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动态真空镀铬临界速度确定
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作者 付永启 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 1997年第1期79-83,共5页
给出了动态真空镀铬保证安全成膜时被镀件不应超过的临界转速ｎ临。
关键词 动态真空镀铬 动态目标盘 镀膜 薄膜
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