础上,对目前最有希望的几种功能薄膜材料环境协调性制备技术分别进行了介绍,特别重点介绍了软溶液工艺技术的优势和发展趋势。针对上述功能薄膜材料的环境协调性制备技术的不足之处,对今后的发展... 在对环境协调性制备技术进行了概述的基础上,对目前最有希望的几种功能薄膜材料环境协调性制备技术分别进行了介绍,特别重点介绍了软溶液工艺技术的优势和发展趋势。针对上述功能薄膜材料的环境协调性制备技术的不足之处,对今后的发展方向提出了展望。 展开更多

关键词 功能薄膜材料 环境协调性制备技术 进展

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全国光学功能薄膜材料标准化技术委员会2012年度标准化工作会议暨行标审查会在济南圆满举行

5

作者 孙朝霞 《信息记录材料》 2013年第1期64-64,共1页

为全力推动光学功能薄膜材料领域标准体系建设，系统提升光学功能薄膜材料行业标准制定水平，积极推进标委会的各项工作，全国光学功能薄膜材料标准化技术委员会（以下简称光标委）2012年度标准化工作会议暨国行标审查会于2012年12月3... 为全力推动光学功能薄膜材料领域标准体系建设，系统提升光学功能薄膜材料行业标准制定水平，积极推进标委会的各项工作，全国光学功能薄膜材料标准化技术委员会（以下简称光标委）2012年度标准化工作会议暨国行标审查会于2012年12月3日-4日在济南顺利召开。来自中国乐凯胶片集团公司。 展开更多

关键词 标准化技术委员会 功能薄膜材料 光学 济南 审查 行标 化工 中国乐凯胶片集团公司

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先进功能薄膜材料专刊

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作者 唐永柄 《集成技术》 2017年第4期1-1,共1页

制造业是国民经济的主体,是立国之本、兴国之器、强国之基。《中国制造2025》明确提出高端装备创新工程,涉及大型飞机、航空发动机、新能源汽车、海洋工程装备、高端诊疗设备等创新性工程领域。切削工具作为＂工业的牙齿＂,是实现高端... 制造业是国民经济的主体,是立国之本、兴国之器、强国之基。《中国制造2025》明确提出高端装备创新工程,涉及大型飞机、航空发动机、新能源汽车、海洋工程装备、高端诊疗设备等创新性工程领域。切削工具作为＂工业的牙齿＂,是实现高端装备先进制造的关键前提。 展开更多

关键词 功能薄膜材料 创新工程 工程装备 航空发动机 新能源汽车 国民经济 中国制造 大型飞机

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全国光学功能薄膜材料标准化技术委员会2011年度标准化工作会议暨国行标审查会在南京圆满举行

7

作者 许丽丽 《信息记录材料》 2012年第1期64-64,共1页

为准确把握国家标准化工作的发展动向，全力推动光学功能薄膜材料领域国家标准体系建设，系统提升光学功能薄膜材料行业国家标准、行业标准制订水平，积极推进标委会的各项工作，全国光学功能薄膜材料标准化技术委员会（以下简称光标委... 为准确把握国家标准化工作的发展动向，全力推动光学功能薄膜材料领域国家标准体系建设，系统提升光学功能薄膜材料行业国家标准、行业标准制订水平，积极推进标委会的各项工作，全国光学功能薄膜材料标准化技术委员会（以下简称光标委）2011年度标准化工作会议暨国行标审查会于2011年11月20日～21日在南京顺利召开。 展开更多

关键词 标准化技术委员会 功能薄膜材料 光学 化工 南京 审查 行标 标准体系建设

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功能薄膜材料研究进展

8

作者 王雪敏 《中国工程物理研究院科技年报》 2009年第1期28-30,共3页

功能薄膜材料是广泛应用于国民经济、军事工业等领域的基础材料，具有重要的应用和基础研究价值。目前，应用于ICF物理实验中的功能薄膜材料主要包括：多层金属复合靶、激光X光转换材料、透明支撑层等。

关键词 功能薄膜材料 光转换材料 国民经济 基础材料 军事工业 基础研究 多层金属 物理实验

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全国光学功能薄膜材料标准化技术委员会 全国感光材料标准化技术委员会 全国数码影像及数字印刷材料标准化技术委员会 2013年度国行标准审查会胜利召开

