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题名十字片簧弹性支承测量机构的设计与实验
被引量：1
- 1
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作者
于水
白立芬
李庆祥
王云庆
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机构
清华大学精密仪器与机械学系
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出处
《实验技术与管理》
CAS
2000年第1期19-21,共3页
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文摘
台阶测量仪是超大规模集成电路生产工艺中测量台阶高度的重要仪器其中测量机构部分是仪器中的关键部件，它的性能优劣直接影响着整机的测量精度。本语文阐述了十字片簧弹性支承的测量机构的与特性实验，实验证明，此测量机构有运动灵活、回转精度高、测量力小、调整方便、抗疲劳性好，使用中无磨损、不需润滑、工作稳定可靠等特点，该机构台阶测量仪的要求。
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关键词
十字片簧
弹性支承
测量机构
台阶测量仪
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分类号
TN407
[电子电信—微电子学与固体电子学]
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题名十字片簧弹性支承机构的设计
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作者
白立芬
李庆祥
于水
薛实福
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机构
清华大学精密仪器与机械学系
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出处
《机械设计》
CSCD
北大核心
2001年第3期18-19,30,共3页
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基金
国家重大基础研究资助项目 !(G1 9990 3 - 0 7)
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文摘
首先建立了接触式台阶测量仪中关键部件———十字片簧支承的杠杆机构的数学模型并对其进行初步设计。直片簧应力有限元分析表明 ,该结构应力分布很不均匀 ;经片簧参数的改进设计 ,得出变截面片簧的设计参数。 0 .2N外加载荷作用下 ,采用Algor有限元软件分别对变截面片簧进行仿真实验 ,最大、最小应力之比由直片簧的 3 1.4降低为7.7,扭转刚度为 0 .0 6N·m ,测量力变化率为 3 6.6N/m 。
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关键词
台阶测量仪
弹性支承
有限元
集成电路
十字片簧
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Keywords
Step measuring instrument, Elastic bearing, Finite element method, Optimization
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分类号
TN407
[电子电信—微电子学与固体电子学]
TH122
[机械工程—机械设计及理论]
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题名基于激光干涉的接触式微位移测量仪
被引量：2
- 3
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作者
王淑珍
谢铁邦
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机构
华中科技大学
洛阳理工学院
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出处
《工具技术》
2010年第1期105-108,共4页
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文摘
介绍的基于激光干涉的微位移测量仪具有分辨率高、结构简单、成本低的特点。该微位移测量仪由基于迈克尔逊激光干涉原理的微位移测量装置、工作台、光电阵列、信号处理电路、计算机及数据处理软件等组成。该测量仪位移测量理论分辨力可以达到0.01nm,特别适合范围在微米及微米以下的位移测量,可用于MEMS器件的位移检测,压电器件位移检测等。
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关键词
计量学
微位移测量
激光干涉
十字片簧铰链
光电阵列
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Keywords
Metrology
micro displacement measurement
laser interference
crossspring hinge
optoelectronic arrays
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分类号
TH741
[机械工程—光学工程]
TG802
[金属学及工艺—公差测量技术]
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