9

《信息记录材料》 2014年第1期63-64,共2页

标准化是国民经济和社会发展的重要基础,也是推动企业自主创新、转变经济增长方式的重要推手.随着经济全球化进程的不断加速,标准化已成为一个企业占据产业制高点的重要工具.为推动行业标准化建设,提升我国行业标准制定水平,由中乐凯集... 标准化是国民经济和社会发展的重要基础,也是推动企业自主创新、转变经济增长方式的重要推手.随着经济全球化进程的不断加速,标准化已成为一个企业占据产业制高点的重要工具.为推动行业标准化建设,提升我国行业标准制定水平,由中乐凯集团有限公司承担的全国光学功能薄膜材料标准化技术委员会（下简称光标委）、全国感光材料标准化技术委员会（下简称感标委）、全国数码影像及数字印刷材料标准化技术委员会（下简称数标委）分别于2013年12月13日、14日、15日在江苏常州假日酒店召开2013年度国行标准审查会,会议邀请了中国工程院邹竞院士、国家标准化管理委员会农业食品部王乃铝副处长、中国石油和化学工业联合会钟之万高工、常州市武进区质量技术监督局罗士良副局长、中国乐凯集团有限公司王瑞强副总经理、原光标委主任委员刘军英总经理等人参加;本次会议严格按着乐凯集团公司腾方迁总经理的指示进行,以“十八大精神”和“八项规定”为指导,提倡一切从俭、反对铺张浪费. 展开更多

关键词 标准化技术委员会 功能薄膜材料 标准审查会 印刷材料 数码影像 感光材料 光学 国家标准化管理委员会

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仿生法制备功能陶瓷薄膜材料(英文) 被引量：2

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作者 高彦峰 河本邦仁 《陕西科技大学学报（自然科学版）》 2004年第5期48-59,共12页

介绍了一种新的功能陶瓷薄膜制备方法———仿生法。该方法不同于传统的湿化学方 法,如水热合成法、熔胶凝胶法、电化学法等,其突出特点是无外加电场,不需要调制熔胶或者 凝胶,可以在常温常压下合成。该方法涉及两个关键点:基板... 介绍了一种新的功能陶瓷薄膜制备方法———仿生法。该方法不同于传统的湿化学方 法,如水热合成法、熔胶凝胶法、电化学法等,其突出特点是无外加电场,不需要调制熔胶或者 凝胶,可以在常温常压下合成。该方法涉及两个关键点:基板表面的修饰和溶液条件的控制。 我们在基板(单晶硅,玻璃等)的表面通过化学吸附的方式生长了一层自组织单分子层,然后将 这层单分子层部分暴露在紫外光下,使暴露部分发生光化学反应,从而生成与未暴露部分不同 的新的官能团。以此为模板,在适合的溶液条件下(溶液的过饱和度等),通过溶液与模板表面 官能团之间的选择性的物理化学作用,实现了从溶液中直接制备位置、形貌、结晶形态等可控 的功能陶瓷薄膜。作者以SrTiO3为例简单介绍了这种新的合成方法。 展开更多

关键词 仿生法 功能陶瓷薄膜材料 制备方法 自组织单层 光化学反应 陶瓷氧化物 水溶液

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离子束技术和薄膜功能材料研究

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作者 范湘军 彭友贵 +7 位作者 郭怀喜 吴大维 李金钗 叶明生 傅强 刘昌 孟宪权 张志宏 《武汉大学学报（自然科学版）》 CSCD 1997年第1期93-98,共6页

总结了武汉大学物理系加速器实验室近年来在离子束技术和薄膜功能材料研究方面的主要成果，包括：大型离子束及薄膜研究设备的建造和改进，非晶合金、高温超导、Ｃ６０、β－Ｃ３Ｎ４等多种新型薄膜功能材料的离子束合成和材料改性研究... 总结了武汉大学物理系加速器实验室近年来在离子束技术和薄膜功能材料研究方面的主要成果，包括：大型离子束及薄膜研究设备的建造和改进，非晶合金、高温超导、Ｃ６０、β－Ｃ３Ｎ４等多种新型薄膜功能材料的离子束合成和材料改性研究．这是近１０年来薄膜功能材料最前沿的研究课题，这些研究工作具有一定的特色。 展开更多

关键词 离子注入 薄膜功能材料 离子束技术 碳60

全文增补中

功能薄膜研究发展过程中的方法论探索

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作者 胡少六 童杏林 +2 位作者 何建平 王又青 龙华 《科技进步与对策》 CSSCI 北大核心 2004年第4期133-134,共2页

概括地阐述了功能薄膜材料研究发展及其哲理,并从唯物辩证法、自然辩证法和科技哲学的角度分别讨论了功能薄膜研究在材料科学中的重要性及其对社会、经济和科技发展的作用,为功能薄膜研究的进一步发展提供科技方法论的启发。

关键词 功能薄膜材料 材料厚度 材料科学 生长过程

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抗擦耐磨腐蚀抗氧化阻燃吸波多功能纳米复合薄膜材料

13

《化工科技市场》 CAS 2002年第9期63-63,共1页

一种多功能纳米复合薄膜及其制造方法，其特征在于以纳米粉体和Si,Al,Zr的盐或烷氧化物为主要原料，通过溶胶-凝胶工艺在金属，陶瓷，玻璃，有机高分子等材料表面形成一层纳米颗粒改性的薄膜，其膜厚在20nm-5μm之间，纳米颗粒的含量在0... 一种多功能纳米复合薄膜及其制造方法，其特征在于以纳米粉体和Si,Al,Zr的盐或烷氧化物为主要原料，通过溶胶-凝胶工艺在金属，陶瓷，玻璃，有机高分子等材料表面形成一层纳米颗粒改性的薄膜，其膜厚在20nm-5μm之间，纳米颗粒的含量在0.001vol%-50vol%之间，用本发明制备的膜层具有抗擦，耐磨，而腐蚀，抗氧化，阻燃，吸波等多种功能，其生产式敢简单，适于工业化生产，有广阔的应用前景。 展开更多

关键词 抗擦耐磨腐蚀抗氧化阻燃 吸波多功能纳米复合薄膜材料 中国科学院金属研究所 特征 溶胶-凝胶工艺

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稀土金属功能材料研究进展与趋势 被引量：5

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作者 杨红川 张世荣 +4 位作者 徐静 于敦波 袁永强 李扩社 张深根 《新材料产业》 2003年第9期43-47,共5页

稀土永磁材料、稀土超磁致伸缩材料、稀土贮氢材料、稀土磁致冷材料、稀土功能薄膜材料是近几年发展较快的几种稀土金属功能材料,文章综述了这些材料的研究概况和发展趋势。

关键词 稀土永磁材料 稀土超磁致伸缩材料 稀土贮氢材料 稀土磁致冷材料 稀土功能薄膜材料 近室温磁致冷技术 稀土金属功能材料

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功能材料综述 被引量：1

15

作者 张金升 许凤秀 +2 位作者 王英姿 张银燕 马来鹏 《现代技术陶瓷》 CAS 2003年第3期40-44,共5页

概述了功能材料的基本性能和用途 ,从功能金属材料、功能无机非金属材料、功能高分子材料、功能晶体材料、功能复合材料、具有特殊结构的功能材料 (非晶态合金 -金属玻璃、纳米结构材料、贮氢材料、薄膜功能材料、形状记忆材料、智能材... 概述了功能材料的基本性能和用途 ,从功能金属材料、功能无机非金属材料、功能高分子材料、功能晶体材料、功能复合材料、具有特殊结构的功能材料 (非晶态合金 -金属玻璃、纳米结构材料、贮氢材料、薄膜功能材料、形状记忆材料、智能材料与结构、减震材料、生物医学材料 )等方面进行了分类和描述。功能材料种类繁多 ,用途广泛 。 展开更多

关键词 功能材料 金属材料 无机非金属材料 高分子材料 晶体材料 复合材料 非晶态合金-金属玻璃 纳米结构材料 贮氢材料 薄膜功能材料 形状记忆材料 智能材料 减震材料 生物医学材料

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《新型功能材料制备工艺》出版

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《中国表面工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第4期42-42,共1页

由李垚、唐冬雁和赵九蓬主编的《新型功能材料制备工艺》介绍了新型功能材料制备工艺的相关知识，着重选择在各个领域典型的功能材料体系，以其具体的制备方法、工艺流程、具体步骤为基本思路，详细介绍各类功能材料。具体内容包括新型... 由李垚、唐冬雁和赵九蓬主编的《新型功能材料制备工艺》介绍了新型功能材料制备工艺的相关知识，着重选择在各个领域典型的功能材料体系，以其具体的制备方法、工艺流程、具体步骤为基本思路，详细介绍各类功能材料。具体内容包括新型功能材料的化学合成方法与原理，新型功能陶瓷的制备工艺，新型功能薄膜材料的制备工艺，人工晶体，功能高分子材料的制备工艺， 展开更多

关键词 制备工艺 功能材料 功能高分子材料 出版 化学合成方法 功能薄膜材料 材料体系 制备方法

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信息功能材料国家重点实验室

17

《现代化工》 CAS CSCD 北大核心 2003年第2期63-63,共1页

关键词 信息功能材料国家重点实验室 功能薄膜材料 信息获取 信息转换 信息存储

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上海理工大学电功能材料研究所

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《上海有色金属》 CAS 2012年第1期F0004-F0004,共1页

上海理工大学电功能材料研究所以新型导电材料及制备技术、功能薄膜材料和生物医用钛合金等高性能材料的设计、加工技术作为主要研究方向，重点开发大规模集成电路用引线框架材料及加工技术、高速列车接触网导线材料、高压真空开关触头... 上海理工大学电功能材料研究所以新型导电材料及制备技术、功能薄膜材料和生物医用钛合金等高性能材料的设计、加工技术作为主要研究方向，重点开发大规模集成电路用引线框架材料及加工技术、高速列车接触网导线材料、高压真空开关触头材料、弥散强化铜合金、铜铝复介导电材料等。在高强度铜合金的强化机理，高强度高导电制合金的导电机理、合金化等方面都有较深入的研究。 展开更多

关键词 功能材料 研究所 大学 上海 弥散强化铜合金 医用钛合金 功能薄膜材料 引线框架材料

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上海理工大学电功能材料研究所

19

《上海有色金属》 CAS 2012年第3期F0004-F0004,共1页

上海理工大学电功能材料研究所以新型导电材料及制备技术、功能薄膜材料和生物医用钛合金等高性能材料的设计、加工技术作为主要研究方向，重点开发大规模集成电路用引线框架材料及加工技术、高速列车接触网导线材料、高压真空开关触头... 上海理工大学电功能材料研究所以新型导电材料及制备技术、功能薄膜材料和生物医用钛合金等高性能材料的设计、加工技术作为主要研究方向，重点开发大规模集成电路用引线框架材料及加工技术、高速列车接触网导线材料、高压真空开关触头材料、弥散强化铜合金、铜铝复合导电材料等。 展开更多

关键词 功能材料 研究所 大学 上海 弥散强化铜合金 复合导电材料 功能薄膜材料 引线框架材料

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多铁磁电复合材料—功能材料领域的闪亮新星

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作者 张荣芬 郭凯鑫 邓朝勇 《贵州大学学报（自然科学版）》 2015年第5期49-54,65,共7页

在功能材料研究领域,人工复合的多铁磁电材料因具有室温环境下特殊的磁电性能——铁电有序和铁磁有序共存及"磁-力-电"转换特性(磁电耦合效应),在磁传感器、换能器、微波器件、存储器等方面有着十分诱人的实用价值与应用前景... 在功能材料研究领域,人工复合的多铁磁电材料因具有室温环境下特殊的磁电性能——铁电有序和铁磁有序共存及"磁-力-电"转换特性(磁电耦合效应),在磁传感器、换能器、微波器件、存储器等方面有着十分诱人的实用价值与应用前景。本文在回顾多铁磁电复合材料背景知识的基础上,重点介绍磁电复合材料磁电耦合机理、设计原理、制备方法与研究现状、理论分析方法与磁电效应表征方法相关内容,最后总结、展望多铁磁电复合材料未来研究中的一些重要问题。 展开更多

关键词 多铁磁电复合材料 磁电效应 磁电复合薄膜 功能材料

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